1.一種掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，用于對金屬塊體或薄膜樣品進(jìn)行自動測試，所述系統(tǒng)包括：掃描電鏡、進(jìn)出樣裝置、工業(yè)機(jī)器人、控制系統(tǒng)，所述掃描電鏡、進(jìn)出樣裝置、工業(yè)機(jī)器人之間進(jìn)行通信并由控制系統(tǒng)進(jìn)行指令控制，所述掃描電鏡配置有放置測試樣品的樣品盒、艙門，所述進(jìn)出樣裝置用于對樣品盒進(jìn)行控制以將其自動拉出或推進(jìn)掃描電鏡艙，所述工業(yè)機(jī)器人用于放置包含樣品的樣品載具在樣品盒上；其中：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還配置有多種樣品載具，每種樣品載具厚度不同，不同載具用于承載不同的金屬塊體或薄膜樣品，其中，根據(jù)金屬塊體或薄膜樣品在掃描電鏡艙中的高度要求的不同使用不同厚度的樣品載具。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，其特征在于，樣品盒表面有多個圓孔，其中，每種樣品載具均為方形平板結(jié)構(gòu)，其大小與樣品盒大小匹配，每種樣品載具正面的中間設(shè)置有圓形凹槽以用于放置金屬薄膜樣品，樣品載具背面設(shè)置有多個與樣品盒上圓孔匹配的圓柱插銷以實現(xiàn)樣品載具在樣品盒上的固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)出樣裝置包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，其特征在于，所述拉盒裝置包括：頂升氣缸座、頂升氣缸、橫移固定座、橫移氣缸、固定座，其中：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，其特征在于，所述導(dǎo)向滑槽包括兩根軌道，每根軌道包括一個橫向滑槽、一個縱向立柱、一個底座，其中縱向立柱的兩端分別與橫向滑槽的一端、底座的一端相連，底座用于固定軌道，立柱高度與樣品盒移動高度一致以將橫向滑槽固定在與樣品盒高度一致的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，其特征在于，所述頂樣裝置包括支架、電機(jī)、連動桿、多個頂針，其中：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，其特征在于，電機(jī)內(nèi)配置有位移傳感器，位移傳感器用于檢測頂針的位移信息以判斷樣品載具是否安裝到位。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掃描電鏡自動測試系統(tǒng)，其特征在于，金屬薄膜樣品上有激光打標(biāo)機(jī)制作的用于電鏡對焦的標(biāo)記，所述自動測試系統(tǒng)被配置為：
10.一種金屬塊體或薄膜樣品測試方法，其特征在于，所述方法包括：