1.一種蒸發(fā)源，其特征在于，包括：
腔室，其分為多個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域中設(shè)有至少一個(gè)出氣孔以及至少一個(gè)氣壓傳感器；
多個(gè)與所述腔室相連的坩堝，每個(gè)所述坩堝用于向腔室的至少一個(gè)區(qū)域供應(yīng)蒸氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其特征在于，
所述腔室內(nèi)部通過(guò)隔墻分割為多個(gè)互不連通的隔間，每個(gè)所述隔間為一個(gè)區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其特征在于，
每個(gè)所述坩堝用于為多個(gè)區(qū)域提供蒸氣；
所述坩堝和與其對(duì)應(yīng)的每個(gè)區(qū)域間通過(guò)一條輸氣管相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸發(fā)源，其特征在于，
與同一坩堝相連的多條輸氣管的結(jié)構(gòu)相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸發(fā)源，其特征在于，
每個(gè)所述坩堝用于為2至3個(gè)區(qū)域提供蒸氣。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸發(fā)源，其特征在于，還包括：
用于調(diào)節(jié)所述輸氣管中氣體流量的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸發(fā)源，其特征在于，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為管狀，連接在所述腔室與輸氣管之間，其包括：
第一固定端和第二固定端，二者中的一個(gè)與腔室相連，另一個(gè)與輸氣管相連；
旋轉(zhuǎn)部，連接在第一固定端和第二固定端之間，并能相對(duì)第一固定端和第二固定端旋轉(zhuǎn)；
第一擋片，設(shè)于第一固定端內(nèi)側(cè)與旋轉(zhuǎn)部相連處，擋住第一固定端內(nèi)通道的一部分；
第二擋片，設(shè)于旋轉(zhuǎn)部?jī)?nèi)側(cè)與第一固定端相連處，擋住旋轉(zhuǎn)部?jī)?nèi)通道的一部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其特征在于，還包括：
控制單元，與各氣壓傳感器和坩堝連接，用于根據(jù)各所述氣壓傳感器的檢測(cè)結(jié)果控制各坩堝的加熱溫度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其特征在于，
所述蒸發(fā)源包括2至3個(gè)坩堝。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其特征在于，
每個(gè)所述區(qū)域設(shè)有2至3個(gè)出氣孔。