本技術(shù)涉及光譜儀，具體涉及一種x光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、目前，市面上真空型x熒光光譜儀基本為固定方式，即射線管在樣品下方，樣品固定放置測量某個(gè)點(diǎn)位；此外還有可旋轉(zhuǎn)式多組測量，即多組測量樣品按照特定方式放在旋轉(zhuǎn)臺上，通過旋轉(zhuǎn)可以連續(xù)測量多組樣品。

2、隨著xrf無損檢測的普及，在半導(dǎo)體領(lǐng)域存在很多大樣品連續(xù)測量的應(yīng)用需求，主要為樣品尺寸范圍約150-400mm，測量點(diǎn)可快速編輯并能連續(xù)測量，現(xiàn)有的真空型光譜儀無法滿足此類需求。

3、因此，如何提供一種x光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題，對其應(yīng)用具有重要意義。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本申請的目的在于提供一種x光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)，以解決問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種x光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)，包括射線管工作頭模塊、上封閉腔蓋板、xy可移動平臺模塊、下腔體基座和可操作腔體蓋板；

4、所述射線管工作頭模塊包括防輻射殼體和相機(jī)模組，所述防輻射殼體安裝于相機(jī)模組的頂端；

5、所述上封閉腔蓋板的頂端開設(shè)有檢測窗口，所述檢測窗口的邊側(cè)安裝有鉸鏈；

6、所述xy可移動平臺模塊包括y軸移動模組、x軸移動模塊、樣品放置平臺，所述y軸移動模組的安裝于x軸移動模塊的活動端，所述樣品放置平臺安裝于y軸移動模組的活動端；

7、所述xy可移動平臺模塊安裝于下腔體基座的內(nèi)部，所述上封閉腔蓋板安裝于下腔體基座的頂端，所述可操作腔體蓋板安裝于上封閉腔蓋板的頂端，所述射線管工作頭模塊安裝于上封閉腔蓋板頂端。

8、優(yōu)選的，所述可操作腔體蓋板通過鉸鏈鉸接與檢測窗口的頂端，所述可操作腔體蓋板的邊側(cè)安裝有把手。

9、優(yōu)選的，所述上封閉腔蓋板的表面開設(shè)有圓孔，所述相機(jī)模組的取景器位于圓孔的上方。

10、優(yōu)選的，所述下腔體基座的底端安裝有底腳，所述底腳為可調(diào)式。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

12、1、將測量用射線管工作頭模塊放置在上側(cè)，樣品在下側(cè)可以連續(xù)移動，不受工作臺結(jié)構(gòu)干涉影響；

13、2、可操作腔體前置，并單獨(dú)作為一個(gè)模塊，有效減小所需打開空間，便于操作；

14、3、封閉腔體，可實(shí)現(xiàn)抽取真空狀態(tài)，提高檢測效果；

15、4、樣品在xy移動工作臺上連續(xù)移動，位置可隨意選定及編輯，便于用戶使用。

16、本實(shí)用新型的效果：滿足了大面積樣品的真空測量要求，測量位置及測量間距可隨意編輯，且結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡便。

17、上述說明僅是本申請技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本申請的技術(shù)手段，從而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本申請的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下以本申請的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

18、根據(jù)下文結(jié)合附圖對本申請具體實(shí)施例的詳細(xì)描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員將會更加明了本申請的上述及其他目的、優(yōu)點(diǎn)和特征。

技術(shù)特征：

1.一種x光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括射線管工作頭模塊(1)、上封閉腔蓋板(2)、xy可移動平臺模塊(3)、下腔體基座(4)和可操作腔體蓋板(5)；

2.如權(quán)利要求1所述的一種x光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述可操作腔體蓋板(5)通過鉸鏈(21)鉸接與檢測窗口(22)的頂端，所述可操作腔體蓋板(5)的邊側(cè)安裝有把手(51)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種x光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述上封閉腔蓋板(2)的表面開設(shè)有圓孔，所述相機(jī)模組(12)的取景器位于圓孔的上方。

4.如權(quán)利要求3所述的一種x光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述下腔體基座(4)的底端安裝有底腳(41)，所述底腳(41)為可調(diào)式。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種X光光譜儀真空連續(xù)檢測結(jié)構(gòu)，包括射線管工作頭模塊、上封閉腔蓋板、XY可移動平臺模塊、下腔體基座和可操作腔體蓋板；所述射線管工作頭模塊包括防輻射殼體和相機(jī)模組，所述防輻射殼體安裝于相機(jī)模組的頂端。本技術(shù)在使用時(shí)，將測量用射線管工作頭模塊放置在上側(cè)，樣品在下側(cè)可以連續(xù)移動，不受工作臺結(jié)構(gòu)干涉影響；可操作腔體前置，并單獨(dú)作為一個(gè)模塊，有效減小所需打開空間，便于操作；封閉腔體，可實(shí)現(xiàn)抽取真空狀態(tài)，提高檢測效果；樣品在XY移動工作臺上連續(xù)移動，位置可隨意選定及編輯，便于用戶使用。

技術(shù)研發(fā)人員：馬云
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇一六儀器有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240531
技術(shù)公布日：2025/5/15