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泡沫壓力傳感器的制作方法

文檔序號:11160341閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種壓力傳感器,包括:

第一板;

第二板;以及

設置在所述第一板與所述第二板之間的泡沫,其中,所述泡沫是具有約50μm至250μm的平均泡孔尺寸和5lbs/ft3至30lbs/ft3之間的密度的聚氨酯泡沫。

2.根據(jù)權利要求1所述的壓力傳感器,其中,所述泡沫具有6lbs/ft3至25lbs/ft3之間的密度。

3.根據(jù)權利要求1所述的壓力傳感器,其中,所述泡沫具有小于約10%的壓縮永久變形。

4.根據(jù)權利要求1所述的壓力傳感器,其中,所述泡沫具有約1psi至9psi(7kPa至63kPa)之間的力偏轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權利要求1所述的壓力傳感器,其中,所述第一板和所述第二板是金屬的。

6.一種壓力傳感器,包括:

第一板;

第二板;

設置在所述第一板與所述第二板之間的泡沫;以及

設置在所述第一板或所述第二板中的一個的表面上的導體包覆壓電膜。

7.根據(jù)權利要求6所述的壓力傳感器,其中,所述泡沫具有6lbs/ft3至25lbs/ft3之間的密度。

8.根據(jù)權利要求6所述的壓力傳感器,其中,所述泡沫具有小于約10%的壓縮永久變形。

9.根據(jù)權利要求6所述的壓力傳感器,其中,所述泡沫具有約1psi至9psi(7kPa至63kPa)之間的力偏轉(zhuǎn)。

10.根據(jù)權利要求6所述的壓力傳感器,其中,所述第一板和所述第二板是金屬的。

11.根據(jù)權利要求6所述的壓力傳感器,其中,所述泡沫是具有約50μm至250μm的平均泡孔尺寸和5lbs/ft3至30lbs/ft3之間的密度的聚氨酯泡沫。

12.根據(jù)權利要求6所述的壓力傳感器,其中,所述導體包覆壓電膜被配置成具有大于所述第一板、所述第二板和所述泡沫的組合的帶寬的帶寬。

13.根據(jù)權利要求6所述的壓力傳感器,其中,所述第一板、所述第二板和所述泡沫形成泡沫電容器,并且其中,所述泡沫電容器和所述導體包覆壓電膜相連接,使得在它們之間形成地電平。

14.根據(jù)權利要求13所述的壓力傳感器,其中,所述導體包覆壓電膜連接在模數(shù)轉(zhuǎn)換器與所述地電平之間。

15.根據(jù)權利要求13所述的壓力傳感器,其中,所述泡沫電容器連接在電容傳感器與所述地電平之間。

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