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半導(dǎo)體器件和可編程的非易失性存儲(chǔ)設(shè)備的制作方法與工藝

文檔序號(hào):12006626閱讀:來源:國知局
半導(dǎo)體器件和可編程的非易失性存儲(chǔ)設(shè)備的制作方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種半導(dǎo)體器件,包括:溝道、源極、和漏極,位于第一半導(dǎo)體鰭中,所述溝道位于所述源極與所述漏極之間;控制柵極,位于第二半導(dǎo)體鰭中;和浮置柵極,位于所述第一半導(dǎo)體鰭與所述第二半導(dǎo)體鰭之間,其中,所述控制柵極被構(gòu)造為基于所述浮置柵極的程序化狀態(tài)控制所述溝道。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,進(jìn)一步包括位于所述浮置柵極與所述第一半導(dǎo)體鰭之間的第一介電區(qū)域。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,進(jìn)一步包括位于所述浮置柵極與所述第二半導(dǎo)體鰭之間的第二介電區(qū)域。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,所述第一半導(dǎo)體鰭位于第一介電區(qū)域與第三介電區(qū)域之間。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中,所述第二半導(dǎo)體鰭位于第二介電區(qū)域與第四介電區(qū)域之間。6.一種可編程的非易失性存儲(chǔ)設(shè)備,包括:第一半導(dǎo)體鰭,包括第一溝道、第一源極、和第一漏極;第二半導(dǎo)體鰭,包括第二溝道、第二源極、和第二漏極,所述第二半導(dǎo)體鰭被構(gòu)造為控制柵極;浮置柵極,位于所述第一半導(dǎo)體鰭與所述第二半導(dǎo)體鰭之間,其中,所述控制柵極被構(gòu)造為基于所述浮置柵極的程序化狀態(tài)控制所述溝道。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可編程的非易失性存儲(chǔ)設(shè)備,進(jìn)一步包括位于鄰近所述第一溝道的第一電極。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可編程的非易失性存儲(chǔ)設(shè)備,進(jìn)一步包括位于鄰近所述第二溝道的第二電極。9.一種可編程的非易失性存儲(chǔ)設(shè)備,包括:第一半導(dǎo)體鰭,包括第一溝道、第一源極、和第一漏極;第一電極,位于鄰近所述第一溝道;第二半導(dǎo)體鰭,包括第二溝道、第二源極、和第二漏極,所述第二半導(dǎo)體鰭被構(gòu)造為控制柵極;第二電極,位于鄰近所述第二溝道;浮置柵極,位于所述第一半導(dǎo)體鰭與所述第二半導(dǎo)體鰭之間,其中,所述控制柵極被構(gòu)造為基于所述浮置柵極的程序化狀態(tài)控制所述溝道。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的可編程的非易失性存儲(chǔ)設(shè)備,其中,所述第一電極和所述第二電極包括金屬。
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