專利名稱：物品運(yùn)送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種物品運(yùn)送設(shè)備，設(shè)置有:行進(jìn)軌道，被從頂板部垂吊支承，并對(duì)物品運(yùn)送車進(jìn)行引導(dǎo)；物品載置體，配置在上述行進(jìn)軌道的橫向側(cè)方且下方位置，載置支承在與上述物品運(yùn)送車之間移載的物品；以及支承機(jī)構(gòu)，以能夠位置調(diào)節(jié)至與上述物品運(yùn)送車之間移載物品的移載用位置和從該移載用位置向上方退避的退避位置的方式從上述頂板部垂吊支承上述物品載置體。
背景技術(shù)：
如上所述的物品運(yùn)送設(shè)備例如設(shè)置在潔凈室內(nèi)，用于將收納硅基板等基板的收納容器作為物品進(jìn)行運(yùn)送。S卩，以經(jīng)由對(duì)于基板進(jìn)行多種處理的多個(gè)基板處理裝置的運(yùn)入運(yùn)出部的狀態(tài)配設(shè)行進(jìn)軌道，物品運(yùn)送車對(duì)于多個(gè)基板處理裝置運(yùn)送物品。并且，物品載置體被用于處理途中的物品的臨時(shí)保管。S卩，物品載置體能夠利用行進(jìn)軌道的橫向側(cè)方的空間而在行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向的各處設(shè)置多個(gè)，因此，通過(guò)將處理途中的物品保管于接著應(yīng)運(yùn)送的基板處理裝置的附近的物品載置體，在提高物品的運(yùn)送效率方面是有利的。并且，在沒(méi)有設(shè)置物品載置體的情況下，在將保管處理途中的物品的保管裝置設(shè)置在地面上時(shí)，需要設(shè)置大規(guī)模的保管裝置，但借助設(shè)置物品載置體，能夠不需要保管裝置或者實(shí)現(xiàn)保管裝置的小型化。并且，在物品運(yùn)送設(shè)備中，有時(shí)物品載置體會(huì)成為阻礙，例如在潔凈室中為了布局變更等而將基板處理裝置運(yùn)入運(yùn)出時(shí)，雖位于頂板部側(cè)但位于比行進(jìn)軌道靠下方的物品載置體會(huì)成為基板處理裝置的運(yùn)送的阻礙等。此時(shí)，能夠使物品載置體從移載用位置位置變更至向上方退避的退避位置，因此能夠避免物品載置體成為阻礙。在日本特開(kāi)2008-169005號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)中公開(kāi)了這樣的物品運(yùn)送設(shè)備的一個(gè)例子，在沒(méi)有載置物品的狀態(tài)下，以能夠位置變更至移載用位置和退避位置的方式支承設(shè)置于該物品運(yùn)送設(shè)備的物品載置體。S卩，在該專利文獻(xiàn)I中，借助彎折自如地連結(jié)多個(gè)連桿而成的連桿機(jī)構(gòu)，相對(duì)于頂板部垂吊支承物品載置體。并且，在使物品載置體位于移載用位置時(shí)，連桿機(jī)構(gòu)成為直線狀地延伸的姿態(tài)，在使物品載置體位于退避位置時(shí)，連桿機(jī)構(gòu)以在物品載置體的上方重疊的狀態(tài)成為彎折姿態(tài)。因此，在將物品載置體從移載用位置向退避位置位置變更時(shí)，在物品載置體的上方不能確保用于物品存在的空間，其結(jié)果，在使物品載置體位于退避位置時(shí)，不能在物品載置體上載置物品。而且，在專利文獻(xiàn)I的物品運(yùn)送設(shè)備中，如果使物品載置體位于退避位置，則物品載置體和頂板部之間的間隔變得比用于使物品存在所需要的間隔要小。從這一點(diǎn)來(lái)說(shuō)，在將物品載置體從移載用位置向退避位置位置變更時(shí)，在物品載置體的上方不能確保用于物品存在的空間，在使物品載置體位于退避位置時(shí)，不能在物品載置體上載置物品。另外，在專利文獻(xiàn)I中，作為其他實(shí)施方式還記載了下述內(nèi)容:使用沿上下方向滑動(dòng)的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)而使物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置。即使使用這樣的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，在使物品載置體位于退避位置時(shí)，由于物品載置體和頂板部之間的間隔變得比用于使物品存在所需要的間隔要小，因此在使物品載置體位于退避位置時(shí)，也不能在物品載置體上載置物品。在產(chǎn)生使物品載置體從移載用位置退避至退避位置的需要時(shí)，有時(shí)在使之退避的物品載置體上載置有物品。在這種情況下，在以往的物品運(yùn)送設(shè)備中，首先用手動(dòng)操作從物品載置體去除物品，其后使物品載置體位置變更至退避位置，因此將物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置的操作為復(fù)雜的操作。而且，在將物品載置體從退避位置返回至移載用位置時(shí)，需要用手動(dòng)操作將去除的物品返回為與去除之前相同的狀態(tài)，從這一點(diǎn)來(lái)說(shuō)，將物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置的操作為復(fù)雜的操作。另外，一般地，被運(yùn)送的物品的位置由管理物品運(yùn)送設(shè)備的管理機(jī)構(gòu)管理，因此在將去除的物品返回物品載置體時(shí)，需要正確地返回至與去除之前相同的位置。但是，在多個(gè)物品載置體同時(shí)退避至退避位置時(shí)等，有可能產(chǎn)生去除的物品返回的位置與去除之前不同的錯(cuò)誤而導(dǎo)致不能適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行被運(yùn)送的物品的位置管理。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種物品運(yùn)送設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)將載置有物品的物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置的操作的簡(jiǎn)化。本發(fā)明的物品運(yùn)送設(shè)備具備:
行進(jìn)軌道，被從頂板部垂吊支承，對(duì)物品運(yùn)送車進(jìn)行引導(dǎo)；
物品載置體，配置在上述行進(jìn)軌道的橫向側(cè)方且下方位置，對(duì)在與上述物品運(yùn)送車之間移載的物品進(jìn)行載置支承；
支承機(jī)構(gòu)，以能夠位置調(diào)節(jié)至與上述物品運(yùn)送車之間移載物品的移載用位置和從該移載用位置向上方退避的退避位置的方式從上述頂板部垂吊支承上述物品載置體；
在此，上述支承機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠?qū)⑤d置了物品的狀態(tài)的上述物品載置體位置變更至上述移載用位置和上述退避位置。S卩，物品載置體被支承為能夠在載置了物品的狀態(tài)下位置變更至移載用位置和退避位置，因此在使物品載置體從移載用位置向退避位置移動(dòng)時(shí)，即使在物品載置體上載置有物品，也能在該狀態(tài)下使物品載置體從移載用位置移動(dòng)到退避位置，并且，能夠?qū)⑽锲份d置體從退避位置返回移載用位置。另外，所謂載置了物品的物品載置體能夠位置變更至移載用位置和退避位置的狀態(tài)是指，在令物品載置體從移載用位置向退避位置位置變更的途中、以及在退避位置處，物品載置體維持載置物品的姿態(tài)且在物品載置體的上方確保用于存在物品的空間的狀態(tài)。這樣地，在使物品載置體從移載用位置向退避位置位置變更時(shí)，即使在物品載置體上載置有物品，也能保持該狀態(tài)地使物品載置體從移載用位置移動(dòng)至退避位置，且能夠?qū)⑽锲份d置體從退避位置返回至移載用位置，因此能夠?qū)崿F(xiàn)將物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置的操作的簡(jiǎn)化。總而言之，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提供一種物品運(yùn)送設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)將載置有物品的物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置的操作的簡(jiǎn)化。在本發(fā)明的物品運(yùn)送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選上述支承機(jī)構(gòu)以在上述退避位置處與上述移載用位置相比從上述行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離要長(zhǎng)的方式支承上述物品載置體，以使位于上述退避位置的上述物品載置體和在上述行進(jìn)軌道上行進(jìn)的上述物品運(yùn)送車不會(huì)抵接干涉。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，物品載置體為了避免位于退避位置時(shí)與行進(jìn)在行進(jìn)軌道上的物品運(yùn)送車的抵接干涉而被支承為能夠以在退避位置處與移載用位置相比相對(duì)于行進(jìn)軌道在橫向側(cè)方離開(kāi)得大的方式位置變更，因此退避位置的物品載置體不會(huì)與在行進(jìn)軌道上行進(jìn)的物品運(yùn)送車抵接干涉。S卩，在使物品載置體位置變更至退避位置時(shí)，例如是在潔凈室中為了布局的變更等而運(yùn)入運(yùn)出基板處理裝置時(shí)。此時(shí)，在物品運(yùn)送操作停止且使物品載置體位于退避位置的狀態(tài)下，不需要使物品運(yùn)送車為了物品運(yùn)送而行進(jìn)，但有時(shí)期望在使物品載置體位于退避位置的狀態(tài)下，例如使物品運(yùn)送車行進(jìn)至不阻礙布局的變更操作的退避處等、使物品運(yùn)送車行進(jìn)。在這樣的情況下，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠使物品運(yùn)送車不與退避位置的物品載置體抵接地良好地行進(jìn)。總而言之，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，提供一種物品運(yùn)送設(shè)備，在物品載置體位置變更至退避位置的狀態(tài)下，也能夠使物品運(yùn)送車良好地行進(jìn)。在本發(fā)明的物品運(yùn)送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選上述支承機(jī)構(gòu)可滑動(dòng)移動(dòng)地支承上述物品載置體，使得隨著從上述移載用位置向上述退避位置上升而從上述行進(jìn)軌道朝向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離變長(zhǎng)。S卩，通過(guò)使物品載置體從移載用位置直線狀地滑動(dòng)移動(dòng)至退避位置，能夠使物品載置體在退避位置處比移載用位置處相對(duì)于行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方離開(kāi)得大。并且，通過(guò)使物品載置體從退避位置直線狀地滑動(dòng)移動(dòng)至移載用位置，能夠?qū)⑽锲份d置體從退避位置返回至移載用位置。S卩，能夠使物品載置體在退避位置處比移載用位置處相對(duì)于行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方離開(kāi)得大、且能夠僅通過(guò)使物品載置體直線狀地滑動(dòng)移動(dòng)的簡(jiǎn)單操作來(lái)進(jìn)行在移載用位置和退避位置之間的物品載置體的位置變更。若進(jìn)一步說(shuō)明，則例如可以考慮這樣的結(jié)構(gòu)，借助使移載用位置的物品載置體首先沿著行進(jìn)軌道的橫寬方向朝向從行進(jìn)軌道離開(kāi)的方向移動(dòng)，之后再朝向退避位置向上方移動(dòng)等的、組合行進(jìn)軌道橫寬方向中的移動(dòng)和向上方的移動(dòng)這兩級(jí)移動(dòng)，使物品載置體從移載用位置位置變更至比該移載用位置相對(duì)于行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方離開(kāi)得大的退避位置，并且，同樣地從退避位置返回移載用位置。在這樣的結(jié)構(gòu)中，組合了兩級(jí)的移動(dòng)而使物品載置體在移載用位置和退避位置之間進(jìn)行位置變更，因此物品載置體的移動(dòng)操作變得復(fù)雜。與此相對(duì)，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，僅通過(guò)使物品載置體直線狀地滑動(dòng)移動(dòng)，就能夠使物品載置體在移載用位置和退避位置之間進(jìn)行位置變更，因此能夠?qū)崿F(xiàn)物品載置體的移動(dòng)操作的簡(jiǎn)化?？偠灾?，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提供一種物品運(yùn)送設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)物品載置體的移動(dòng)操作的簡(jiǎn)化。在本發(fā)明的物品運(yùn)送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選在沿著上述行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)條狀的物品載置臺(tái)上，沿著上述行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向并排設(shè)置多個(gè)上述物品載置體；在上述物品載置臺(tái)的上述行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向的兩端部各自上，具備朝向上方突出的下框；
上述支承機(jī)構(gòu)具有滑動(dòng)軌道機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于被垂吊支承于上述頂板部的一對(duì)上框可升降地引導(dǎo)一對(duì)上述下框的各自，上述滑動(dòng)軌道機(jī)構(gòu)以隨著上升而從上述行進(jìn)軌道朝向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離變長(zhǎng)的方式相對(duì)于上述上框引導(dǎo)上述下框。S卩，對(duì)于被垂吊支承在頂板部的上框，能夠以越上升相對(duì)于行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方離開(kāi)越大的方式，由滑動(dòng)軌道機(jī)構(gòu)可升降地支承配備在沿著行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)條狀的物品載置臺(tái)上的下框。由此，能夠以越從移載用位置向退避位置上升，相對(duì)于行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方離開(kāi)得越大的方式(即直線狀地滑動(dòng)移動(dòng)的滑動(dòng)移動(dòng)方式)可位置變更地支承以沿著行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向并排的狀態(tài)設(shè)置在物品載置臺(tái)上的多個(gè)物品載置體。因此，通過(guò)使物品載置臺(tái)沿著滑動(dòng)軌道機(jī)構(gòu)升降，能夠使多個(gè)物品載置體一起(即以一個(gè)動(dòng)作)地位置變更至移載用位置和退避位置。而且，配備在物品載置臺(tái)的兩端的下框各自被支承在垂吊支承于頂板部的上框上，即，沿著行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)條狀的物品載置臺(tái)的兩端可升降地被支承，因此令為了使多個(gè)物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置而升降的物品載置臺(tái)的姿態(tài)穩(wěn)定。由此，設(shè)置在該物品載置臺(tái)上的多個(gè)物品載置體的姿態(tài)穩(wěn)定，在使物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置時(shí)，能夠避免載置支承在物品載置體上的物品的姿態(tài)混亂?？偠灾鶕?jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提供一種物品運(yùn)送設(shè)備，能夠使多個(gè)物品載置體一起位置變更至移載用位置和退避位置，而且，在使物品載置體位置變更至移載用位置和退避位置時(shí)，能夠避免載置支承在物品載置體上的物品的姿態(tài)混亂。在本發(fā)明的物品運(yùn)送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選設(shè)置有連動(dòng)機(jī)構(gòu)，使顯示上述物品載置體的識(shí)別信息的顯示體的位置與上述物品載置體的位置變更連動(dòng)地變更至裝備在上述物品運(yùn)送車上的識(shí)別信息檢測(cè)傳感器能夠檢測(cè)到的被檢測(cè)位置、和上述識(shí)別信息檢測(cè)傳感器不能檢測(cè)到的檢測(cè)不能位置，
上述連動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述顯示體的位置與上述物品載置體的位置變更連動(dòng)，使得在上述物品載置體位于上述移載用位置時(shí)上述顯示體被配置在上述被檢測(cè)位置，且在上述物品載置體位于上述退避位置時(shí)上述顯示體被配置在上述檢測(cè)不能位置。即，在物品載置體位于移載用位置時(shí)，顯示物品載置體的識(shí)別信息的顯示體成為被配置于被檢測(cè)位置的狀態(tài)。此時(shí)，裝備在物品運(yùn)送車上的識(shí)別信息檢測(cè)傳感器能夠檢測(cè)顯示體所顯示的識(shí)別信息，因此能夠基于該識(shí)別信息判別物品載置體是否是移載對(duì)象的物品載置體。在物品載置體位于退避位置時(shí)，顯示體成為被配置于檢測(cè)不能位置的狀態(tài)。此時(shí)，裝備在物品運(yùn)送車上的識(shí)別信息檢測(cè)傳感器不能檢測(cè)到顯示體所顯示的識(shí)別信息，因此判斷為是移載對(duì)象的物品載置體不存在的狀態(tài)，能夠停止物品的錯(cuò)誤移載。S卩，能夠與物品載置體的位置變更連動(dòng)地將顯示體位置變更至被檢測(cè)位置和檢測(cè)不能位置，以便在物品載置體位于移載用位置時(shí)，在被檢測(cè)位置上配置顯示體，且在物品載置體位于退避位置時(shí)，在檢測(cè)不能位置上配置顯示體。因此，在物品載置體位于退避位置時(shí)，即使對(duì)物品運(yùn)送車指示了對(duì)該物品載置體的物品的移載，由于識(shí)別信息檢測(cè)傳感器不能檢測(cè)與該物品載置體對(duì)應(yīng)的顯示體顯示的識(shí)別信息，因此能夠避免對(duì)于退避位置的物品載置體錯(cuò)誤地進(jìn)行物品的移載。由此，在令物品載置體位置變更至退避位置而例如在潔凈室中為了布局變更等而進(jìn)行了將基板處理裝置運(yùn)入運(yùn)出的操作之后，忘記將物品載置體返回移載用位置時(shí)等，也能夠避免對(duì)于退避位置的物品載置體錯(cuò)誤地進(jìn)行物品的移載?？偠灾?，根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，能夠提供一種物品運(yùn)送設(shè)備，能夠避免對(duì)于退避位置的物品載置體錯(cuò)誤地進(jìn)行物品的移載。在本發(fā)明的物品運(yùn)送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選上述退避位置被設(shè)定為位于該退避位置的上述物品載置體和上述頂板部之間的間隔為上述物品的高度以上的位置，
上述支承機(jī)構(gòu)被配置在相對(duì)于在上述移載用位置和上述退避位置之間移動(dòng)的上述物品載置體在從上方看不重疊的位置。


圖1是示出物品運(yùn)送設(shè)備的立體圖。圖2是該設(shè)備的主視圖。圖3是使物品載置臺(tái)退避的狀態(tài)的主視圖。圖4是示出物品載置臺(tái)的安裝部的立體圖。圖5是示出物品載置臺(tái)的支承機(jī)構(gòu)的分解立體圖。圖6是其他實(shí)施方式的主視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明 8上框
9下框
10滑動(dòng)軌道機(jī)構(gòu) 22識(shí)別信息檢測(cè)傳感器 24顯示體 A物品運(yùn)送車 D支承機(jī)構(gòu) E物品載置臺(tái) L行進(jìn)軌道 M連動(dòng)機(jī)構(gòu) T頂板部 U物品載置體。
具體實(shí)施例方式接著，基于

本發(fā)明的實(shí)施方式。如圖1及圖2所示，以從頂板部T被垂吊支承的狀態(tài)設(shè)置引導(dǎo)物品運(yùn)送車A的行進(jìn)軌道L，在行進(jìn)軌道L的橫向側(cè)方且下方位置，以從頂板部T被垂吊支承的狀態(tài)設(shè)置有載置支承在與物品運(yùn)送車A之間移載的物品B的物品載置體U。在本實(shí)施方式中，物品載置體U分別被設(shè)置在行進(jìn)軌道L的兩側(cè)的橫向側(cè)方。物品運(yùn)送車A將所運(yùn)送的物品B傳遞并保管至物品載置體U，且取出并運(yùn)送保管于物品載置體U的物品B。具備這些行進(jìn)軌道L、物品載置體U及物品運(yùn)送車A而構(gòu)成物品運(yùn)送設(shè)備。本實(shí)施方式的物品運(yùn)送設(shè)備是在潔凈室中將收納硅基板等基板的收納容器(FOUP)作為物品B進(jìn)行運(yùn)送的設(shè)備。雖然未圖示，但以經(jīng)由多個(gè)基板處理裝置的物品運(yùn)入運(yùn)出部的狀態(tài)配設(shè)行進(jìn)軌道L，物品運(yùn)送車A構(gòu)成為對(duì)多個(gè)基板處理裝置運(yùn)送物品B。并且，物品B構(gòu)成為被臨時(shí)地保管于物品載置體U。借助軌道用支承體I以從頂板部垂吊的狀態(tài)設(shè)置行進(jìn)軌道L。在本實(shí)施方式中，行進(jìn)軌道L具備隔開(kāi)間隔地在左右方向并排的左右一對(duì)行進(jìn)軌道部2，借助軌道用支承體I以從頂板部垂吊的狀態(tài)設(shè)置左右一對(duì)行進(jìn)軌道部2。這里所說(shuō)的“左右方向”是與行進(jìn)軌道L的長(zhǎng)度方向垂直的水平方向。如圖2所示，物品運(yùn)送車A具備在行進(jìn)軌道L上行進(jìn)的行進(jìn)部Al、和位于行進(jìn)軌道L的下方的車體本體部A2，車體本體部A2借助位于左右一對(duì)的行進(jìn)軌道部2之間的連結(jié)軸3被垂吊支承于行進(jìn)部Al。車體本體部A2在側(cè)視圖形狀為倒U字形的罩體4的內(nèi)部的上方位置，具備以垂吊狀態(tài)把持物品B的把持部5。把持部5配備為能夠升降驅(qū)動(dòng)且能夠沿著橫方向橫向滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)，構(gòu)成為借助把持部5的升降移動(dòng)和橫向滑動(dòng)移動(dòng)，物品運(yùn)送車A在與物品載置體U及基板處理裝置的物品運(yùn)入運(yùn)出部之間移載物品B。以下對(duì)與物品載置體U之間的物品B的移載加以說(shuō)明。在將物品B傳遞至物品載置體U時(shí)，使把持物品B的把持部5朝向橫向外側(cè)方滑動(dòng)移動(dòng)并下降，然后解除物品B的把持。其后，使把持部5上升并向車體內(nèi)方側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)，將把持部5返回罩體4的內(nèi)部位置。并且，在將物品B從物品載置體U取出時(shí)，使把持部5朝向橫向外側(cè)方滑動(dòng)移動(dòng)并下降，然后把持物品B。其后，使把持了物品B的把持部5上升并向車體內(nèi)方側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)，將把持部5返回罩體4的內(nèi)部位置。以被支承為能夠位置調(diào)節(jié)為在其與物品運(yùn)送車A之間交接物品B的移載用位置(參照?qǐng)D2)和從該移載用位置向上方退避的退避位置(參照?qǐng)D3)的狀態(tài)設(shè)置物品載置體U。退避位置設(shè)定為能夠避免與在行進(jìn)軌道L上行進(jìn)的物品運(yùn)送車A及由該物品運(yùn)送車A運(yùn)送的物品B抵接的位置。由此，在使物品載置體U位于退避位置的狀態(tài)下，在例如使物品運(yùn)送車A行進(jìn)至不對(duì)布局變更操作成為阻礙的退避位置等的、使物品運(yùn)送車A行進(jìn)的情況下，不會(huì)使物品運(yùn)送車A與退避位置的物品載置體U抵接，能夠使之良好地行進(jìn)。在本實(shí)施方式中，移載用位置設(shè)定為避免與在行進(jìn)軌道L上行進(jìn)的物品運(yùn)送車A及由該物品運(yùn)送車A運(yùn)送的物品B抵接的位置。在本實(shí)施方式中，相對(duì)于頂板部T垂吊支承物品載置體U的支承機(jī)構(gòu)D構(gòu)成為，以載置了物品B的物品載置體U能夠位置變更至移載用位置和退避位置的狀態(tài)支承物品載置體U。并且，支承機(jī)構(gòu)D構(gòu)成為，以令退避位置比移載用位置還要向行進(jìn)軌道L的橫向側(cè)方離開(kāi)的狀態(tài)支承物品載置體U。S卩，退避位置設(shè)定在下述位置:比移載用位置靠上方、且與移載用位置相比從行進(jìn)軌道L向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離(物品載置體U和行進(jìn)軌道L之間的水平方向的距離)要長(zhǎng)。并且，退避位置設(shè)定在比頂板部T靠下方、且物品載置體U和頂板部T之間的間隔為物品B的高度以上的位置。在本實(shí)施方式中，物品運(yùn)送車A構(gòu)成為在比移載用位置的物品載置體U靠上方支承物品B的狀態(tài)下進(jìn)行運(yùn)送。因此，在俯視圖中，能夠?qū)⒁戚d用位置的物品載置體U以接近物品運(yùn)送車A所通過(guò)的空間或向該空間內(nèi)突出的狀態(tài)設(shè)置，其結(jié)果，在移載物品B時(shí)，減少在行進(jìn)軌道L的橫寬方向上移動(dòng)物品B的量，能夠效率良好地進(jìn)行物品B的移載。以下對(duì)支承機(jī)構(gòu)D加以說(shuō)明。如圖4所示，設(shè)置有由垂吊支承體7從頂板部T垂吊支承的左右一對(duì)上框8，對(duì)于該左右一對(duì)的上框8各自，下框9借助滑動(dòng)式的軌道機(jī)構(gòu)10可升降地被引導(dǎo)。隔開(kāi)間隔地在左右方向上并排地設(shè)置左右一對(duì)的上框8。在此所說(shuō)的“左右方向”是平行于行進(jìn)軌道L的長(zhǎng)度方向的水平方向。并且，如圖2及圖3所示，以越上方側(cè)相對(duì)于行進(jìn)軌道L越向橫向側(cè)方的傾斜姿態(tài)設(shè)置滑動(dòng)式的軌道機(jī)構(gòu)10。由此，下框9以隨著朝向上方側(cè)而從行進(jìn)軌道L朝向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離變長(zhǎng)的方式，由軌道機(jī)構(gòu)10引導(dǎo)。由此，在本實(shí)施方式中，支承機(jī)構(gòu)D具備上框
8、下框9及軌道機(jī)構(gòu)10。構(gòu)成為以隨著從移載用位置向退避位置上升而從行進(jìn)軌道L朝向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離變長(zhǎng)的方式，支承機(jī)構(gòu)D可滑動(dòng)移動(dòng)地支承物品載置體U，由此，能夠僅通過(guò)令物品載置體U直線狀地滑動(dòng)移動(dòng)的簡(jiǎn)單操作來(lái)進(jìn)行移載用位置和退避位置之間的物品載置體U的位置變更，能夠?qū)崿F(xiàn)物品載置體U的移動(dòng)操作的簡(jiǎn)化。軌道機(jī)構(gòu)10具備至少兩個(gè)軌道。在本實(shí)施方式中，軌道機(jī)構(gòu)10包括安裝在上框8及下框9各自上的固定軌道10A、及滑動(dòng)自如地結(jié)合這些固定軌道IOA的中間軌道IOB的三個(gè)軌道。如圖5所示，在上框8的下端部設(shè)置有一對(duì)的上框側(cè)抵接體11。并且，在下框9的上端部，設(shè)置有借助上框側(cè)抵接體11的抵接而限制下框9的下降范圍的一對(duì)的下降極限限制用抵接體12。并且，在下框9的下端部，設(shè)置有借助上框側(cè)抵接體11的抵接而限制下框9的上升范圍的一對(duì)的上升極限限制用抵接體13。構(gòu)成為借助這些抵接體11、12、13來(lái)限制下框9相對(duì)于上框8的升降范圍。并且，如圖2所示，構(gòu)成為在下框9位于下降極限時(shí)，即下降極限限制用抵接體12變?yōu)榕c上框側(cè)抵接體11抵接的狀態(tài)時(shí)，物品載置體U為移載用位置，如圖3所示，在下框9位于上升極限時(shí)，即上升極限限制用抵接體13變?yōu)榕c上框側(cè)抵接體11抵接的狀態(tài)時(shí)，物品載置體U成為退避位置。另外，如圖4及圖5所示,構(gòu)成為當(dāng)將物品載置體U保持于退避位置時(shí),使向一對(duì)上框側(cè)抵接體11中的一方的上框側(cè)抵接體11旋進(jìn)移動(dòng)自如地螺紋結(jié)合的定位銷14與形成在下框9上的定位孔15嵌合，限制下框9的下降。在本實(shí)施方式中，如圖1及圖4所示，多個(gè)(具體是三個(gè))物品載置體U以在行進(jìn)軌道L的長(zhǎng)度方向上并排的狀態(tài)配備在物品載置臺(tái)E上，上述下框9以向上方突出的姿態(tài)配備在該物品載置臺(tái)E的兩端部的各自上。因此，能夠使多個(gè)物品載置體U —起(即以一個(gè)動(dòng)作)地位置變更至移載用位置和退避位置。具體地，在左右一對(duì)的下框9的各自的下端部，借助螺栓連結(jié)有支承框17，沿行進(jìn)軌道L的長(zhǎng)度方向延伸的一對(duì)的長(zhǎng)條框18以在行進(jìn)軌道L的橫寬方向上并排的狀態(tài)將其兩端部載置支承于支承框17。以一對(duì)的長(zhǎng)條框18為主要部件而構(gòu)成物品載置臺(tái)E。并且，三個(gè)物品載置體U以由一對(duì)長(zhǎng)條框18載置支承的狀態(tài)沿行進(jìn)軌道L的長(zhǎng)度方向并排設(shè)置。物品載置體U被支承為能夠在載置了物品B的狀態(tài)下位置變更至移載用位置和退避位置。此時(shí)，在本實(shí)施方式中，由于沿著行進(jìn)軌道L的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)條狀的物品載置臺(tái)E的兩端被可升降地支承，因此為了使多個(gè)物品載置體U位置變更至移載用位置和退避位置而升降的物品載置臺(tái)E的姿態(tài)穩(wěn)定。由此，設(shè)置在該物品載置臺(tái)E上的多個(gè)物品載置體U的姿態(tài)穩(wěn)定，在使物品載置體U位置變更至移載用位置和退避位置時(shí)，能夠避免載置支承在物品載置體U上的物品B的姿態(tài)混亂。并且，從上方看，支承機(jī)構(gòu)D相對(duì)于在移載用位置和退避位置之間移動(dòng)的物品載置體U配置在不重疊的位置上。具體地，支承機(jī)構(gòu)10具備的上框8、下框9、及軌道機(jī)構(gòu)10分別在行進(jìn)軌道L的長(zhǎng)度方向中配置在與物品載置體U不同的位置。并且，如上所述，退避位置設(shè)定在比頂板部T靠下方、且物品載置體U和頂板部T之間的間隔為物品B的高度以上的位置。由此，在物品載置體U位于退避位置時(shí)，也能夠在各物品載置體U的上方確保使物品B存在的空間。這樣地，支承機(jī)構(gòu)D構(gòu)成為以載置了物品B的物品載置體U能夠位置變更至移載用位置和退避位置的狀態(tài)支承物品載置體U。如圖1及圖4所示，在上框8和下框9之間，以卷取部19A位于上框8的狀態(tài)配設(shè)有定載荷彈簧(- > 7卜19。因而，構(gòu)成為能用較小的操作力輕便地進(jìn)行具備三個(gè)物品載置體U的物品載置臺(tái)E的升降。物品運(yùn)送車A上裝備有檢測(cè)物品載置體U上是否存在物品B的物品存在與否檢測(cè)傳感器21、及檢測(cè)各物品載置體U的識(shí)別信息的識(shí)別信息檢測(cè)傳感器22。物品存在與否檢測(cè)傳感器21使用反射式光傳感器而構(gòu)成，其對(duì)設(shè)置在各物品載置體U的相當(dāng)于載置面的位置的光反射體23進(jìn)行檢測(cè)。識(shí)別信息檢測(cè)傳感器22構(gòu)成為對(duì)由設(shè)置在從各物品載置體U向上方離開(kāi)的位置的顯示體24所顯示的識(shí)別信息(例如二維碼)進(jìn)行檢測(cè)。即，物品運(yùn)送車A構(gòu)成為，在對(duì)于各物品載置體U移載物品B時(shí)，借助識(shí)別信息檢測(cè)傳感器22檢測(cè)由顯示體24所顯示的識(shí)別信息，確認(rèn)是否是移載物品B的移載對(duì)象的物品載置體U。并且，物品運(yùn)送車A構(gòu)成為，基于物品存在與否檢測(cè)傳感器21的信息確認(rèn)是否在移載對(duì)象的物品載置體U上載置了物品B。顯示體24被設(shè)置為與物品載置體U的位置變更連動(dòng)而位置變更至被檢測(cè)位置和檢測(cè)不能位置，使得在物品載置體U位于移載用位置時(shí)被配置在識(shí)別信息檢測(cè)傳感器22能夠檢測(cè)到的被檢測(cè)位置，且在物品載置體U位于退避位置時(shí)被配置于識(shí)別信息檢測(cè)傳感器22不能檢測(cè)到的檢測(cè)不能位置。這樣的顯示體24的位置和物品載置體U的位置的連動(dòng)在本實(shí)施方式中由連動(dòng)機(jī)構(gòu)M來(lái)實(shí)現(xiàn)。若加以說(shuō)明，則如圖1及圖4所示，設(shè)置有支承與三個(gè)物品載置體U相對(duì)應(yīng)的三個(gè)顯示體24的長(zhǎng)條狀的支承框25。并且，承接支承支承框25的兩端部的一對(duì)的承接體26如圖4及圖5所示，為了令顯示體24位置變更至被檢測(cè)位置和檢測(cè)不能位置，被設(shè)置在一對(duì)的上框8各自上的引導(dǎo)軌道27支承為能夠以一定范圍升降。如圖5所示，以在與支承框25連結(jié)的支承托架30上滑動(dòng)自如地被支承的狀態(tài)設(shè)置有鎖止銷29。鎖止銷29在承接體26位于升降范圍的最下降位置時(shí)與上框8的定位孔28卡合。并且，在該支承托架30上裝備有滑動(dòng)操作鎖止銷29的擺動(dòng)桿31。S卩，在承接體26位于升降范圍的最下降位置時(shí)，顯示體24被配置在被檢測(cè)位置。此時(shí)，構(gòu)成為借助使鎖止銷29與定位孔28卡合，顯示體24被保持在被檢測(cè)位置上。
并且，如圖3及圖5所示，構(gòu)成為將按壓體33安裝在下框9上，所述按壓體33在物品載置體U從移載用位置移動(dòng)至退避位置時(shí)按壓由承接體26的一部分形成的被抵接體32而使承接體26上升，若為了使物品載置體U從移載位置移動(dòng)至退避位置而使下框9上升，則支承顯示體24的支承框25上升。這樣地,在本實(shí)施方式中，連動(dòng)機(jī)構(gòu)M具備承接體26、引導(dǎo)軌道27、及按壓體33。S卩，在為了使物品載置體U從移載位置移動(dòng)至退避位置而使下框9上升至最上升位置時(shí)，顯示體24變?yōu)闄z測(cè)不能位置，并且，如上所述，構(gòu)成為由定位銷14保持上升至最上升位置的下框9而限制下框9的下降，從而顯示體24被保持在檢測(cè)不能位置上。由此，隨著為了使物品載置體U從移載位置移動(dòng)至退避位置而使下框9上升至最上升位置，顯示體24從被檢測(cè)位置被上升操作至檢測(cè)不能位置，且隨著為了使物品載置體U從退避位置移動(dòng)至移載用位置而使下框9下降，顯示體24被落下操作至被檢測(cè)位置。此外，在為了使物品載置體U從移載用位置移動(dòng)至退避位置而使下框9上升至最上升位置時(shí)，使鎖止銷29從定位孔28中脫離。并且，在為了使物品載置體U從退避位置移動(dòng)至移載用位置而使下框9下降之后，使鎖止銷29與定位孔28卡合。如上所述，本實(shí)施方式的物品運(yùn)送設(shè)備為，物品載置體U以能夠位置變更至移載用位置和退避位置的方式被支承，所以在為了布局變更等而運(yùn)入運(yùn)出基板處理裝置時(shí)，通過(guò)將物品載置體U位置變更至退避位置，能夠避免物品載置體U成為基板處理裝置的運(yùn)送的阻礙。并且，物品載置體U被支承為能夠在載置了物品B的狀態(tài)下位置變更至移載用位置和退避位置，所以即使物品載置體U上載置了物品B，也能夠不需除去物品B的工夫地將物品載置體U位置變更至退避位置。并且，與物品載置體U的移載用位置和退避位置的位置變更連動(dòng)地，顯示物品載置體U的識(shí)別信息的顯示體24位置變更至被檢測(cè)位置和檢測(cè)不能位置。因此，在物品載置體U位于移載用位置時(shí)，能夠基于由識(shí)別信息檢測(cè)傳感器22檢測(cè)到的識(shí)別信息判別物品載置體U是否是移載對(duì)象的物品載置體，并且，在物品載置體U位于退避位置時(shí)，判斷為移載對(duì)象的物品載置體不存在的狀態(tài)，能夠停止物品B的錯(cuò)誤的移載。即，當(dāng)在忘記將物品載置體U從退避位置返回移載用位置的狀態(tài)下再開(kāi)始由物品運(yùn)送車A進(jìn)行的物品B的運(yùn)送時(shí)，能夠避免物品運(yùn)送車A對(duì)于退避位置的物品載置體U錯(cuò)誤地進(jìn)行物品B的移載。[其他實(shí)施方式]
接著，列舉其他實(shí)施方式。(I)在上述實(shí)施方式中，例示了使用了定載荷彈簧19相對(duì)于上框8保持下框9，升降操作物品載置臺(tái)E的方式，但也可以以如圖6所示的方式實(shí)施，將從設(shè)置在頂板部T的手動(dòng)滑輪35沿水平方向放出的繩狀體36由設(shè)置在頂板部T的空轉(zhuǎn)滑輪37向下引導(dǎo)，并將其端部與下框9連接，從而借助手動(dòng)滑輪35的轉(zhuǎn)動(dòng)操作，升降操作物品載置臺(tái)E。S卩，手動(dòng)滑輪35使用曲柄桿等，能夠以較小的操作力轉(zhuǎn)動(dòng)操作，因此能夠良好地將具有三個(gè)物品載置體U的物品載置臺(tái)E升降操作。(2 )在上述實(shí)施方式中，例示了在沿著行進(jìn)軌道L的長(zhǎng)度方向的物品載置臺(tái)E上載置三個(gè)物品載置體U的情況，但也可以以在物品載置臺(tái)E上載置兩個(gè)或四個(gè)以上的物品載置體U的方式實(shí)施，并且，也可以以不具備物品載置臺(tái)E而分別可位置變更地支承各物品載置體U的方式實(shí)施。(3)在上述實(shí)施方式中，例示了在行進(jìn)軌道L的兩側(cè)的橫向側(cè)方設(shè)置物品載置體U的情況，但也可以僅在行進(jìn)軌道L的一方側(cè)的橫向側(cè)方設(shè)置物品載置體U等，對(duì)于行進(jìn)軌道L的物品載置體U的設(shè)置方式可以做各種變更。(4)在上述實(shí)施方式中，作為物品B，例示了收納基板的收納容器(FOUP)，但本發(fā)明的物品運(yùn)送設(shè)備能夠用于運(yùn)送各種物品，并且，物品運(yùn)送車A的具體結(jié)構(gòu)可以根據(jù)所運(yùn)送的物品做各種變更。
權(quán)利要求
1.一種物品運(yùn)送設(shè)備，具備: 行進(jìn) 軌道，被從頂板部垂吊支承，對(duì)物品運(yùn)送車進(jìn)行引導(dǎo)； 物品載置體，配置在上述行進(jìn)軌道的橫向側(cè)方且下方位置，對(duì)在與上述物品運(yùn)送車之間移載的物品進(jìn)行載置支承； 支承機(jī)構(gòu)，以能夠位置調(diào)節(jié)至與上述物品運(yùn)送車之間移載物品的移載用位置和從該移載用位置向上方退避的退避位置的方式從上述頂板部垂吊支承上述物品載置體， 其特征在于， 上述支承機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠?qū)⑤d置了物品的狀態(tài)的上述物品載置體位置變更至上述移載用位置和上述退避位置。
2.如權(quán)利要求1所述的物品運(yùn)送設(shè)備，其特征在于， 上述支承機(jī)構(gòu)以在上述退避位置處與上述移載用位置相比從上述行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離長(zhǎng)的方式支承上述物品載置體，以使位于上述退避位置的上述物品載置體與在上述行進(jìn)軌道上行進(jìn)的上述物品運(yùn)送車不會(huì)抵接干涉。
3.如權(quán)利要求2所述的物品運(yùn)送設(shè)備，其特征在于， 上述支承機(jī)構(gòu)以隨著從上述移載用位置向上述退避位置上升而從上述行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離變長(zhǎng)的方式可滑動(dòng)移動(dòng)地支承上述物品載置體。
4.如權(quán)利要求3所述的物品運(yùn)送設(shè)備，其特征在于， 在沿著上述行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)條狀的物品載置臺(tái)上，多個(gè)上述物品載置體沿著上述行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向并列設(shè)置， 在上述物品載置臺(tái)的上述行進(jìn)軌道的長(zhǎng)度方向的兩端部的各自上，具備朝向上方突出的下框； 上述支承機(jī)構(gòu)具有相對(duì)于被垂吊支承于上述頂板部的上框可升降地引導(dǎo)一對(duì)上述下框的各自的滑動(dòng)軌道機(jī)構(gòu)，上述滑動(dòng)軌道機(jī)構(gòu)以隨著上升而從上述行進(jìn)軌道向橫向側(cè)方的離開(kāi)距離變長(zhǎng)的方式相對(duì)于上述上框引導(dǎo)上述下框。
5.如權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的物品運(yùn)送設(shè)備，其特征在于， 設(shè)置有連動(dòng)機(jī)構(gòu)，使顯示上述物品載置體的識(shí)別信息的顯示體的位置與上述物品載置體的位置變更連動(dòng)地變更至裝備于上述物品運(yùn)送車的識(shí)別信息檢測(cè)傳感器能夠檢測(cè)到的被檢測(cè)位置、和上述識(shí)別信息檢測(cè)傳感器不能檢測(cè)到的檢測(cè)不能位置， 上述連動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述顯示體的位置與上述物品載置體的位置變更連動(dòng)，使得在上述物品載置體位于上述移載用位置時(shí)上述顯示體被配置于上述被檢測(cè)位置、且在上述物品載置體位于上述退避位置時(shí)上述顯示體被配置于上述檢測(cè)不能位置。
6.如權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的物品運(yùn)送設(shè)備，其特征在于， 上述退避位置被設(shè)定為位于該退避位置的上述物品載置體與上述頂板部之間的間隔為上述物品的高度以上的位置， 上述支承機(jī)構(gòu)被配置在相對(duì)于在上述移載用位置和上述退避位置之間移動(dòng)的上述物品載置體從上方看不重疊的位置。
7.如權(quán)利要求5所述的物品運(yùn)送設(shè)備，其特征在于， 上述退避位置被設(shè)定為位于該退避位置的上述物品載置體與上述頂板部之間的間隔為上述物品的高度以上的位置，上述支承機(jī)構(gòu)被配置在相對(duì)于在上述移載用位置和上述退避位置之間移動(dòng)的上述物品載置體從上方看不重 疊的位置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種物品運(yùn)送設(shè)備，具備行進(jìn)軌道(L)，被從頂板部(T)垂吊支承而引導(dǎo)物品運(yùn)送車(A)；物品載置體(U)，配置在行進(jìn)軌道(L)的橫向側(cè)方且下方位置，載置支承與物品運(yùn)送車(A)之間移載的物品(B)；及支承機(jī)構(gòu)(D)，以能夠在與物品運(yùn)送車(A)之間移載物品(B)的移載用位置和從該移載用位置向上方退避的退避位置進(jìn)行位置調(diào)節(jié)的方式從頂板部(T)垂吊支承物品載置體(U)。支承機(jī)構(gòu)(D)構(gòu)成為，能夠?qū)⑤d置了物品(B)的狀態(tài)的上述物品載置體(U)位置變更至移載用位置和退避位置。
文檔編號(hào)B65G1/00GK103171841SQ201210557549
公開(kāi)日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者乾吉隆, 森本雄一, 馬場(chǎng)祐志 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福