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制造掩模的方法與流程

文檔序號(hào):11126664閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
公開(kāi)了制造掩模的方法,該方法包括:使用激光在基礎(chǔ)材料中形成第一孔,第一孔從第一表面至與第一表面不同的第二表面穿透基礎(chǔ)材料;以及使用刻蝕劑擴(kuò)張第一孔以形成第二孔。

技術(shù)研發(fā)人員:文英慜;任星淳;文敏浩;張淳喆
受保護(hù)的技術(shù)使用者:三星顯示有限公司
文檔號(hào)碼:201610584540
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.22
技術(shù)公布日:2017.02.15

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