技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種藍(lán)寶石襯底拋光裝置,包括底座,所述底座的頂部設(shè)置有固定架,所述固定架的頂部開設(shè)有第一通孔,所述第一通孔的內(nèi)部設(shè)置有軸承,所述固定架的頂部還設(shè)置有電機(jī)支架,所述電機(jī)支架的內(nèi)部設(shè)置有電機(jī),所述固定架的內(nèi)部設(shè)置有置物板,所述置物板上開設(shè)有第二通孔,所述置物板的上表面開設(shè)有滑槽,所述滑槽的內(nèi)部設(shè)置有滑塊,所述滑塊的一側(cè)面與滑槽的內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)置有間隙,間隙內(nèi)設(shè)置有第一彈簧,所述滑槽的內(nèi)底壁開設(shè)有凹槽,所述固定架的內(nèi)部還設(shè)置有定位桿,所述定位桿的一端與底座的上表面固定連接。本實(shí)用新型,能夠防止藍(lán)寶石襯底在置物板上發(fā)生移動(dòng),能夠改變拋光盤與襯底之間的貼合程度。
技術(shù)研發(fā)人員:秦國(guó)強(qiáng);林良坤;鐘國(guó)慶;趙如璇
受保護(hù)的技術(shù)使用者:福建晶安光電有限公司
文檔號(hào)碼:201620951807
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.27
技術(shù)公布日:2017.02.22