專利名稱：襯底承載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種LED、光伏電池等半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝中的襯底承載裝置。
背景技術(shù)：
在LED、光伏電池等半導(dǎo)體器件的制程中，通常需要將襯底置于MOCVD等設(shè)備內(nèi)的石墨盤等襯底承載器中，繼而在旋轉(zhuǎn)襯底承載器的同時(shí)，對襯底進(jìn)行加熱，進(jìn)而在襯底上沉積形成選定的半導(dǎo)體材料層。傳統(tǒng)半導(dǎo)體器件制程中，襯底被放置在石墨盤上的定位槽中， 定位槽的形狀為圓形，當(dāng)石墨盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，襯底在圓形定位槽內(nèi)也會轉(zhuǎn)動(dòng)，使得襯底相對石墨盤的位置是隨機(jī)。然而，在現(xiàn)有半導(dǎo)體器件制程中一般希望襯底相對石墨盤的位置固定；現(xiàn)有技術(shù)的襯底通常具有定位平邊，因此，現(xiàn)有技術(shù)中采用了定位槽的形狀為與襯底的形狀對應(yīng)的形狀，但在半導(dǎo)體器件制程中，襯底會隨著石墨盤的旋轉(zhuǎn)而在定位糟中轉(zhuǎn)動(dòng)，而容易造成襯底，尤其是硬度較大的襯底，來回撞擊定位槽槽壁而破裂；且所述破裂主要出現(xiàn)在襯底定位平邊的端部。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種襯底承載裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案
一種襯底承載裝置，包括可旋轉(zhuǎn)的襯底承載器，所述襯底承載器表面設(shè)有用于容置襯底的定位槽，且至少一個(gè)所述定位槽槽壁包括與襯底的定位平邊配合的平邊結(jié)構(gòu)，其中，所述定位槽內(nèi)還設(shè)有用于防止襯底定位平邊的兩端部與定位槽槽壁觸碰的定位緩沖機(jī)構(gòu)。作為優(yōu)選方案之一，所述定位緩沖機(jī)構(gòu)包括分布于平邊結(jié)構(gòu)兩端的槽。作為優(yōu)選方案之一，所述槽為形成于槽壁上內(nèi)凹的弧形槽。作為優(yōu)選方案之一，所述定位緩沖機(jī)構(gòu)包括嵌設(shè)于平邊結(jié)構(gòu)兩端的緩沖元件。作為優(yōu)選方案之一，所述緩沖元件包括由彈性材料形成的緩沖件。作為優(yōu)選方案之一，所述緩沖元件包括彈簧緩沖片。作為優(yōu)選方案之一，所述平邊結(jié)構(gòu)與襯底承載器的旋轉(zhuǎn)方向的切線垂直。作為優(yōu)選方案之一，所述平邊結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述定位槽朝向所述襯底承載器旋轉(zhuǎn)方向一側(cè)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明至少具有如下有益效果
在工作過程中，由于所述定位槽內(nèi)設(shè)有用于防止襯底定位平邊的兩端部與定位槽槽壁觸碰的定位緩沖機(jī)構(gòu)，無論襯底承載器是在常速旋轉(zhuǎn)，或是在加速、減速過程中，襯底定位平邊的兩端與定位槽槽壁幾乎不會發(fā)生點(diǎn)接觸，從而可有效防止襯底破裂。尤其是通過將定位槽按照所述平邊結(jié)構(gòu)與襯底承載器的旋轉(zhuǎn)方向垂直的方式放置，更可使得撞擊行為主要發(fā)生在整個(gè)襯底定位平邊與定位槽的平邊結(jié)構(gòu)之間，從而可更為有效的防止襯底破裂。本發(fā)明可被廣泛應(yīng)用于MOCVD等半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備中。


圖I是本發(fā)明一較佳實(shí)施例中襯底承載器的結(jié)構(gòu)不意 圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例中定位槽的結(jié)構(gòu)示意 附圖標(biāo)記說明石墨盤10、襯底20、定位槽30、定位緩沖機(jī)構(gòu)40。
具體實(shí)施例方式如前所述，在現(xiàn)有技術(shù)中襯底在工作過程中往往會因與定位槽的碰撞而受損或破裂，而本案發(fā)明人經(jīng)長期實(shí)踐后發(fā)現(xiàn)，碰撞主要發(fā)生在襯底定位平邊的兩端，其原因在于，定位槽的平邊阻礙了襯底的轉(zhuǎn)動(dòng)，使得襯底定位平邊的兩端與定位槽壁發(fā)生碰撞，又因?yàn)橐r底定位平邊兩端的應(yīng)力比較為集中，所以發(fā)生碰撞后容易破裂。
有鑒于此，本案發(fā)明人經(jīng)審慎之研究，提出了本發(fā)明的技術(shù)方案，其大致如下 定位槽的形狀與襯底的形狀對應(yīng)，則所述定位槽槽壁包括與襯底的襯底定位平邊配合
的平邊結(jié)構(gòu)，且在定位槽中處設(shè)置定位緩沖機(jī)構(gòu)，藉以使得襯底定位平邊的兩端不與定位槽槽壁碰觸，從而避免襯底定位平邊的兩端與定位側(cè)壁發(fā)生碰撞，減少破損的發(fā)生，從而提高產(chǎn)品的良率,并降低生產(chǎn)成本。參閱圖I-圖2所示系本發(fā)明的一較佳實(shí)施例，該較佳實(shí)施例中所采用的襯底承載器系石墨盤10，而在石墨盤10表面可以設(shè)置有多個(gè)用于容置襯底20的定位槽30，定位槽30具有與襯底定位平邊配合的平邊結(jié)構(gòu)。又及，在本實(shí)施例中，所采用的定位緩沖機(jī)構(gòu)40可以是對稱分布于定位槽30平邊結(jié)構(gòu)兩端部的定位槽；所述分布于定位槽30平邊結(jié)構(gòu)兩端部的定位槽使得所述襯底20的定位平邊兩端不能與所述定位槽30的槽壁接觸，從而防止所述襯底20的定位平邊兩端的碰撞損傷；優(yōu)選的，所述定位槽為形成于槽壁上內(nèi)凹的弧形、三角形或矩形等的槽。所述定位槽的平邊結(jié)構(gòu)優(yōu)選的與石墨盤10的旋轉(zhuǎn)方向垂直。藉由前述設(shè)計(jì)，在工作過程中，無論石墨盤10是在常速旋轉(zhuǎn)，或是在加速、減速過程中，襯底20的定位平邊與石墨盤10的撞擊將會發(fā)生在整個(gè)定位平邊與定位槽30的平邊結(jié)構(gòu)之間，而且所述定位平邊的兩端與定位槽30的槽壁幾乎不會發(fā)生點(diǎn)接觸，從而可有效防止襯底破裂。優(yōu)選的，所述定位槽30的平邊結(jié)構(gòu)設(shè)置在朝向石墨盤10旋轉(zhuǎn)的方向一側(cè)。在本發(fā)明的另一較佳實(shí)施例中，所述定位緩沖機(jī)構(gòu)40還可以是可采用主要由彈性材料形成的緩沖塊。優(yōu)選的，所述緩沖塊亦可固定設(shè)置于定位槽平邊的兩端部。尤為優(yōu)選的方式是，將所述緩沖塊嵌設(shè)在定位槽槽壁上，以減少緩沖塊對定位槽內(nèi)空間的占用。顯然的，考慮到在工作過程中還可能需要對石墨盤進(jìn)行加熱，以促進(jìn)化學(xué)氣相沉積等反應(yīng)的順利進(jìn)行，故而，前述彈性材料宜選用耐高溫彈性材料，且本領(lǐng)域技術(shù)人員完全可以根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的需要而很容易的從習(xí)見的彈性材料中進(jìn)行選擇。利用此緩沖塊，無論石墨盤10是在正常旋轉(zhuǎn)，或是在加速、減速過程中，襯底20的定位平邊的兩端均不會與定位槽30的槽壁直接碰觸，從而有效的防止襯底破裂。在本發(fā)明的再一較佳實(shí)施例中，所述定位緩沖機(jī)構(gòu)40可采用彈簧緩沖片。
優(yōu)選的，所述彈簧緩沖片亦可固定設(shè)置于定位槽30的平邊結(jié)構(gòu)的兩端部，特別是，所述彈簧緩沖片可嵌設(shè)在定位槽30的槽壁上。同樣的，前述彈簧緩沖片宜選用耐高溫材料制成，但這是本領(lǐng)域技術(shù)人員完全可以根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的需要而很容易的從習(xí)見材料中進(jìn)行選擇的?；谂c前述緩沖塊類似的工作原理，利用此彈簧緩沖片亦可有效防止襯底的破 m
ο顯然的，本發(fā)明的襯底承載裝置可被廣泛應(yīng)用于如MOCVD、PECVD, Etching等各類半導(dǎo)體處理設(shè)備中。最后需要指出的是，以上較佳實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明的內(nèi)容，除此之外，本發(fā)明還有其他實(shí)施方式，但凡本領(lǐng)域技術(shù)人員因本發(fā)明所涉及之技術(shù)啟示，而采用等同替換或等效變形方式形成的技術(shù)方案均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種襯底承載裝置，包括可旋轉(zhuǎn)的襯底承載器，所述襯底承載器表面設(shè)有用于容置襯底的定位槽，且至少ー個(gè)所述定位槽槽壁包括與襯底的定位平邊配合的平邊結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述定位槽內(nèi)還設(shè)有用于防止襯底定位平邊的兩端部與定位槽槽壁觸碰的定位緩沖機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的襯底承載裝置，其特征在于，所述定位緩沖機(jī)構(gòu)包括分布于平邊結(jié)構(gòu)兩端的槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的襯底承載裝置，其特征在于，所述槽為形成于槽壁上內(nèi)凹的弧形槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的襯底承載裝置，其特征在于，所述定位緩沖機(jī)構(gòu)包括嵌設(shè)于平邊結(jié)構(gòu)兩端的緩沖元件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的襯底承載裝置，其特征在于，所述緩沖元件包括由弾性材料形成的緩沖件。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的襯底承載裝置，其特征在于，所述緩沖元件包括彈簧緩沖片。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任ー項(xiàng)所述的襯底承載裝置，其特征在于，所述平邊結(jié)構(gòu)與襯底承載器的旋轉(zhuǎn)方向的切線垂直。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的襯底承載裝置，其特征在干，所述平邊結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述定位槽朝向所述襯底承載器旋轉(zhuǎn)方向ー側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種襯底承載裝置，它包括可旋轉(zhuǎn)的襯底承載器，所述襯底承載器表面設(shè)有用于容置襯底的定位槽，所述定位槽槽壁包括與襯底的定位平邊配合的平邊結(jié)構(gòu)，所述定位槽內(nèi)還設(shè)有用于防止襯底定位平邊的兩端部與定位槽槽壁觸碰的定位緩沖機(jī)構(gòu)，藉此設(shè)計(jì)，本發(fā)明可有效防止襯底定位平邊兩端與襯底承載器發(fā)生碰撞，進(jìn)而防止襯底破損。進(jìn)一步的，通過將定位槽按照平邊結(jié)構(gòu)朝向襯底承載器旋轉(zhuǎn)方向的方式放置，并且使平邊結(jié)構(gòu)和襯底承載器中心的連線與襯底承載器的旋轉(zhuǎn)方向垂直，更可使得撞擊行為主要發(fā)生在整個(gè)襯底定位平邊與定位槽的平邊結(jié)構(gòu)之間，從而可更為有效的防止襯底受損。本發(fā)明可被廣泛應(yīng)用于MOCVD等半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備中。
文檔編號H01L21/68GK102856240SQ20121036572
公開日2013年1月2日 申請日期2012年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月27日
發(fā)明者黃穎泉, 喬徽, 梁秉文, 陳勇 申請人:光達(dá)光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司