本發(fā)明涉及涂膠清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種涂膠頭清洗裝置。

背景技術(shù)：

黃光制程廣泛地用于半導(dǎo)體光刻和顯示器面板光刻工藝中，黃光制程的主要過程包括涂膠、曝光、顯影三大部分，其中涂膠是個極為重要的環(huán)節(jié)，涂膠機(jī)的狀態(tài)對產(chǎn)品質(zhì)量有著較大的影響。

目前，在清洗頭裝置(Wash Head)對涂膠頭(Nozzle)的清洗過程中易產(chǎn)生稀釋液(Thinner)外濺的情況，導(dǎo)致氣缸軌道的臟污，影響清洗頭裝置的正常運(yùn)作。

如圖1所示，現(xiàn)有的涂膠頭清洗裝置的結(jié)構(gòu)為：包括位于所述涂膠頭10下方并用于清洗所述涂膠頭10的清洗頭裝置1、設(shè)置于氣缸軌道2上的氣缸3、用于隔離所述清洗頭裝置1和涂膠滾筒11(Uniformer)的保護(hù)殼4，所述清洗頭裝置1與稀釋液供給管道連接，所述保護(hù)殼4與氣缸3之間的空間為線路儲存空間Zl；所述清洗頭裝置1通過水平連接架5與所述氣缸3的頂部固定連接，所述氣缸3帶動所述清洗頭裝置1進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動，以清洗所述涂膠頭10；在所述水平連接架5的下方設(shè)有擋板7，所述擋板7包括弧形段擋板與傾斜段擋板，所述傾斜段擋板連接排液管6。

從上述涂膠頭清洗裝置的結(jié)構(gòu)可以看出，連接清洗頭裝置和氣缸的水平連接架設(shè)于氣缸頂部，在氣缸帶動所述清洗頭裝置進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動的過程中，從清洗頭裝置濺出的稀釋液易流到氣缸軌道及線路儲存空間儲存的線路上，造成腐蝕或污染，擋板不能對氣缸軌道和線路形成有效的保護(hù)，減小了涂膠頭清洗裝置的使用壽命，縮短了設(shè)備的維護(hù)周期。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種涂膠頭清洗裝置，使得從清洗頭裝置外濺的稀釋液完全濺射在擋板上，并順著擋板流到排液管，從而有效避免對氣缸導(dǎo)軌和線路造成腐蝕或污染，延長了設(shè)備的使用壽命及維護(hù)周期。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種涂膠頭清洗裝置，包括位于所述涂膠頭下方并用于清洗所述涂膠頭的清洗頭裝置、設(shè)置于氣缸軌道上的氣缸、用于保護(hù)所述清洗頭裝置和氣缸的保護(hù)殼，所述清洗頭裝置通過連接架與所述氣缸的側(cè)面固定連接，在所述連接架的下方設(shè)有與排液管連接的傾斜下?lián)醢?，在所述連接架的上方設(shè)有與所述保護(hù)殼連接的傾斜上擋板，所述上擋板通過與所述保護(hù)殼連接的支撐架固定。

進(jìn)一步地，所述氣缸帶動所述清洗頭裝置進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動，以清洗所述涂膠頭。

進(jìn)一步地，所述連接架包括水平連接架和設(shè)置于所述水平連接架上的傾斜連接架。

更進(jìn)一步地，所述傾斜連接架的寬度大于所述水平連接架的寬度。

進(jìn)一步地，所述清洗頭裝置與稀釋液供給管道連接。

進(jìn)一步地，所述保護(hù)殼與氣缸之間的空間為線路儲存空間。

本發(fā)明獲得的有益效果是：將連接架設(shè)置于氣缸的側(cè)面，并且從清洗頭裝置外濺的稀釋液完全濺射在傾斜的上擋板和下?lián)醢迳?，并順著擋板流到排液管，從而有效避免對氣缸?dǎo)軌和線路造成腐蝕或污染，延長了設(shè)備的使用壽命及維護(hù)周期。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有的涂膠頭清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明涂膠頭清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖，對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚的描述，附圖僅供參考和說明使用，不構(gòu)成對本發(fā)明專利保護(hù)范圍的限制。

本發(fā)明實(shí)施例涉及一種涂膠頭清洗裝置，包括位于所述涂膠頭10下方并用于清洗所述涂膠頭的清洗頭裝置1、設(shè)置于氣缸軌道2上的氣缸3、用于隔離所述清洗頭裝置1和涂膠滾筒11的保護(hù)殼4，所述保護(hù)殼為金屬殼或其他殼體，所述氣缸3帶動所述清洗頭裝置1進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動，以清洗所述涂膠頭10；所述金屬殼4與氣缸3之間的空間為線路儲存空間Zl；所述清洗頭裝置1與稀釋液供給管道相連；

所述清洗頭裝置1通過連接架5與所述氣缸3的側(cè)面固定連接，在所述連接架5的下方設(shè)有與排液管6連接的傾斜下?lián)醢?1，在所述連接架5的上方設(shè)有與所述金屬殼4連接的傾斜上擋板72，所述上擋板72通過與所述金屬殼4連接的支撐架8固定，支撐架8對上擋板72形成有效地支撐。

所述連接架5設(shè)置于氣缸3的側(cè)面，與現(xiàn)有技術(shù)中設(shè)置于氣缸頂面相比，降低了從清洗頭裝置外濺的稀釋液濺射到氣缸軌道2和線路儲存空間Zl的幾率，連接架5的作用是防止稀釋液流向氣缸3，并且，傾斜的上擋板擋住了從清洗頭裝置1外濺的稀釋液，稀釋液順著下?lián)醢辶鞯脚乓汗?，從而對氣缸?dǎo)軌和線路形成有效的保護(hù)。

在本實(shí)施例中，所述連接架5包括水平連接架51和設(shè)置于所述水平連接架51上的傾斜連接架52。所述傾斜連接架52的寬度大于所述水平連接架51的寬度，避免了稀釋液沿著水平連接架51流向氣缸3，加裝寬度更大的傾斜連接架52防止稀釋液污染氣缸和線路。

如上述實(shí)施例為本發(fā)明較佳的實(shí)施方式，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不受上述實(shí)施例的限制，其他的任何未背離本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。