專利名稱：光學(xué)元件的制造裝置以及制造方法、控制程序和記錄介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包含被轉(zhuǎn)印了期望的光學(xué)功能面的樹脂部分的光學(xué)元件的制造裝置 以及制造方法。
背景技術(shù)：
以往，存在對將樹脂夾在成形模間進(jìn)行成形的裝置進(jìn)行成形模的位移控制的技 術(shù)。在這樣的技術(shù)中，利用驅(qū)動(dòng)軸的位置或速度的控制、定時(shí)器(timer)的時(shí)間控制、或者 溫度控制等來控制作用于成形模的驅(qū)動(dòng)力。
此外，在專利文獻(xiàn)I中公開了以下方法由伺服電機(jī)(servo motor)進(jìn)行成形模的 驅(qū)動(dòng)，進(jìn)行該伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)矩控制，以成為成形模的自重被消除了的偽浮動(dòng)狀態(tài)的方式進(jìn) 行控制。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本國公開專利公報(bào)“特開2009-190250號公報(bào)(2009年8月27日公開)”; 專利文獻(xiàn)2 :日本國公開專利公報(bào)“特開2008-183827號公報(bào)(2008年8月14日公開)”。
發(fā)明要解決的問題可是，在利用驅(qū)動(dòng)軸的位置或速度的控制、定時(shí)器的時(shí)間控制、或者溫度控制等來控制 作用于成形模的驅(qū)動(dòng)力的方法中，若欲縮短生產(chǎn)節(jié)拍(tact)來提高生產(chǎn)率，則難以提取成 形條件。此外，成形條件的提取的困難性越是在像晶片級透鏡(wafer-level lens)那樣對 大面積進(jìn)行成形的情況下越變得顯著。在未適當(dāng)?shù)靥崛〕尚螚l件并且成形模不能完全對樹 脂的固化收縮進(jìn)行追隨的情況下，在樹脂表面產(chǎn)生微小的氣孔。
此外，在專利文獻(xiàn)I的控制方法中，也由于固化單元的制約而不得不在遠(yuǎn)離成形 模的位置設(shè)置重量控制單元，因此若提高生產(chǎn)率，則缺乏響應(yīng)性、成形不合格的可能性高。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于，提供一種能夠提高生產(chǎn)率并且防 止氣孔的產(chǎn)生、使光學(xué)功能面的面精度提高的光學(xué)元件的制造裝置以及制造方法。
用于解決問題的手段為了解決上述問題，本發(fā)明的光學(xué)元件的制造裝置是將樹脂夾在一對成形模之間進(jìn)行 成形的光學(xué)元件的制造裝置，其特征在于，具備驅(qū)動(dòng)部，定位所述成形模的位置；壓力檢 測部，檢測從所述樹脂作用于所述成形模的壓力；以及控制部，在由所述壓力檢測部檢測到 作用于所述成形模的壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)使所述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)來控制所述成形模的位置， 使得在將作用于所述成形模的壓力增加到規(guī)定的正壓之后，維持所述正壓。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在作用于上述成形模的壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)，開始控制，使得在 將作用于上述成形模的壓力增加到規(guī)定的正壓之后，維持上述正壓。在此，作用于成形模的 壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)是樹脂的溫度到達(dá)凝膠化點(diǎn)的時(shí)間點(diǎn)，通過從樹脂的溫度到達(dá)凝膠化點(diǎn)起開始對成形模的壓力控制，從而能夠在樹脂為軟質(zhì)固體的適當(dāng)?shù)钠陂g對樹脂施加壓 力，即使與以往的控制方法相比提高升溫速率，也容易提取在進(jìn)行上述控制的期間的設(shè)定 條件。由此，本發(fā)明的制造方法能夠兼顧制造時(shí)間的縮短和光學(xué)功能面的面精度的提高。
為了解決上述問題，本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法是將樹脂夾在一對成形模之間 進(jìn)行成形的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，包含第一工序，對所述成形模的一個(gè)涂敷 樹脂；第二工序，使另一個(gè)成形模與所述樹脂接觸，使所述樹脂固化直到所述樹脂的溫度到 達(dá)凝膠化點(diǎn)；以及第三工序，在所述樹脂的溫度到達(dá)了凝膠化點(diǎn)的時(shí)間點(diǎn)，一邊控制所述成 形模的位置，一邊使所述樹脂固化，以使進(jìn)行固化收縮的樹脂作用于所述成形模的壓力維 持規(guī)定值。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于在上述樹脂溫度到達(dá)了凝膠化點(diǎn)之后，一邊控制上述成形模 的位置，一邊使上述樹脂固化，以使進(jìn)行固化收縮的樹脂作用于上述成形模的壓力維持規(guī) 定值，所以能夠在樹脂為軟質(zhì)固體的適當(dāng)?shù)钠陂g施加壓力，即使與以往的控制方法相比提 高升溫速率，也容易提取在進(jìn)行上述控制的期間的設(shè)定條件。由此，本發(fā)明的制造方法能夠 兼顧制造時(shí)間的縮短和光學(xué)功能面的面精度的提高。
發(fā)明效果本發(fā)明從樹脂的溫度到達(dá)了凝膠化點(diǎn)的時(shí)間點(diǎn)起，開始成形模的位置控制，以使作用 于上述成形模的壓力維持固定的正壓，由此能夠在樹脂為軟質(zhì)固體的適當(dāng)?shù)钠陂g施加壓 力，即使與以往的控制方法相比提高升溫速率，也容易提取在進(jìn)行上述控制的期間的設(shè)定 條件。由此，本發(fā)明的制造方法起到能夠兼顧制造時(shí)間的縮短和光學(xué)功能面的面精度的提聞等的效果。


圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的圖，是表示光學(xué)元件的制造裝置的概略的圖。
圖2是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的圖，是表示光學(xué)元件的制造方法的流程圖。
圖3是表示本實(shí)施方式的光學(xué)元件的制造方法中的在檢測負(fù)壓的前后的壓力波形的圖。
圖4是表示本實(shí)施方式的光學(xué)元件的制造方法中的被加熱的樹脂的PVT特性的圖。
圖5是表示對于升溫速率的從升溫開始起的時(shí)間與金屬模溫度的關(guān)系的圖表。
圖6是表示對于升溫速率的工藝窗口(process window)的圖。
具體實(shí)施方式
〔光學(xué)元件的制造裝置〕以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是表示本實(shí)施方式的光學(xué)元件的 制造裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。
如圖1所示，制造裝置I是將樹脂夾在一對相向的成形模10、11之間進(jìn)行成形的 裝置。成形模10、11安裝在未圖示的框架上，并且沿著成形模10、11的框架以能移動(dòng)的方 式進(jìn)行定位，使得成形模10、11之間的距離能夠相對地變化。在此，固定下側(cè)的成形模10，利用由伺服電機(jī)13以及滾珠螺桿(ball screw) 14構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)部能對上側(cè)的成形模11進(jìn) 行位移驅(qū)動(dòng)。由此，成形模11能夠相對于成形模10接近和背離。當(dāng)然，也可以與此相反地 為將上側(cè)的成形模11固定、使下側(cè)的成形模10相對于成形模11接近或背離的結(jié)構(gòu)，還可 以采用能移動(dòng)成形模10、11雙方的結(jié)構(gòu)。此外，將成形模11或成形模10的移動(dòng)方向設(shè)定 為鉛垂方向。
此外，本發(fā)明的光學(xué)元件的制造裝置也能應(yīng)用于復(fù)合光學(xué)元件的制造。復(fù)合光學(xué) 元件是將由玻璃或塑料材料構(gòu)成的成為基材的光學(xué)元件(以下，僅稱為基材)和被轉(zhuǎn)印了期 望的光學(xué)功能面的合成樹脂層一體形成的光學(xué)元件。在用制造裝置I形成這樣的復(fù)合光學(xué) 元件的情況下，對形成為期望的形狀的上述基材涂敷樹脂，向該樹脂推壓成形模并使其固 化，形成合成樹脂層。因此，在該情況下，作為成形模10來使用的是安裝于制造裝置I的成 為復(fù)合光學(xué)元件的一部分的上述基材，對該基材的上表面涂敷規(guī)定量的樹脂，向該樹脂推 壓成形模11。在以下的說明中，例示制造復(fù)合光學(xué)元件的情況并進(jìn)行說明。
利用由伺服控制器12控制的伺服電機(jī)13以及滾珠螺桿14驅(qū)動(dòng)成形模11。制造 裝置I還具有編碼器15，檢測伺服電機(jī)13的位置和速度；以及測力傳感器(load cell) (壓力檢測部)16，檢測作用于成形模11的壓力。
制造裝置I為了執(zhí)行進(jìn)行成形模11的驅(qū)動(dòng)控制的控制程序，還具有運(yùn)算部(控制 部)17、存儲部18、以及設(shè)定部19。從編碼器15向運(yùn)算部17輸入伺服電機(jī)13的位置和速 度信息，從測力傳感器16向運(yùn)算部17輸入作用于成形模11的壓力信息。在存儲部18中 記錄有用于進(jìn)行成形模的驅(qū)動(dòng)控制的程序以及設(shè)定信息。設(shè)定部19是用于輸入向存儲部 18寫入的上述設(shè)定信息的單元。
〔光學(xué)元件的制造方法〕參照圖2的流程圖對光學(xué)元件的制造方法進(jìn)行說明。
在由制造裝置I制造復(fù)合光學(xué)元件時(shí)，首先，作為第一工序，將涂敷了規(guī)定量的樹 脂的基材作為成形模10安裝于制造裝置I。再有，在制造的光學(xué)元件不是復(fù)合光學(xué)元件的 情況下，對制造裝置I所具備的成形模10涂敷樹脂。此時(shí)，樹脂的涂敷面為與成形模11相 向的一側(cè)。關(guān)于上述樹脂，能夠使用熱固性或光固化性的樹脂，但是在此，以使用熱固性的 樹脂的情況為例進(jìn)行說明。
在第二工序中，從上述的狀態(tài)起，為了使成形模11與樹脂接觸，運(yùn)算部17向伺服 控制器12輸出金屬模下降指令(SI)。在成形模11下降的期間，測力傳感器16檢測作用于 成形模11的壓力，并將該壓力信息輸入至運(yùn)算部17。運(yùn)算部17基于從測力傳感器16輸入 的壓力信息，監(jiān)視作用于成形模11的壓力，在該壓力變?yōu)檎龎旱臅r(shí)間點(diǎn)向伺服控制器12輸 出金屬模下降停止指令(S2)，使成形模11停止。在成形模11最初與樹脂接觸的時(shí)間點(diǎn)，該 樹脂為液體狀態(tài)，因此不能作用大的壓力。因此，優(yōu)選在使成形模11停止時(shí)的壓力為盡可 能地接近于O的壓力，例如，考慮在由測力傳感器16檢測到能檢測出的最小限度的正壓的 時(shí)間點(diǎn)使成形模11停止。此外，當(dāng)利用上述金屬模下降停止指令使成形模11停止時(shí)，由編 碼器15檢測在該時(shí)間點(diǎn)的伺服電機(jī)13的位置，并將檢測到的位置信息經(jīng)由運(yùn)算部17存儲 到存儲部18中。
像這樣，當(dāng)成形模11暫時(shí)停止時(shí)，開始用于使樹脂固化的加熱(在S3為“是”)。此 外，在第二工序的期間，測力傳感器16檢測作用于成形模11的壓力，并將該壓力信息輸入至運(yùn)算部17。運(yùn)算部17基于該壓力信息，監(jiān)視作用于成形模11的壓力，在該壓力變?yōu)樨?fù)壓 的時(shí)間點(diǎn)(在S4為“是”)切換對成形模11的壓力控制(S5)。即，在檢測到上述負(fù)壓之前， 成形模11處于停止?fàn)顟B(tài)、或者對其進(jìn)行不伴隨將作用于成形模11的壓力維持在固定壓力 那樣的壓力控制的位置控制。作為這樣的位置控制，例如，存在使成形模11以固定速度下 降的那樣的控制。
當(dāng)檢測到上述負(fù)壓時(shí)，轉(zhuǎn)移至第三工序。在第三工序中，伺服控制器12 —邊進(jìn)行 壓力控制，一邊驅(qū)動(dòng)成形模11，以使如圖3所示那樣將作用于成形模11的壓力增加到規(guī)定 的正壓并且在樹脂的固化完成之前維持該正壓。由此，對成形模11以追隨于上述樹脂的固 化收縮并且對樹脂施加規(guī)定的壓力的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。再有，在檢測到上述負(fù)壓之后，用 于將作用于成形模11的壓力維持在規(guī)定的正壓的壓力控制能通過進(jìn)行向運(yùn)算部17輸入測 力傳感器16的輸出并將該輸出維持在規(guī)定的值的那樣的反饋控制來實(shí)現(xiàn)。
或者，用于將作用于成形模11的壓力維持在規(guī)定的正壓的壓力控制也可以通過 基于預(yù)先存儲在存儲部18中的設(shè)定信息來控制伺服電機(jī)的位置或速度而進(jìn)行。即，將從加 熱開始后經(jīng)過規(guī)定時(shí)間的伺服電機(jī)的位移或速度作為設(shè)定信息存儲到存儲部18中并基于 該設(shè)定信息來控制伺服電機(jī)的位置或速度即可。關(guān)于在該情況下的伺服電機(jī)的一種控制， 只要對加熱開始前的成形模11的初始位置加上作為設(shè)定信息而存儲的伺服電機(jī)的位移來 計(jì)算出從加熱開始后經(jīng)過規(guī)定時(shí)間的伺服電機(jī)的位置即可。此外，關(guān)于上述設(shè)定條件，只要 預(yù)先在多個(gè)不同的條件下進(jìn)行試制，使用在得到成為合格品的光學(xué)元件時(shí)的條件即可。
當(dāng)完成樹脂的固化并停止加熱時(shí)(在S6為“是”)，運(yùn)算部17對冷卻單元(未圖示) 輸出金屬模冷卻指令(S7)。像這樣，當(dāng)成形模11冷卻到規(guī)定的溫度時(shí)，運(yùn)算部17對伺服控 制器12輸出金屬模上升指令(S8)。之后，將由基材和合成樹脂層構(gòu)成的復(fù)合光學(xué)元件從成 形模11脫模，完成復(fù)合光學(xué)元件，該合成樹脂層由固化后的樹脂構(gòu)成。
〔上述制造方法的效果〕被加熱的樹脂的狀態(tài)按照圖4所示的PVT特性進(jìn)行轉(zhuǎn)變。PVT特性是表示壓力(P)-比 容(V)-溫度(T)的相互關(guān)系的特性。當(dāng)通過加熱進(jìn)行樹脂的反應(yīng)時(shí)，樹脂的狀態(tài)按照液體 —不穩(wěn)定固體一軟質(zhì)固體一硬質(zhì)固體進(jìn)行變化。
在圖4所示的成形工藝中，從初始狀態(tài)(L)到凝膠化點(diǎn)(G)，與由升溫引起的熱膨 脹一起，產(chǎn)生伴隨著凝膠化前的固化反應(yīng)的固化收縮。從凝膠化點(diǎn)(G)到固化工藝點(diǎn)(P)， 樹脂與成形模緊貼，面內(nèi)方向的尺寸變化被限制。在固化工藝點(diǎn)(P)，根據(jù)固化時(shí)間而產(chǎn)生 應(yīng)力松弛。從固化工藝點(diǎn)(P)到脫模點(diǎn)(R)，尺寸變化被金屬模限制。從脫模點(diǎn)(R)到成形 完成點(diǎn)(S)，在釋放殘存的應(yīng)力的形態(tài)下產(chǎn)生尺寸變化(由冷卻引起的收縮)。在上述成形工 藝中，金屬模尺寸與在成形完成點(diǎn)的尺寸的差異為收縮效應(yīng)。
為了對上述樹脂進(jìn)行利用成形模11的形狀轉(zhuǎn)印，需要在軟質(zhì)固體時(shí)施加壓力。此 時(shí)，在以往的驅(qū)動(dòng)力控制方法中，若提高升溫速率，則難以適當(dāng)?shù)卦O(shè)定對樹脂開始施加壓力 的定時(shí)。這是由于在以往的控制方法中從對樹脂的加熱開始時(shí)起開始控制，若對樹脂開始 施加壓力的定時(shí)過早，則由于在樹脂變?yōu)檐涃|(zhì)固體之前壓力進(jìn)行作用，所以樹脂的變形量 過大，若對樹脂開始施加壓力的定時(shí)過遲，則在開始施加壓力的時(shí)間點(diǎn)樹脂的固化進(jìn)展得 過多，容易發(fā)生成形不合格(轉(zhuǎn)印不合格)。因此，在以往的控制方法中，需要抑制升溫速率 來進(jìn)行成形。
例如，如圖5所示，假設(shè)金屬模溫度為130°C 140°C的時(shí)間點(diǎn)是應(yīng)該對樹脂作用 壓力的期間，在升溫速率是2°C /s的情況下，該期間僅為5秒，與此相對地，在升溫速率是 O. 5°C /s的情況下，該期間變?yōu)?0秒。由此可知，雖然升溫速率高的一方生產(chǎn)率提高，但應(yīng) 該對樹脂作用壓力的期間變短，難以適當(dāng)?shù)卦O(shè)定對樹脂開始施加壓力的定時(shí)。此外，圖6是 表示對于升溫速率的工藝窗口的圖。從該圖可知，在從升溫開始到對樹脂開始施加壓力的 時(shí)間中，升溫速率越高，用于得到合格的余裕(margin)越少,升溫速率越低,余裕越多。
在本實(shí)施方式的制造方法中，監(jiān)視作用于成形模11的壓力，在該壓力變?yōu)樨?fù)壓的 時(shí)間點(diǎn)開始伺服電機(jī)13的驅(qū)動(dòng)控制(對成形模11的壓力控制)。作用于成形模11的壓力 變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)是圖4所示的凝膠化點(diǎn)(G)，通過從該凝膠化點(diǎn)(G)開始驅(qū)動(dòng)控制，從而 能夠在樹脂是軟質(zhì)固體的適當(dāng)?shù)钠陂g施加規(guī)定的壓力，即使與以往的控制方法相比提高升 溫速率，也容易提取在進(jìn)行上述驅(qū)動(dòng)控制的期間的設(shè)定條件。由此，本實(shí)施方式的制造方法 能夠兼顧制造時(shí)間的縮短和光學(xué)功能面的面精度的提高。此次，即使是熱固性樹脂所使用 的加熱器的升溫速率為2°C /s的結(jié)構(gòu)，也能夠確保生產(chǎn)率并防止在光學(xué)功能面中的氣孔、 使光學(xué)功能面的面精度提高。
再有，雖然在上述說明中，說明了使用熱固性樹脂的情況，但是在使用光固化性樹 脂的情況下，通過加大為了使樹脂固化而照射的光的強(qiáng)度，從而能夠加快樹脂的固化，提高 生產(chǎn)率。在本實(shí)施方式的光學(xué)元件的制造方法中，即使是在使用光固化性樹脂的情況下，也 能夠確保生產(chǎn)率并防止在光學(xué)功能面中的氣孔、使光學(xué)功能面的面精度提高。
再有，上述實(shí)施方式的光學(xué)元件的制造裝置的各部分、各處理步驟能夠通過以下 方式來實(shí)現(xiàn)，即，CPU等的運(yùn)算單元執(zhí)行在ROM (Read Only Memory :只讀存儲器)、RAM等的 存儲單元中存儲的程序來控制鍵盤等的輸入單元、顯示器等的輸出單元、或者接口電路等 的通信單元。因此，具有這些單元的計(jì)算機(jī)僅通過讀取記錄有上述程序的記錄介質(zhì)并執(zhí)行 該程序，從而能夠?qū)崿F(xiàn)本實(shí)施方式的制造裝置的各種功能以及各種處理。此外，通過將上述 程序記錄在可移動(dòng)的記錄介質(zhì)中，從而能夠在任意的計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)上述的各種功能以及各 種處理。
作為該記錄介質(zhì)，用于由微型計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理的未圖示的存儲器、例如像ROM那 樣的存儲器是程序介質(zhì)也可，此外，雖然未圖示但作為外部存儲裝置，是通過設(shè)置程序讀取 裝置并在此處插入記錄介質(zhì)而能進(jìn)行讀取的程序介質(zhì)也可。
此外，在所有的情況下，優(yōu)選儲存的程序是微處理器訪問并執(zhí)行的結(jié)構(gòu)。進(jìn)而，優(yōu) 選為以下方式，即，讀出程序，將讀出的程序下載到微型計(jì)算機(jī)的程序存儲區(qū)域中，執(zhí)行該 程序。再有，將該下載用的程序預(yù)先儲存到主體裝置中。
此外，作為上述程序介質(zhì)，是以能與主體分離的方式構(gòu)成的記錄介質(zhì)，有包含以 下類型的固定地?fù)?dān)載程序的記錄介質(zhì)等磁帶、盒式磁帶等磁帶類；軟盤、硬盤等磁盤、 CD/M0/MD/DVD等盤的盤類；IC卡(包含存儲卡)等卡類；或者掩模ROM、EPROM (Erasable Programmable Read Only Memory :可擦可編程只讀存儲器)、EEPROM (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory :電可擦可編程只讀存儲器)、閃速ROM等的半 導(dǎo)體存儲器。
此外，如果是能夠連接包含因特網(wǎng)的通信網(wǎng)絡(luò)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，那么優(yōu)選是以從通信 網(wǎng)絡(luò)下載程序的方式流動(dòng)地?fù)?dān)載程序的記錄介質(zhì)。
進(jìn)而，在像這樣從通信網(wǎng)絡(luò)下載程序的情況下，優(yōu)選該下載用的程序是預(yù)先儲存 在主體裝置中、或從另外的記錄介質(zhì)安裝的程序。
本發(fā)明不被上述的各實(shí)施方式限定，在權(quán)利要求書所示出的范圍內(nèi)能進(jìn)行各種變 更，對于適當(dāng)?shù)亟M合在不同的實(shí)施方式中分別公開的技術(shù)手段而得到的實(shí)施方式也包含在 本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。
本發(fā)明的實(shí)施方式的制造裝置采用以下結(jié)構(gòu)也可上述光學(xué)元件是在具有光學(xué)功 能的基材上形成被轉(zhuǎn)印了期望的光學(xué)功能面的合成樹脂層而成的復(fù)合光學(xué)元件，上述成形 模的一個(gè)是上述基材。
在本發(fā)明的實(shí)施方式的光學(xué)元件的制造方法中，在上述第二工序的期間，監(jiān)視從 上述樹脂作用于上述成形模的壓力，在檢測到作用于上述成形模的壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間 點(diǎn)，從上述第二工序切換成上述第三工序，在上述第三工序中，控制上述成形模的位置使得 在將作用于上述成形模的壓力增加到規(guī)定的正壓之后，維持上述正壓也可。
在本發(fā)明的實(shí)施方式的光學(xué)元件的制造方法中，上述光學(xué)元件是在具有光學(xué)功能 的基材上形成被轉(zhuǎn)印了期望的光學(xué)功能面的合成樹脂層而成的復(fù)合光學(xué)元件，上述成形模 中的涂敷有上述樹脂的成形模是上述基材也可。
本發(fā)明的實(shí)施方式的控制程序是將樹脂夾在一對成形模之間進(jìn)行成形的光學(xué)元 件的制造裝置的控制程序，上述制造裝置具備驅(qū)動(dòng)部，定位上述成形模的位置；壓力檢測 部，檢測作用于上述成形模的壓力；以及計(jì)算機(jī)，控制上述驅(qū)動(dòng)部，上述控制程序使上述計(jì) 算機(jī)實(shí)現(xiàn)以下功能在由上述壓力檢測部檢測到從上述樹脂作用于上述成形模的壓力變?yōu)?負(fù)壓的時(shí)間點(diǎn)使上述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)來控制上述成形模的位置使得在將作用于上述成形模的 壓力增加到規(guī)定的正壓之后，維持上述正壓。
本發(fā)明的實(shí)施方式的記錄介質(zhì)是記錄有該控制程序的計(jì)算機(jī)能讀取的記錄介質(zhì)。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠在由被轉(zhuǎn)印了期望的光學(xué)功能面的樹脂構(gòu)成的光學(xué)元件、在由玻璃或塑料 材料構(gòu)成的成為基材的光學(xué)元件上形成被轉(zhuǎn)印了期望的光學(xué)功能面的合成樹脂層而成的 復(fù)合光學(xué)元件的制造中利用。
附圖標(biāo)記的說明10成形模(基材)；11成形模；12伺服控制器；13伺服電機(jī)(驅(qū)動(dòng)部)；14滾珠螺桿(驅(qū)動(dòng)部)；15編碼器；16測力傳感器(壓力檢測部)；17運(yùn)算部(控制部)；18存儲部(控制部)；19設(shè)定部。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)元件的制造裝置，在所述制造裝置中，將樹脂夾在一對成形模之間進(jìn)行成形，其特征在于，具備驅(qū)動(dòng)部，定位所述成形模的位置；壓力檢測部，檢測從所述樹脂作用于所述成形模的壓力；以及控制部，在由所述壓力檢測部檢測到作用于所述成形模的壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)使所述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)來控制所述成形模的位置，使得在將作用于所述成形模的壓力增加到規(guī)定的正壓之后，維持所述正壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造裝置，其特征在于，所述光學(xué)元件是在具有光學(xué)功能的基材上形成被轉(zhuǎn)印了期望的光學(xué)功能面的合成樹脂層而成的復(fù)合光學(xué)元件，所述成形模的一個(gè)是所述基材。
3.一種光學(xué)元件的制造方法，在所述制造方法中，將樹脂夾在一對成形模之間進(jìn)行成形，其特征在于，包含第一工序，對所述成形模的一個(gè)涂敷樹脂；第二工序，使另一個(gè)成形模與所述樹脂接觸，使所述樹脂固化直到所述樹脂的溫度到達(dá)凝膠化點(diǎn)；以及第三工序，在所述樹脂的溫度到達(dá)了凝膠化點(diǎn)的時(shí)間點(diǎn)，一邊控制所述成形模的位置，一邊使所述樹脂固化，以使進(jìn)行固化收縮的樹脂作用于所述成形模的壓力維持規(guī)定值。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述第二工序的期間，監(jiān)視從所述樹脂作用于所述成形模的壓力，在檢測到作用于所述成形模的壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)，從所述第二工序切換成所述第三工序，在所述第三工序中，控制所述成形模的位置，使得在將作用于所述成形模的壓力增加到規(guī)定的正壓之后，維持所述正壓。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的制造方法，其特征在于，所述光學(xué)元件是在具有光學(xué)功能的基材上形成被轉(zhuǎn)印了期望的光學(xué)功能面的合成樹脂層而成的復(fù)合光學(xué)元件，所述成形模中的涂敷有所述樹脂的成形模是所述基材。
6.一種將樹脂夾在一對成形模之間進(jìn)行成形的光學(xué)元件的制造裝置的控制程序，其特征在于，所述制造裝置具備驅(qū)動(dòng)部，定位所述成形模的位置；壓力檢測部，檢測作用于所述成形模的壓力；以及計(jì)算機(jī)，控制所述驅(qū)動(dòng)部，所述控制程序使所述計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)以下功能在由所述壓力檢測部檢測到從所述樹脂作用于所述成形模的壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)使所述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)來控制所述成形模的位置，使得在將作用于所述成形模的壓力增加到規(guī)定的正壓之后，維持所述正壓。
7.一種計(jì)算機(jī)能讀取的記錄介質(zhì)，記錄有將樹脂夾在一對成形模之間進(jìn)行成形的光學(xué)元件的制造裝置的控制程序，其特征在于，所述制造裝置具備驅(qū)動(dòng)部， 定位所述成形模的位置；壓力檢測部，檢測作用于所述成形模的壓力；以及計(jì)算機(jī)，控制所述驅(qū)動(dòng)部，所述控制程序使所述計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)以下功能在由所述壓力檢測部檢測到從所述樹脂作用于所述成形模的壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)使所述驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)來控制所述成形模的位置，使得在將作用于所述成形模的壓力增加到規(guī)定的正壓之后，維持所述正壓。
全文摘要
本發(fā)明涉及光學(xué)元件的制造裝置以及制造方法、控制程序和記錄介質(zhì)。在將樹脂夾在成形模(10、11)之間來制造光學(xué)元件時(shí)，在使成形模(11)與上述樹脂接觸的狀態(tài)下，進(jìn)行固化直到上述樹脂的溫度到達(dá)凝膠化點(diǎn)。在此期間，由測力傳感器(16)監(jiān)視作用于成形模(11)的壓力，在檢測到該壓力變?yōu)樨?fù)壓的時(shí)間點(diǎn)，一邊控制成形模(11)的位置，一邊使上述樹脂固化，使得將作用于成形模(11)的壓力增加到規(guī)定的正壓，之后維持上述正壓。
文檔編號B29C39/02GK103029246SQ20121036773
公開日2013年4月10日 申請日期2012年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者仲橋孝博, 花戶宏之 申請人:夏普株式會社