技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明一種高硬度、高彈性模量的多組元氮化物涂層，其化學(xué)式為AlCrTiZrNbN，Al、Cr、Ti、Zr、Nb和N元素的原子比分別為8~12%：8~12%：8~12%：8~12%：8~12%：48~52%，涂層的厚度為2～5μm。本發(fā)明還提供了上述氮化物涂層的制備方法，先將基體表面作鏡面拋光處理，然后經(jīng)過(guò)丙酮、酒精的超聲清洗，真空離子清洗后，采用射頻反應(yīng)濺射方法沉積AlCrTiZrNbN層，其中AlCrTiZrNbN多組元氮化物涂層由等原子摩爾比的AlCrTiZrNb合金靶材在(Ar+N2)氣氛下制得。本發(fā)明的涂層具有高硬度和高彈性模量，可作為新型保護(hù)性涂層用于刀具、模具等多種服役場(chǎng)合。

技術(shù)研發(fā)人員：李偉;黃純可;劉平;張柯;馬鳳倉(cāng);劉新寬;陳小紅;何代華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海理工大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611153024
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.14
技術(shù)公布日：2017.06.13