本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備，特別涉及一種具有漏液檢測(cè)功能的半導(dǎo)體處理設(shè)備。

背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝中，例如在沉積或刻蝕工藝中通常需要對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行高溫處理，會(huì)使得半導(dǎo)體處理設(shè)備的溫度升高。且在半導(dǎo)體處理設(shè)備中，通常會(huì)利用反應(yīng)氣體的等離子體進(jìn)行沉積或刻蝕工藝，而反應(yīng)氣體的等離子體通常采用電子回旋加速振蕩、電感耦合、電容耦合等方式形成，形成所述等離子體的工藝也會(huì)使得半導(dǎo)體處理設(shè)備的溫度升高。因此現(xiàn)有的半導(dǎo)體處理設(shè)備常通過制程冷卻水（ProcessCoolWater，PCW）來(lái)對(duì)工藝設(shè)備進(jìn)行冷卻。請(qǐng)參考圖1，為現(xiàn)有的半導(dǎo)體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括：反應(yīng)腔10，位于所述反應(yīng)腔10內(nèi)的承片臺(tái)11，所述承片臺(tái)11用于承載待處理的半導(dǎo)體基片；位于所述反應(yīng)腔10頂部的反應(yīng)腔頂蓋16，所述反應(yīng)腔頂蓋16通過射頻匹配器（未圖示）與射頻功率源（未圖示）相連接，利用所述反應(yīng)腔頂蓋16與承片臺(tái)11形成電容耦合等離子體反應(yīng)器；位于所述反應(yīng)腔頂蓋16內(nèi)的氣體噴淋頭17，利用所述氣體噴淋頭17將反應(yīng)氣體均勻地通入到反應(yīng)腔10中；位于所述反應(yīng)腔頂蓋16內(nèi)的冷卻水管道15，所述冷卻水管道15遍布反應(yīng)腔頂蓋16設(shè)置，所述冷卻水管道15通過進(jìn)水口12和出水口13將制程冷卻水不斷循環(huán)。由于所述反應(yīng)腔頂蓋16與射頻功率源相連接用于產(chǎn)生等離子體，所述反應(yīng)腔頂蓋16的溫度會(huì)很高，因此，需要利用所述冷卻水管道15中的制程冷卻水對(duì)反應(yīng)腔頂蓋16頂蓋進(jìn)行冷卻。其中所述冷卻水管道15的進(jìn)水口12和出水口13通過導(dǎo)管和導(dǎo)管接口與冷卻水供應(yīng)裝置相連接。然而，現(xiàn)有的半導(dǎo)體處理設(shè)備的冷卻水管道與冷卻水供應(yīng)裝置相連接的導(dǎo)管和導(dǎo)管接口的安全性較差，容易發(fā)生安全事故。關(guān)于具有制程水系統(tǒng)的更多信息請(qǐng)參考公開號(hào)為CN1542903A的中國(guó)專利文獻(xiàn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明解決的問題是提供一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，可以實(shí)時(shí)地檢測(cè)半導(dǎo)體處理設(shè)備是否發(fā)生漏水，提高了設(shè)備的安全性。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，包括：待降溫組件；冷卻液管道，利用所述冷卻液管道中的冷卻液將待降溫組件降溫；冷卻液供應(yīng)單元，所述冷卻液供應(yīng)單元通過導(dǎo)管和導(dǎo)管接口與冷卻液管道相連接，利用所述冷卻液供應(yīng)單元將冷卻液循環(huán)通入到冷卻液管道；漏液感應(yīng)單元，所述漏液感應(yīng)單元與導(dǎo)管、導(dǎo)管接口相接觸，用于檢測(cè)導(dǎo)管、導(dǎo)管接口處是否發(fā)生漏液；漏液檢測(cè)單元，所述漏液檢測(cè)單元與所述漏液感應(yīng)單元、冷卻液供應(yīng)單元分別連接，當(dāng)漏液感應(yīng)單元檢測(cè)到出現(xiàn)漏液現(xiàn)象，通過漏液檢測(cè)單元使得冷卻液供應(yīng)單元停止供液?？蛇x的，所述漏液感應(yīng)單元為漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線，所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線的一端與漏液檢測(cè)單元相連接，通過檢測(cè)所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線的電阻變化來(lái)判斷是否發(fā)生漏液?？蛇x的，所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線纏繞在所述導(dǎo)管、導(dǎo)管接口的外表面。可選的，所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線利用固定組件固定在所述導(dǎo)管、導(dǎo)管接口的外表面?？蛇x的，所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線包括至少兩條導(dǎo)線和位于兩條導(dǎo)線之間的具有吸水性的絕緣材料，所述漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線的一端與漏液檢測(cè)單元相連接，使得漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線內(nèi)的導(dǎo)線的一端與漏液檢測(cè)單元相連接，所述漏液檢測(cè)單元在所述導(dǎo)線的一端施加檢測(cè)電壓，當(dāng)導(dǎo)管或?qū)Ч芙涌诎l(fā)生漏液，對(duì)應(yīng)位置的漏液感測(cè)帶或漏液感測(cè)線的絕緣材料因?yàn)槲哂袑?dǎo)電性，從而使得兩條導(dǎo)線之間的電阻降低。可選的，所述具有吸水性的絕緣材料為聚乙烯、尼龍或聚偏氟乙烯。可選的，所述導(dǎo)線的材料為金屬或?qū)щ娋酆衔??？蛇x的，還包括：報(bào)警單元，當(dāng)漏液檢測(cè)單元檢測(cè)到出現(xiàn)漏液現(xiàn)象，所述報(bào)警單元發(fā)出警報(bào)?？蛇x的，還包括：控制單元，所述控制單元與漏液檢測(cè)單元相連接，當(dāng)漏液檢測(cè)單元檢測(cè)到出現(xiàn)漏液現(xiàn)象，漏液檢測(cè)單元將控制信號(hào)發(fā)送給控制單元，控制單元停止半導(dǎo)體處理設(shè)備的運(yùn)行?？蛇x的，所述半導(dǎo)體處理設(shè)備為半導(dǎo)體沉積設(shè)備、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備或等離子體注入設(shè)備?？蛇x的，所述冷卻液管道位于所述待降溫組件內(nèi)或與所述待降溫組件相接觸?？蛇x的，所述待降溫組件為反應(yīng)腔側(cè)壁、反應(yīng)腔頂蓋、承片臺(tái)、輻射器或磁控管。可選的，所述冷卻液為制程冷卻水。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：由于所述漏液感應(yīng)單元與導(dǎo)管、導(dǎo)管接口相接觸，所述漏液檢測(cè)單元與所述漏液感應(yīng)單元相連接，漏液檢測(cè)單元可以實(shí)時(shí)的檢測(cè)導(dǎo)管、導(dǎo)管接口的位置是否發(fā)生漏液，一旦發(fā)現(xiàn)存在漏液現(xiàn)象，在尚未影響待處理的半導(dǎo)體基片質(zhì)量和工藝生產(chǎn)安全之前，就立刻使冷卻液供應(yīng)單元停止供液，因此不會(huì)因?yàn)槁┮寒a(chǎn)生重大安全事故。附圖說明圖1是現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2～圖3是本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4～圖7是本發(fā)明實(shí)施例的漏液感應(yīng)單元的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式請(qǐng)繼續(xù)參考圖1，現(xiàn)有技術(shù)的冷卻水管道15與冷卻水供應(yīng)裝置之間通常采用導(dǎo)管和導(dǎo)管接口相連接，導(dǎo)管接口通常采用橡膠環(huán)進(jìn)行密封，而導(dǎo)管的內(nèi)壁材料通常為橡膠。由于在冷卻水管道15的出水口13處的水溫較高，容易加速橡膠的老化，使得導(dǎo)管、導(dǎo)管接口處開裂、容易發(fā)生漏水。且如果導(dǎo)管接口沒有按規(guī)定旋緊或?qū)Ч?、?dǎo)管接口本身具有缺陷，則其他位置的導(dǎo)管、導(dǎo)管接口處也容易發(fā)生漏水。所述漏水可能會(huì)流入到待處理的半導(dǎo)體基片表面，使得待處理的半導(dǎo)體基片表面形成缺陷，且當(dāng)所述導(dǎo)管接口漏水過多甚至可能會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體處理設(shè)備的電路發(fā)生短路，使得半導(dǎo)體處理設(shè)備被燒毀，造成重大經(jīng)濟(jì)損失，嚴(yán)重影響生產(chǎn)安全。同時(shí)，由于所述冷卻水管道的對(duì)應(yīng)的導(dǎo)管...