本技術涉及真空，具體而言，涉及一種真空鎖定保護系統(tǒng)。

背景技術：

1、分子泵是一種靠高速旋轉的葉片來實現(xiàn)氣體分子排出的真空抽氣設備，分子泵運轉時必須配備合適的前級泵把分子泵吸入的氣體及時排出，以保持分子泵出口氣處于分子流狀態(tài)，從而保證分子泵的正常運轉。節(jié)流閥是一種用于控制流體流動的裝置，通過調節(jié)閥門的開度來調整流體的流量和壓力，節(jié)流閥廣泛應用于石油、化工、電力、冶金等領域，是管道系統(tǒng)中重要的控制裝置之一。

2、但是，在實際使用過程中，存在這樣一個問題：傳統(tǒng)的分子泵抽真空系統(tǒng)無法實現(xiàn)對進氣量的精確調節(jié)，在進氣量不同的情況下流入管路的氣體壓力不同，當進氣的氣體流量較大時可能導致流量不穩(wěn)定或過度消耗資源，造成不必要的能量損失。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型解決傳統(tǒng)的分子泵抽真空系統(tǒng)無法實現(xiàn)對進氣量的精確調節(jié)，當進氣的氣體流量較大時可能導致流量不穩(wěn)定或過度消耗資源，造成不必要的能量損失的技術問題。

2、為解決上述問題，本實用新型提供一種真空鎖定保護系統(tǒng)，包括：控制器，控制器用于進氣；流量調節(jié)組件，流量調節(jié)組件設有第一進氣端和第一出氣端，第一進氣端連接控制器的出氣端，且流量調節(jié)組件內設有多個流通管路，其中，多個流通管路的限流量不同；真空腔，真空腔的進氣端和第一出氣端連接；分子泵，分子泵的抽氣端和真空腔的出氣端連接；控制芯片，控制芯片連接控制器、流量調節(jié)組件、真空腔和分子泵；其中，控制芯片根據(jù)流經控制器的氣體信息和真空腔的真空度信息控制多個流通管路的通斷狀態(tài)和分子泵的啟停狀態(tài)。

3、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：整個系統(tǒng)由一個控制芯片進行控制，控制芯片從控制器獲得氣體信息，從真空規(guī)處獲得真空腔的真空度信息，并對控制器、流通管路和分子泵進行控制。多個流通管路均連接控制器和真空腔，通過控制多個流通管路的通斷狀態(tài)，能夠控制流經控制器的氣體通過哪個流通管路流至真空腔，優(yōu)選的，各個流通管路的限流量不同，因此根據(jù)實時的氣體信息，自動選擇合適的流通管路進行連通，能夠在更廣泛的流量范圍內提供穩(wěn)定的控制，以達到最佳的流量控制效果，同時減少不必要的能量損失。

4、在本實用新型的一個實例中，流通管路上設有節(jié)流組件；其中，控制芯片根據(jù)氣體信息控制節(jié)流組件，從而控制各個流通管路的通斷狀態(tài)。

5、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：控制芯片根據(jù)實時的進氣的氣體流量大小自動選擇合適的節(jié)流組件進行工作，從而控制各個流通管路的通斷，以達到最佳的流量控制效果，同時通過節(jié)流組件還能夠降低氣體的壓力以避免對分子泵造成沖擊，有助于減少機械磨損，從而延長了分子泵的使用壽命。

6、在本實用新型的一個實例中，多個流通管路的數(shù)量為三個，分別為第一流通管路、第二流通管路和第三流通管路；第一流通管路上設有第一節(jié)流組件，通過第一節(jié)流組件的通斷控制第一流通管路的通斷狀態(tài)；第二流通管路上設有第二節(jié)流組件，通過第二節(jié)流組件的通斷控制第二流通管路的通斷狀態(tài)；第三流通管路上設有第三節(jié)流組件，通過第三節(jié)流組件的通斷控制第三流通管路的通斷狀態(tài)。

7、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：在本實施例中，流通管路的數(shù)量為三個，且各個流通管路上均設有節(jié)流組件，節(jié)流組件和流通管路一一對應，避免了單一節(jié)流組件長時間在高負荷下工作導致的磨損，延長節(jié)流組件的使用壽命。

8、在本實用新型的一個實例中，控制芯片根據(jù)氣體信息控制第一流通管路、第二流通管路和第三流通管路的通斷狀態(tài)。

9、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：本技術能根據(jù)實時的進氣的氣體流量變化，自動選擇最合適的流通管道進行連通，以達到最佳的流量控制效果。

10、在本實用新型的一個實例中，真空鎖定保護系統(tǒng)還包括：真空規(guī)，真空規(guī)連接真空腔和控制芯片，且真空規(guī)用于監(jiān)測真空度信息。

11、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：真空規(guī)用于持續(xù)監(jiān)測真空腔體的真空度，且真空規(guī)的通訊端和控制芯片連接，將真空度信息傳輸給控制芯片。

12、在本實用新型的一個實例中，在氣體信息存在異常的情況下，控制芯片控制多個流通管路斷開。

13、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：而本技術僅在必要的時候(也就是在氣體流量存在異常的情況下)即時地斷開流通管路，而不關閉分子泵，分子泵可以繼續(xù)運行，可以保持真空腔內的真空環(huán)境，減少了重新抽真空所需的時間和能源消耗，從而減少不必要的停機時間，提高了生產效率。即時地斷開流通管路能夠迅速減少進氣量，從而避免了因分子泵關閉速度較慢而造成的潛在損害，這種快速響應機制大大提高了分子泵的安全性和穩(wěn)定性。同時，分子泵從運行狀態(tài)到停機狀態(tài)需要5-10分鐘，時間過長以致停機方案無法避免大氣泄露或油蒸汽污染等異常情況對真空腔造成的污染，而本系統(tǒng)可以迅速斷開流通管道，將異常氣體截留在管道中，防止其對真空腔造成污染。

14、在本實用新型的一個實例中，在氣體信息不存在異常但真空度信息存在異常的情況下，控制芯片控制分子泵停機。

15、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：當進氣的氣體流量正常、且真空度出現(xiàn)異常時，說明是真空腔本身發(fā)生泄露，需要關閉分子泵以防止分子泵受到損害；因此控制芯片監(jiān)測到真空度數(shù)據(jù)異常時，控制芯片會向分子泵發(fā)送關閉指令，使分子泵停止運行，以減少真空腔內的真空度異常對分子泵造成的損害。

16、在本實用新型的一個實例中，節(jié)流組件包括：節(jié)流閥，節(jié)流閥設于流通管路上；電磁閥，電磁閥設于流通管路上，且電磁閥和節(jié)流閥一一對應；其中，控制芯片根據(jù)氣體信息控制電磁閥，從而控制各個流通管路的通斷狀態(tài)。

17、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：在氣體流量異常時，控制芯片會控制所有電磁閥快速關閉，以防止異常氣體對分子泵造成損害，通過電磁閥的快速響應能力大大提高了分子泵的安全性和穩(wěn)定性，分子泵避免了因突然的流量沖擊而產生的應力，這有助于減少機械磨損，從而延長了分子泵的使用壽命。

18、在本實用新型的一個實例中，第一流通管路上還設有第一節(jié)流閥和第一電磁閥，通過第一電磁閥的通斷控制第一流通管路的通斷狀態(tài)；第二流通管路上還設有第二節(jié)流閥和第二電磁閥，通過第二電磁閥的通斷控制第二流通管路的通斷狀態(tài)；第三流通管路上還設有第三節(jié)流閥和第三電磁閥，通過第三電磁閥的通斷控制第三流通管路的通斷狀態(tài)。

19、與現(xiàn)有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：第一流通管路、第一節(jié)流閥和第一電磁閥一一對應；第二流通管路、第二節(jié)流閥和第二電磁閥一一對應；第三流通管路、第三節(jié)流閥和第三電磁閥一一對應。

20、采用本實用新型的技術方案后，能夠達到如下技術效果：

21、(1)根據(jù)實時的氣體信息，自動選擇合適的流通管路進行連通，能夠在更廣泛的流量范圍內提供穩(wěn)定的控制，以達到最佳的流量控制效果，同時減少不必要的能量損失；

22、(2)通過節(jié)流閥還能夠降低氣體的壓力以避免對分子泵造成沖擊，有助于減少機械磨損，從而延長了分子泵的使用壽命；

23、(3)而本技術僅在必要的時候(也就是在氣體流量存在異常的情況下)即時地斷開流通管路，而不關閉分子泵，分子泵可以繼續(xù)運行，可以保持真空腔內的真空環(huán)境，減少了重新抽真空所需的時間和能源消耗，從而減少不必要的停機時間，提高了生產效率；

24、(4)即時地斷開流通管路能夠迅速減少進氣量，從而避免了因分子泵關閉速度較慢而造成的潛在損害，這種快速響應機制大大提高了分子泵的安全性和穩(wěn)定性；

25、(5)當控制芯片監(jiān)測到氣體信息不存在異常但真空度數(shù)據(jù)異常時，控制芯片會向分子泵發(fā)送關閉指令，使分子泵停止運行，以減少真空腔內的真空度異常對分子泵造成的損害。