本發(fā)明有關(guān)于一種揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)及其方法，尤指一種能提升揮發(fā)性有機(jī)排氣處理的效率，并具有降低污染物排放的效能，而適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學(xué)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理系統(tǒng)或類似設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的制造生產(chǎn)過程中都會(huì)產(chǎn)生具有揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)，其中該揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)中含有氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物，而氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物是造成光化學(xué)煙霧、酸雨及人類呼吸道疾病的重要原因之一。

2、近年來由于環(huán)保意識(shí)的提高及環(huán)保法規(guī)的日趨嚴(yán)格，燃燒后的脫硝設(shè)備逐漸受到重視，而傳統(tǒng)脫硝技術(shù)，利用選擇性觸媒還原法(scr)或是選擇性非觸媒還原法(sncr)處理氮氧化物(nox)，都是注入尿素或氨當(dāng)還原劑進(jìn)行反應(yīng)。

3、因此，本發(fā)明人有鑒于上述缺失，期能提出一種具有降低污染物排放的效能的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)及其方法，且不需注入尿素或氨當(dāng)還原劑進(jìn)行反應(yīng)，令使用者可輕易操作組裝。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的，在于提供一種揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)及其方法，主要是由該處理設(shè)備的出口輸出含至少一氮氧化物(nox)的處理尾氣至該處理輸出管路內(nèi)，其中該氮氧化物(nox)包含一氧化氮及二氧化氮等，并通過該凈氣排放旁通管路將至少一部分的吸附后氣體輸送至該處理輸出管路，讓該至少一部分的吸附后氣體能與該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣進(jìn)行混合，以降低該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣的溫度，再進(jìn)入該無氨觸媒裝置內(nèi)進(jìn)行脫硝反應(yīng)，藉此，能提升揮發(fā)性有機(jī)排氣處理的效率，并具有降低污染物排放的效能，進(jìn)而增加整體的實(shí)用性。

2、本發(fā)明的次一目的，在于提供一種揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)及其方法，通過該臭氧產(chǎn)生器產(chǎn)生一臭氧，并經(jīng)由該臭氧輸送管路輸送至該無氨觸媒裝置內(nèi)，而該無氨觸媒裝置的入口與該處理輸出管路的另一端連接，讓進(jìn)行混合后至少一部分的處理尾氣進(jìn)入該無氨觸媒裝置內(nèi)進(jìn)行脫硝反應(yīng)，其中該無氨觸媒裝置設(shè)有至少一觸媒，而該無氨觸媒裝置的脫硝反應(yīng)利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(nox)進(jìn)行氧化處理，并產(chǎn)生一脫硝反應(yīng)后氣體，再經(jīng)由該無氨觸媒輸出管路輸出至該煙囪排放，使具有提升去除氮氧化物(nox)的效率，以達(dá)到改善氮氧化物(nox)排放的效能，進(jìn)而增加整體的效率性。

3、本發(fā)明的再一目的，在于提供一種揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)及其方法，通過該處理輸出管路裝設(shè)有一除塵器，而該除塵器設(shè)有一入口及一出口，當(dāng)該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時(shí)，該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣經(jīng)由該除塵器的入口進(jìn)入該除塵器內(nèi)，以進(jìn)行該至少一顆粒狀物的收集，再由該除塵器的出口輸出至該處理輸出管路，使具有除塵的效果，進(jìn)而增加整體的使用性。

4、為了能夠更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征、特點(diǎn)和技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本發(fā)明。

技術(shù)特征：

1.一種揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該無氨觸媒裝置進(jìn)一步設(shè)有至少一觸媒，該無氨觸媒裝置的脫硝反應(yīng)利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(nox)進(jìn)行氧化處理。

3.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該處理輸出管路進(jìn)一步裝設(shè)有一除塵器，該除塵器設(shè)有一入口及一出口，當(dāng)該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時(shí)，該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣經(jīng)由該除塵器的入口進(jìn)入該除塵器內(nèi)，以進(jìn)行該至少一顆粒狀物的收集，再由該除塵器的出口輸出至該處理輸出管路。

4.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該至少一控制閥門進(jìn)一步設(shè)置于該煙囪輸送管路時(shí)，該控制閥門為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該煙囪的風(fēng)量。

5.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該至少一控制閥門進(jìn)一步設(shè)置于該處理輸出管路時(shí)，該控制閥門為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風(fēng)量。

6.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該至少一控制閥門進(jìn)一步于該處理輸出管路及該煙囪輸送管路上分別設(shè)置各一控制閥門時(shí)，于該處理輸出管路上為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風(fēng)量，而該煙囪輸送管路上為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該煙囪的風(fēng)量。

7.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該凈氣排放旁通管路進(jìn)一步設(shè)有一凈氣排放旁通控制閥門，以控制該至少一部分的吸附后氣體輸送至該處理輸出管路的風(fēng)量。

8.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該加熱裝置進(jìn)一步為加熱器、管道加熱器、熱交換器的其中任一。

9.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該凈氣排放管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

10.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該脫附濃縮氣體管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

11.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該凈氣排放旁通管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

12.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該處理設(shè)備進(jìn)一步為直燃式焚燒爐(to)、觸媒式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐(rto)的其中任一。

13.如權(quán)利要求12所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該處理設(shè)備為直燃式焚燒爐(to)時(shí)進(jìn)一步于該直燃式焚燒爐(to)內(nèi)設(shè)有至少二熱交換器。

14.如權(quán)利要求12所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該處理設(shè)備為直燃式焚燒爐(to)時(shí)進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)道、一爐頭及一包圍屏蔽，該風(fēng)道設(shè)于該直燃式焚燒爐(to)內(nèi)，該爐頭結(jié)合于該直燃式焚燒爐(to)上，該風(fēng)道與該直燃式焚燒爐(to)的入口連接，該風(fēng)道設(shè)有一出風(fēng)口，該爐頭設(shè)有一通道，該爐頭設(shè)有一爐頭屏蔽、一氣體燃料管及一助燃?xì)怏w入口，該氣體燃料管具有一氣體燃料入口、至少一第一段氣口及至少一第二段氣口，該爐頭屏蔽位于該氣體燃料管的第二段氣口處，該包圍屏蔽的一端結(jié)合于該爐頭屏蔽，該包圍屏蔽的另一端自該風(fēng)道的出風(fēng)口穿出，該風(fēng)道的出風(fēng)口大于該包圍屏蔽，使該風(fēng)道的出風(fēng)口與該包圍屏蔽之間留有一氣道。

15.如權(quán)利要求1所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該吸附轉(zhuǎn)輪進(jìn)一步設(shè)有一冷卻區(qū)，該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)設(shè)有一冷卻氣進(jìn)氣管路及一冷卻氣輸送管路，該冷卻氣進(jìn)氣管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)的一側(cè)連接，該冷卻氣輸送管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)的另一側(cè)連接，該冷卻氣輸送管路的另一端與該加熱裝置連接。

16.如權(quán)利要求15所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該冷卻氣進(jìn)氣管路的另一端進(jìn)一步與一進(jìn)氣旁通管路連接，該進(jìn)氣旁通管路的一端與該進(jìn)氣管路連接，該進(jìn)氣旁通管路的另一端與該冷卻氣進(jìn)氣管路連接。

17.如權(quán)利要求16所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該進(jìn)氣旁通管路進(jìn)一步設(shè)有一進(jìn)氣旁通控制閥門，以控制該含揮發(fā)性有機(jī)化合物的排氣輸送至該進(jìn)氣旁通管路的風(fēng)量。

18.如權(quán)利要求15所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，其特征在于，該冷卻氣進(jìn)氣管路的另一端進(jìn)一步為供外氣、新鮮空氣的其中任一進(jìn)入。

19.一種揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，主要用于揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)，且設(shè)有一煙囪、一加熱裝置、一吸附轉(zhuǎn)輪、一處理設(shè)備、一煙囪輸送管路、一凈氣排放旁通管路及一無氨觸媒裝置，該加熱裝置輸出至少一部分熱氣，該吸附轉(zhuǎn)輪設(shè)有吸附區(qū)及脫附區(qū)，該吸附轉(zhuǎn)輪設(shè)有一進(jìn)氣管路、一凈氣排放管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該處理設(shè)備設(shè)有一入口、一出口及一處理輸出管路，該處理輸出管路的一端與該處理設(shè)備的出口連接，該煙囪輸送管路的一端與該處理輸出管路連接，該煙囪輸送管路的另一端與該煙囪連接，該凈氣排放旁通管路的一端與該凈氣排放管路連接，該凈氣排放旁通管路的另一端與該處理輸出管路連接，該無氨觸媒裝置設(shè)有一入口、一出口、一臭氧入口、一無氨觸媒輸出管路及一臭氧輸送管路，該無氨觸媒裝置的出口與該無氨觸媒輸出管路的一端連接，該無氨觸媒輸出管路的另一端與該煙囪連接，該臭氧輸送管路的一端與該無氨觸媒裝置的臭氧入口連接，該臭氧輸送管路的另一端與一臭氧產(chǎn)生器連接，而該處理脫硝方法的主要步驟包括：

20.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該無氨觸媒裝置進(jìn)一步設(shè)有至少一觸媒，該無氨觸媒裝置的脫硝反應(yīng)利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(nox)進(jìn)行氧化處理。

21.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該處理輸出管路進(jìn)一步裝設(shè)有一除塵器，該除塵器設(shè)有一入口及一出口，當(dāng)該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時(shí)，該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣經(jīng)由該除塵器的入口進(jìn)入該除塵器內(nèi)，以進(jìn)行該至少一顆粒狀物的收集，再由該除塵器的出口輸出至該處理輸出管路。

22.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該至少一控制閥門進(jìn)一步設(shè)置于該煙囪輸送管路時(shí)，該控制閥門為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該煙囪的風(fēng)量。

23.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該至少一控制閥門進(jìn)一步設(shè)置于該處理輸出管路時(shí)，該控制閥門為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風(fēng)量。

24.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該至少一控制閥門進(jìn)一步于該處理輸出管路及該煙囪輸送管路上分別設(shè)置時(shí)，該處理輸出管路上為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風(fēng)量，該煙囪輸送管路上為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該煙囪的風(fēng)量。

25.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該凈氣排放旁通管路進(jìn)一步設(shè)有一凈氣排放旁通控制閥門，以控制該至少一部分的吸附后氣體輸送至該處理輸出管路的風(fēng)量。

26.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該加熱裝置進(jìn)一步為加熱器、管道加熱器、熱交換器的其中任一。

27.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該凈氣排放管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

28.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該脫附濃縮氣體管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

29.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該凈氣排放旁通管路進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)機(jī)。

30.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該處理設(shè)備進(jìn)一步為直燃式焚燒爐(to)、觸媒式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐(rto)的其中任一。

31.如權(quán)利要求30所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該處理設(shè)備為直燃式焚燒爐(to)時(shí)進(jìn)一步于該直燃式焚燒爐(to)內(nèi)設(shè)有至少二熱交換器。

32.如權(quán)利要求30所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該處理設(shè)備為直燃式焚燒爐(to)時(shí)進(jìn)一步設(shè)有一風(fēng)道、一爐頭及一包圍屏蔽，該風(fēng)道設(shè)于該直燃式焚燒爐(to)內(nèi)，該爐頭結(jié)合于該直燃式焚燒爐(to)上，該風(fēng)道與該直燃式焚燒爐(to)的入口連接，該風(fēng)道設(shè)有一出風(fēng)口，該爐頭設(shè)有一通道，該爐頭設(shè)有一爐頭屏蔽、一氣體燃料管及一助燃?xì)怏w入口，該氣體燃料管具有一氣體燃料入口、至少一第一段氣口及至少一第二段氣口，該爐頭屏蔽位于該氣體燃料管的第二段氣口處，該包圍屏蔽的一端結(jié)合于該爐頭屏蔽，該包圍屏蔽的另一端自該風(fēng)道的出風(fēng)口穿出，該風(fēng)道的出風(fēng)口大于該包圍屏蔽，使該風(fēng)道的出風(fēng)口與該包圍屏蔽之間留有一氣道。

33.如權(quán)利要求19所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該吸附轉(zhuǎn)輪進(jìn)一步設(shè)有一冷卻區(qū)，該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)設(shè)有一冷卻氣進(jìn)氣管路及一冷卻氣輸送管路，該冷卻氣進(jìn)氣管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)的一側(cè)連接，該冷卻氣輸送管路的一端與該吸附轉(zhuǎn)輪的冷卻區(qū)的另一側(cè)連接，該冷卻氣輸送管路的另一端與該加熱裝置連接。

34.如權(quán)利要求33所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該冷卻氣進(jìn)氣管路的另一端進(jìn)一步與一進(jìn)氣旁通管路連接，該進(jìn)氣旁通管路的一端與該進(jìn)氣管路連接，該進(jìn)氣旁通管路的另一端與該冷卻氣進(jìn)氣管路連接。

35.如權(quán)利要求34所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該進(jìn)氣旁通管路進(jìn)一步設(shè)有一進(jìn)氣旁通控制閥門，以控制該含揮發(fā)性有機(jī)化合物的排氣輸送至該進(jìn)氣旁通管路的風(fēng)量。

36.如權(quán)利要求33所述的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝方法，其特征在于，該冷卻氣進(jìn)氣管路的另一端進(jìn)一步為供外氣、新鮮空氣的其中任一進(jìn)入。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明為一種揮發(fā)性有機(jī)排氣處理脫硝系統(tǒng)及其方法，主要是由該處理設(shè)備的出口輸出含至少一氮氧化物(NOx)的處理尾氣至該處理輸出管路內(nèi)，并通過該凈氣排放旁通管路將至少一部分的吸附后氣體輸送至該處理輸出管路，讓該至少一部分的吸附后氣體能與該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣進(jìn)行混合，以降低該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣的溫度，再進(jìn)入該無氨觸媒裝置內(nèi)進(jìn)行脫硝反應(yīng)，藉此，能提升揮發(fā)性有機(jī)排氣處理的效率，并具有降低污染物排放的效能。

技術(shù)研發(fā)人員：扶亞民
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華懋科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/19