1.一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，所述探測器包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，所述背照式psd陣列，是由多個背照式psd單元組成的一體結(jié)構(gòu)，其中，所述psd單元的結(jié)構(gòu)由光射入方向依次為：
3.基于權(quán)利要求1所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，所述探測器是由多個背照式psd單元組成的一體化陣列結(jié)構(gòu)；所述多個psd單元的電極均位于正面；所述psd單元沿光入射方向包括依次設置的：
4.基于權(quán)利要求2或3所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，每個psd單元有四個陽極，每個陽極通過一個凸點與信號處理電路連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，所述信號處理電路，包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，根據(jù)多路模擬開關(guān)支持的輸入通道數(shù)、psd陣列大小設置多路模擬開關(guān)的數(shù)量，對多路模擬開關(guān)進行分組，每個分組包含4個多路模擬開關(guān)，每個分組中的多路模擬開關(guān)用于選通psd陣列中的不同psd單元的輸出信號；同一分組中的4個多路模擬開關(guān)分別用于連接該組對應的psd單元4個陽極對應的凸點；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，所述多路模擬開關(guān)應滿足以下條件：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，所述多路模擬開關(guān)數(shù)量，與運算放大器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器數(shù)量比均為4:1，所述多路模擬開關(guān)數(shù)量的計算方法為：
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，所述對數(shù)字信號進行浮點運算獲得子光斑偏移，指得到各psd探測到的光斑橫向位移和縱向位移，計算出子波前的橫向平均斜率和縱向平均斜率，計算公式為：
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種采用背照式psd陣列的超大靶面夏克-哈特曼波前探測器，其特征在于，所述光斑的橫向位移，計算方法為：