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一種新型鍍鋁機的制作方法

文檔序號:11190792閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種新型鍍鋁機,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上設有油擴散泵(2),所述底座(1)上還設有真空罩(3),所述油擴散泵(2)與真空罩(3)之間連接有連接管(4),所述真空罩(3)內(nèi)設有行星盤旋轉驅動裝置(5),所述行星盤旋轉驅動裝置(5)上設有蒸發(fā)底板(6),所述蒸發(fā)底板(6)上設有一組電極(7),所述一組電極(7)之間連接有蒸發(fā)舟(8),所述蒸發(fā)舟(8)上設有被蒸發(fā)材料(9),所述真空罩(3)上端設有放置框架(10),所述放置框架(10)上設有膜厚檢測裝置(11),所述真空罩(3)側表面且位于放置框架(10)相對應處設有開口(12),所述開口(12)處設有閥門(13),所述真空罩(3)上設有高壓變壓器(14)及大功率電子管(15)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種新型鍍鋁機,其特征在于,所述油擴散泵(2)的底部安裝有加熱盤(16)。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種新型鍍鋁機,其特征在于,所述放置框架(10)下方設有烘烤加熱裝置(17)。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種新型鍍鋁機,其特征在于,所述電極(7)外側下端設有電極外圈(18)。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種新型鍍鋁機,其特征在于,所述電極外圈(18)為陶瓷外圈。

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