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光學(xué)玻璃和玻璃元件的制作方法

文檔序號(hào):41941200發(fā)布日期:2025-05-16 13:58閱讀:4來(lái)源:國(guó)知局
光學(xué)玻璃和玻璃元件的制作方法

本發(fā)明涉及一種光學(xué)玻璃,尤其是涉及一種具有優(yōu)異的耐紫外輻照性能和較低密度的光學(xué)玻璃。


背景技術(shù):

1、近年來(lái),使用光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)備的數(shù)字化、高精細(xì)化正急速地發(fā)展,在數(shù)字照相機(jī)或攝影機(jī)等攝影設(shè)備、投影儀或投影電視機(jī)等圖像播放(投影)設(shè)備等各種光學(xué)設(shè)備的領(lǐng)域,對(duì)于減少在光學(xué)系統(tǒng)中所使用的透鏡或棱鏡等光學(xué)元件的數(shù)量,或降低玻璃元件的密度來(lái)使光學(xué)系統(tǒng)整體實(shí)現(xiàn)輕量化的需求增強(qiáng)。在制作玻璃元件的光學(xué)玻璃之中,特別是對(duì)于可實(shí)現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)整體的輕量化,或是色像差校正,并具有1.51~1.58的折射率和45~52的阿貝數(shù)的中折射率低色散玻璃的需求變得非常高。

2、隨著芯片制造技術(shù)與先進(jìn)封裝技術(shù)向更低線寬、更高效率發(fā)展,需要工作在該波段的光刻設(shè)備具有更高的分辨率、更高的光通量和更大的曝光區(qū)域?,F(xiàn)有技術(shù)中具有1.51~1.58的折射率和45~52的阿貝數(shù)的光學(xué)玻璃耐紫外輻照性能較差,由其制成的玻璃元件在紫外波段長(zhǎng)時(shí)間輻照下會(huì)發(fā)生透過(guò)率大幅下降的問(wèn)題,這對(duì)工作在紫外波段的各類光刻設(shè)備是致命的。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于上述原因,本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種具有優(yōu)異的耐紫外輻照性能和較低密度的光學(xué)玻璃。

2、本發(fā)明解決技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案是:

3、(1)光學(xué)玻璃,其組分以重量百分比表示,含有:sio2:50~70%;pbo:12.5~30%;na2o:4~15%;k2o:2~13%;bao:1~14%,其中sio2/pbo為1.8~5.5。

4、(2)根據(jù)(1)所述的光學(xué)玻璃,其組分以重量百分比表示,還含有:al2o3:0~5%;和/或li2o:0~7%;和/或zro2:0~5%;和/或sro:0~8%;和/或cao:0~8%;和/或mgo:0~8%;和/或b2o3:0~8%;和/或ln2o3:0~5%;和/或nb2o5:0~3%;和/或wo3:0~3%;和/或zno:0~3%;和/或tio2:0~3%;和/或澄清劑:0~1%;和/或f:0~5%,所述ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種,澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

5、(3)光學(xué)玻璃,其組分中含有sio2、pbo、na2o、k2o和bao,其組分以重量百分比表示,其中sio2/pbo為1.8~5.5,所述光學(xué)玻璃的折射率nd為1.51~1.58,阿貝數(shù)vd為45~52,365nm處透過(guò)率耐紫外輻照衰減性能δτ365nm為1.5%以下,密度ρ為3.30g/cm3以下。

6、(4)根據(jù)(3)所述的光學(xué)玻璃,其組分以重量百分比表示,含有:sio2:50~70%;和/或pbo:12.5~30%;和/或na2o:4~15%;和/或k2o:2~13%;和/或bao:1~14%;和/或al2o3:0~5%;和/或li2o:0~7%;和/或zro2:0~5%;和/或sro:0~8%;和/或cao:0~8%;和/或mgo:0~8%;和/或b2o3:0~8%;和/或ln2o3:0~5%;和/或nb2o5:0~3%;和/或wo3:0~3%;和/或zno:0~3%;和/或tio2:0~3%;和/或澄清劑:0~1%;和/或f:0~5%,所述ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種,澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

7、(5)根據(jù)(1)~(4)任一所述的光學(xué)玻璃,其組分以重量百分比表示,滿足以下6種情形中的一種或多種:

8、1)pbo/bao為1.0~15.0,優(yōu)選pbo/bao為1.5~10.0,更優(yōu)選pbo/bao為2.0~8.0,進(jìn)一步優(yōu)選pbo/bao為2.5~6.0,更進(jìn)一步優(yōu)選pbo/bao為2.8~5.0;

9、2)sio2/pbo為2.0~5.0,優(yōu)選sio2/pbo為2.3~4.5,更優(yōu)選sio2/pbo為2.6~4.0;

10、3)(al2o3+zro2)/bao為0.05~3.0,優(yōu)選(al2o3+zro2)/bao為0.1~2.0,更優(yōu)選(al2o3+zro2)/bao為0.1~1.5,進(jìn)一步優(yōu)選(al2o3+zro2)/bao為0.15~0.8;

11、4)(na2o+k2o)/pbo為0.3~2.0,優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.4~1.5,更優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.5~1.2,進(jìn)一步優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.6~1.0;

12、5)na2o/k2o為0.8~5.0,優(yōu)選na2o/k2o為1.0~4.0,更優(yōu)選na2o/k2o為1.1~3.0,進(jìn)一步優(yōu)選na2o/k2o為1.1~2.5;

13、6)al2o3/(zro2+tio2+nb2o5)為0.5以上,優(yōu)選al2o3/(zro2+tio2+nb2o5)為0.8以上,更優(yōu)選al2o3/(zro2+tio2+nb2o5)為1.0以上,進(jìn)一步優(yōu)選al2o3/(zro2+tio2+nb2o5)為1.5~5.0。

14、(6)根據(jù)(1)~(4)任一所述的光學(xué)玻璃,其組分以重量百分比表示,滿足以下3種情形中的一種或多種:

15、1)f/(al2o3+zro2)為0.1~5.0,優(yōu)選f/(al2o3+zro2)為0.3~4.0,更優(yōu)選f/(al2o3+zro2)為0.4~3.0,進(jìn)一步優(yōu)選f/(al2o3+zro2)為0.5~2.0;

16、2)10×f/pbo為0.05~3.2,優(yōu)選10×f/pbo為0.1~2.0,更優(yōu)選10×f/pbo為0.2~1.0,進(jìn)一步優(yōu)選10×f/pbo為0.2~0.8;

17、3)(mgo+cao+sro)/f為2.0以下,優(yōu)選(mgo+cao+sro)/f為1.5以下,更優(yōu)選(mgo+cao+sro)/f為1.0以下,進(jìn)一步優(yōu)選(mgo+cao+sro)/f為0.5以下。

18、(7)根據(jù)(1)~(4)任一所述的光學(xué)玻璃,其組分以重量百分比表示,其中:sio2:55~65%,優(yōu)選sio2:57~63%;和/或pbo:14~27%,優(yōu)選pbo:16~23%;和/或na2o:5~14%,優(yōu)選na2o:6~12%;和/或k2o:4~12%,優(yōu)選k2o:5~10%;和/或al2o3:0.1~4%,優(yōu)選al2o3:0.1~3%;和/或bao:2~12%,優(yōu)選bao:3~9%;和/或f:0.1~4%,優(yōu)選f:0.2~3%;和/或li2o:0~3%,優(yōu)選li2o:0~2%,更優(yōu)選不含有l(wèi)i2o;和/或zro2:0.1~4%,優(yōu)選zro2:0.1~2%;和/或sro:0~5%,優(yōu)選sro:0~2%,更優(yōu)選不含有sro;和/或cao:0~5%,優(yōu)選cao:0~2%,更優(yōu)選不含有cao;和/或mgo:0~5%,優(yōu)選mgo:0~2%,更優(yōu)選不含有mgo;和/或b2o3:0~5%,優(yōu)選b2o3:0~2%,更優(yōu)選不含有b2o3;和/或ln2o3:0~3%,優(yōu)選ln2o3:0~1%;和/或nb2o5:0~2%,優(yōu)選nb2o5:0~1%,更優(yōu)選不含有nb2o5;和/或wo3:0~2%,優(yōu)選wo3:0~1%,更優(yōu)選不含有wo3;和/或zno:0~2%,優(yōu)選zno:0~1%,更優(yōu)選不含有zno;和/或tio2:0~2%,優(yōu)選tio2:0~1%,更優(yōu)選不含有tio2;和/或澄清劑:0~0.8%,優(yōu)選澄清劑:0~0.5%,所述ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種,澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

19、(8)根據(jù)(1)~(4)任一所述的光學(xué)玻璃,其組分中不含有v的氧化物;和/或不含有cr的氧化物;和/或不含有mn的氧化物;和/或不含有fe的氧化物;和/或不含有co的氧化物;和/或不含有ni的氧化物;和/或不含有cu的氧化物;和/或不含有ag的氧化物;和/或不含有mo的氧化物。

20、(9)根據(jù)(1)~(4)任一所述的光學(xué)玻璃的折射率nd為1.51~1.58,優(yōu)選為1.52~1.57,更優(yōu)選為1.53~1.56;阿貝數(shù)vd為45~52,優(yōu)選為46~50,更優(yōu)選為47~49。

21、(10)根據(jù)(1)~(4)任一所述的光學(xué)玻璃,365nm處透過(guò)率τ365nm為98.5%以上,優(yōu)選為99.0%以上,更優(yōu)選為99.5%以上;和/或365nm處透過(guò)率耐紫外輻照衰減性能δτ365nm為1.5%以下,優(yōu)選為1.0%以下,更優(yōu)選為0.8%以下,進(jìn)一步優(yōu)選為0.6%以下;和/或耐酸作用穩(wěn)定性da為2類以上,優(yōu)選為1類;和/或耐水作用穩(wěn)定性dw為2類以上,優(yōu)選為1類;和/或密度ρ為3.30g/cm3以下,優(yōu)選為3.20g/cm3以下,更優(yōu)選為3.10g/cm3以下;和/或熱膨脹系數(shù)α-30/70℃為100×10-7/k以下,優(yōu)選為95×10-7/k以下,更優(yōu)選為90×10-7/k以下;和/或氣泡度為a級(jí)以上,優(yōu)選為a0級(jí)以上,更優(yōu)選為a00級(jí);和/或條紋度為c級(jí)以上,優(yōu)選為b級(jí)以上;和/或磨耗度f(wàn)a為60~110,優(yōu)選為70~100,更優(yōu)選為80~95;和/或1200℃的高溫粘度為800dpas以下,優(yōu)選為600dpas以下,更優(yōu)選為500dpas以下,進(jìn)一步優(yōu)選為450dpas以下;和/或轉(zhuǎn)變溫度tg為480℃以下,優(yōu)選為465℃以下,更優(yōu)選為455℃以下。

22、(11)玻璃預(yù)制件,采用(1)~(10)任一所述的光學(xué)玻璃制成。

23、(12)玻璃元件,采用(1)~(10)任一所述的光學(xué)玻璃制成,或采用(11)所述的玻璃預(yù)制件制成。

24、(13)一種設(shè)備,含有(1)~(10)任一所述的光學(xué)玻璃,和/或含有(12)所述的玻璃元件。

25、本發(fā)明的有益效果是:通過(guò)合理的組分設(shè)計(jì),本發(fā)明的光學(xué)玻璃具有優(yōu)異的耐紫外輻照性能和較低的密度,可廣泛應(yīng)用于成像、光刻等領(lǐng)域。

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