本發(fā)明涉及太陽能電池加工裝置技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種滾輪裝置及使用該滾輪裝置的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備。
背景技術(shù):
晶硅太陽能電池具有工藝簡單、太陽能轉(zhuǎn)化效率較高等優(yōu)點(diǎn)而被大規(guī)模應(yīng)用,在晶硅電池的生產(chǎn)中,RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜是兩個(gè)重要的真空工藝技術(shù)。RIE干法制絨是在真空化學(xué)氣氛下經(jīng)等離子激發(fā)形成低反射率的粗糙表面。而等離子強(qiáng)化的化學(xué)氣相沉積(PECVD)真空鍍膜是用在正表面氮化硅抗反射膜和背表面氧化鋁和氮化硅鈍化膜的形成。
RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜技術(shù)的通常工藝流程為:將硅片在大氣中放置在載板上,載板通過滾輪傳輸?shù)窖b載腔中,在裝載腔抽真空抽到10Pa左右。然后再傳輸?shù)焦に嚽唤邮躌IE刻蝕或PECVD鍍膜。工藝完成后,載板進(jìn)入卸載腔(放氣腔)。因此,利用RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜技術(shù)制備太陽能電池時(shí),硅片載板在傳輸過程中,輸送載板的滾輪需要在有離子轟擊、腐蝕、高溫的環(huán)境中運(yùn)行,要同時(shí)保證滾輪與磁力轉(zhuǎn)軸間的鎖緊固定,以及磁力轉(zhuǎn)軸與滾輪間的絕緣,才能使得生產(chǎn)順利進(jìn)行,否則會(huì)導(dǎo)致滾輪松動(dòng)無法傳輸載板而停機(jī),或者因沒有絕緣而無法達(dá)到工藝的要求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的在于提供一種滾輪裝置,以解決現(xiàn)有的滾輪容易松動(dòng)且絕緣性能差的技術(shù)問題。
本發(fā)明的目的還在于提供一種太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備,以解決現(xiàn)有的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備因滾輪容易松動(dòng)且絕緣性能差導(dǎo)致的無法順利進(jìn)行生產(chǎn)的技術(shù)問題。
基于上述第一目的,本發(fā)明提供了一種滾輪裝置,包括鎖緊組件、轉(zhuǎn)軸和滾輪;所述鎖緊組件具有供所述轉(zhuǎn)軸穿過的孔,所述轉(zhuǎn)軸貫穿于所述孔中,且所述轉(zhuǎn)軸的端部伸入到所述滾輪的內(nèi)部,所述鎖緊組件將所述滾輪與所述轉(zhuǎn)軸固定連接在一起;所述滾輪的內(nèi)部設(shè)置有絕緣層,所述絕緣層位于所述滾輪的內(nèi)表面與所述轉(zhuǎn)軸的外表面之間;所述滾輪與所述鎖緊組件之間設(shè)置有絕緣隔墊。
進(jìn)一步的,所述鎖緊組件包括鎖緊件、連接螺栓和緊固螺栓;所述鎖緊件通過所述連接螺栓與所述滾輪固定連接;所述絕緣隔墊設(shè)置在所述鎖緊件與所述滾輪之間;所述孔設(shè)置在所述鎖緊件上,所述緊固螺栓將所述轉(zhuǎn)軸固定在所述孔中。
進(jìn)一步的,所述鎖緊件設(shè)置有沉頭孔,所述沉頭孔的中心線與所述孔的中心線相平行;所述沉頭孔的臺(tái)階面上設(shè)置有絕緣墊圈,所述沉頭孔與所述連接螺栓之間設(shè)置有絕緣套;所述連接螺栓穿過所述沉頭孔并與所述滾輪螺紋連接。
進(jìn)一步的,所述鎖緊件包括兩個(gè)半部;兩個(gè)所述半部均具有弧形槽,兩個(gè)所述半部的弧形槽的槽口相對(duì)設(shè)置形成所述孔,所述弧形槽與所述轉(zhuǎn)軸的外表面相配合;兩個(gè)所述半部均設(shè)置有連接孔,所述連接孔的中心線與所述弧形槽的長度方向相垂直;所述緊固螺栓穿過所述連接孔將兩個(gè)所述半部固定于所述轉(zhuǎn)軸上。
進(jìn)一步的,所述連接孔為與所述緊固螺栓相配合的螺紋孔。
進(jìn)一步的,所述鎖緊組件還包括螺母,所述緊固螺栓穿過所述連接孔并與所述螺母螺紋連接。
進(jìn)一步的,所述絕緣墊圈為陶瓷纖維墊片。
進(jìn)一步的,所述絕緣套、所述絕緣層和所述絕緣隔墊均由聚四氟乙烯(PTFE)制成。
進(jìn)一步的,所述滾輪的外周面上設(shè)置有環(huán)狀凸起。
基于上述第二目的,本發(fā)明還提供了一種太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備,所述太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)裝置和所述的滾輪裝置,所述驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
本發(fā)明提供的滾輪裝置,通過設(shè)置鎖緊組件,將滾輪與轉(zhuǎn)軸牢固固定連接在一起;同時(shí),在滾輪的內(nèi)表面與轉(zhuǎn)軸的外表面之間設(shè)置絕緣層,能夠保證轉(zhuǎn)軸與滾輪之間的絕緣;此外,通過在滾輪與鎖緊組件之間設(shè)置絕緣隔墊,能夠滿足滾輪與鎖緊組件之間的絕緣。因此,本發(fā)明提供的滾輪裝置,能夠在有離子轟擊、腐蝕、高溫的環(huán)境中運(yùn)行,在利用RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜技術(shù)制備太陽能電池時(shí),使用本發(fā)明提供的滾輪裝置對(duì)硅片載板進(jìn)行運(yùn)輸?shù)倪^程中,能夠同時(shí)保證滾輪與轉(zhuǎn)軸間的鎖緊固定,以及轉(zhuǎn)軸與滾輪間的絕緣,從而使得生產(chǎn)順利進(jìn)行,并使得產(chǎn)品達(dá)到工藝要求。
本發(fā)明提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備,在利用RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜技術(shù)制備太陽能電池時(shí),將硅片在大氣中放置在載板上,驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng),載板通過本發(fā)明提供的滾輪裝置傳輸?shù)窖b載腔中,在裝載腔抽真空抽到10Pa左右,然后再傳輸?shù)焦に嚽唤邮躌IE刻蝕或PECVD鍍膜。在對(duì)硅片載板進(jìn)行運(yùn)輸?shù)倪^程中,由于使用了本發(fā)明提供的滾輪裝置,能夠同時(shí)保證滾輪與轉(zhuǎn)軸間的鎖緊固定,以及轉(zhuǎn)軸與滾輪間的絕緣,因此,本發(fā)明提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備,能夠保證生產(chǎn)順利進(jìn)行,并使得產(chǎn)品達(dá)到工藝要求。
附圖說明
為了更清楚地說明本發(fā)明具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例一提供的滾輪裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(轉(zhuǎn)軸未示出);
圖2為圖1的俯視圖;
圖3為圖2的沿A-A線的剖視圖(為清楚顯示,將轉(zhuǎn)軸示出);
圖4為本發(fā)明實(shí)施例一提供的鎖緊件的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5為本發(fā)明實(shí)施例二提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備的裝載腔的主視圖;
圖6為本發(fā)明實(shí)施例二提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備的裝載腔的俯視圖。
圖標(biāo):101-轉(zhuǎn)軸;102-滾輪;103-孔;104-絕緣隔墊;105-鎖緊件;106-連接螺栓;107-緊固螺栓;108-沉頭孔;109-絕緣墊圈;110-絕緣套;111-連接孔;112-環(huán)狀凸起;113-絕緣層;114-絕緣套筒;115-絕緣墊;116-弧形槽;117-間隙;118-凹陷部;119-載板通道;120-電機(jī);121-同步帶;122-同步輪;123-同步軸。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
在本發(fā)明的描述中,需要說明的是,術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外,術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
在本發(fā)明的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
實(shí)施例一
圖1為本發(fā)明實(shí)施例一提供的滾輪裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(轉(zhuǎn)軸未示出);圖2為圖1的俯視圖;圖3為圖2的沿A-A線的剖視圖(為清楚顯示,將轉(zhuǎn)軸示出);圖4為本發(fā)明實(shí)施例一提供的鎖緊件的結(jié)構(gòu)示意圖。參見圖1至圖4所示,本實(shí)施例提供了一種滾輪裝置,包括鎖緊組件、轉(zhuǎn)軸101和滾輪102;鎖緊組件具有供轉(zhuǎn)軸101穿過的孔103,轉(zhuǎn)軸101貫穿于孔103中,且轉(zhuǎn)軸101的端部伸入到滾輪102的內(nèi)部,鎖緊組件將滾輪102與轉(zhuǎn)軸101固定連接在一起;滾輪102的內(nèi)部設(shè)置有絕緣層113,絕緣層113位于滾輪102的內(nèi)表面與轉(zhuǎn)軸101的外表面之間;滾輪102與鎖緊組件之間設(shè)置有絕緣隔墊104。作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的滾輪102具有凹槽,轉(zhuǎn)軸101的端部伸入到凹槽內(nèi),絕緣層113包括設(shè)置在凹槽的槽壁內(nèi)的絕緣套筒114和設(shè)置在凹槽槽底的絕緣墊115。作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的滾輪102和鎖緊組件的材質(zhì)均為鋁合金。本實(shí)施例提供的滾輪裝置,通過設(shè)置鎖緊組件,將滾輪102與轉(zhuǎn)軸101牢固固定連接在一起;同時(shí),在滾輪102的內(nèi)表面與轉(zhuǎn)軸101的外表面之間設(shè)置絕緣層113,能夠保證轉(zhuǎn)軸101與滾輪102之間的絕緣;此外,通過在滾輪102與鎖緊組件之間設(shè)置絕緣隔墊104,能夠滿足滾輪102與鎖緊組件之間的絕緣。因此,本實(shí)施例提供的滾輪裝置,能夠在有離子轟擊、腐蝕、高溫的環(huán)境中運(yùn)行,在利用RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜技術(shù)制備太陽能電池時(shí),使用本實(shí)施例提供的滾輪裝置對(duì)硅片載板進(jìn)行運(yùn)輸?shù)倪^程中,能夠同時(shí)保證滾輪102與轉(zhuǎn)軸101間的鎖緊固定,以及轉(zhuǎn)軸101與滾輪102間的絕緣,從而使得生產(chǎn)順利進(jìn)行,并使得產(chǎn)品達(dá)到工藝要求。
作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的轉(zhuǎn)軸101的位于凹槽內(nèi)部的直徑小于該轉(zhuǎn)軸101位于孔103中的直徑,這樣的方式能夠起到支撐定位的作用,有效地防止?jié)L輪102和鎖緊組件相對(duì)于轉(zhuǎn)軸101滑動(dòng),從而使得滾輪102與轉(zhuǎn)軸101能夠牢固固定連接在一起。
本實(shí)施例提供的鎖緊組件包括鎖緊件105、連接螺栓106和緊固螺栓107;鎖緊件105通過連接螺栓106與滾輪102固定連接;絕緣隔墊104設(shè)置在鎖緊件105與滾輪102之間;孔103設(shè)置在鎖緊件105上,緊固螺栓107將轉(zhuǎn)軸101固定在孔103中。
作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的鎖緊件105的材質(zhì)為6061鋁合金。6061鋁合金是經(jīng)熱處理預(yù)拉伸工藝生產(chǎn)的高品質(zhì)鋁合金產(chǎn)品,其鎂、硅合金特性多,具有加工性能極佳、優(yōu)良的焊接特點(diǎn)及電鍍性、良好的抗腐蝕性、韌性高及加工后不變形、材料致密無缺陷及易于拋光、氧化效果極佳等優(yōu)良特性。將鎖緊件105的材質(zhì)選為6061鋁合金,使得本實(shí)施例提供的滾輪裝置具有耐離子轟擊、耐腐蝕的特點(diǎn),從而提高了滾輪裝置的使用壽命。
作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的連接螺栓106和緊固螺栓107的材質(zhì)均為7075鋁合金。7075鋁合金是一種冷處理鍛壓合金,強(qiáng)度高,遠(yuǎn)勝于軟鋼。7075鋁合金結(jié)構(gòu)緊密,硬度高,具有極強(qiáng)的耐高溫和耐腐蝕性能、良好的機(jī)械性能及陽極反應(yīng)。將連接螺栓106和緊固螺栓107的材質(zhì)均選為7075鋁合金,不僅使得本實(shí)施例提供的滾輪裝置具有耐高溫、耐離子轟擊、耐腐蝕的特點(diǎn),提高滾輪裝置的使用壽命,而且使得連接螺栓106能夠?qū)㈡i緊件105與滾輪102之間的連接更加緊密牢固。
在該實(shí)施例的可選方案中,參見圖3所示,鎖緊件105設(shè)置有沉頭孔108,沉頭孔108的中心線與孔103的中心線相平行;沉頭孔108的臺(tái)階面上設(shè)置有絕緣墊圈109,沉頭孔108與連接螺栓106之間設(shè)置有絕緣套110;連接螺栓106穿過沉頭孔108并與滾輪102螺紋連接。
在鎖緊件105上設(shè)置沉頭孔108,使得連接螺栓106位于鎖緊件105的內(nèi)部,從而使得整體結(jié)構(gòu)更加緊湊。
將沉頭孔108的中心線設(shè)置為與孔103的中心線相平行,這樣的方式不僅便于加工,而且能夠使得鎖緊件105與滾輪102之間的連接更加緊密牢固。
在沉頭孔108的臺(tái)階面上設(shè)置絕緣墊圈109,且在沉頭孔108與連接螺栓106之間設(shè)置絕緣套110,這樣的方式能夠更好地保證連接螺栓106與鎖緊件105之間的絕緣。
該可選方案中,滾輪102設(shè)置有與連接螺栓106相配合的螺紋孔,連接螺栓106穿過沉頭孔108并與滾輪102的螺紋孔螺紋連接,從而將滾輪102與鎖緊件105固定連接在一起。
在該實(shí)施例的可選方案中,參見圖4所示,鎖緊件105包括兩個(gè)半部;兩個(gè)半部均具有弧形槽116,兩個(gè)半部的弧形槽116的槽口相對(duì)設(shè)置形成孔103,弧形槽116與轉(zhuǎn)軸101的外表面相配合;兩個(gè)半部均設(shè)置有連接孔111,連接孔111的中心線與弧形槽116的長度方向相垂直;緊固螺栓107穿過連接孔111將兩個(gè)半部固定于轉(zhuǎn)軸101上。
作為優(yōu)選,兩個(gè)半部的與滾輪102相接觸的一側(cè)設(shè)置有凹陷部118,絕緣隔墊104位于凹陷部118中,當(dāng)用連接螺栓106將兩個(gè)半部與滾輪102固定連接后,滾輪102與兩個(gè)半部相接觸的一側(cè)也位于凹陷部118中,這樣的方式既能夠使兩個(gè)半部與滾輪102之間連接的更加緊密牢固,而且還能夠保護(hù)絕緣隔墊104不直接受到高溫、腐蝕和離子轟擊的作用,從而有效地提高了絕緣隔墊104的使用壽命,減少了因頻繁更換絕緣隔墊104所帶來的成本。
本實(shí)施例提供的兩個(gè)半部,當(dāng)弧形槽116的槽口相對(duì)設(shè)置在轉(zhuǎn)軸101上時(shí),兩個(gè)半部的相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面之間具有間隙117,這樣的方式有利于緊固螺栓107更加牢固地將兩個(gè)半部固定于轉(zhuǎn)軸101上。在緊固螺栓107穿過連接孔111對(duì)兩個(gè)半部進(jìn)行固定的過程中,由于間隙117的存在,兩個(gè)半部具有向轉(zhuǎn)軸101的中心靠近的趨勢,從而使得緊固螺栓107能夠更加牢固地將兩個(gè)半部固定于轉(zhuǎn)軸101上。
作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的連接孔111為與緊固螺栓107相配合的螺紋孔。
將連接孔111設(shè)置為與緊固螺栓107相配合的螺紋孔,便于操作,在安裝過程中,可直接將緊固螺栓107穿過螺紋孔并擰緊,從而快速地將兩個(gè)半部固定于轉(zhuǎn)軸101上。
作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的鎖緊組件還包括螺母,緊固螺栓107穿過連接孔111并與螺母螺紋連接。
通過增設(shè)螺母,連接孔111不必加工成螺紋孔,降低了制造過程的復(fù)雜程度。此外,通過緊固螺栓107與螺母配合,能夠使得兩個(gè)半部更加牢固地固定于轉(zhuǎn)軸101上。
作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的絕緣墊圈109為陶瓷纖維墊片。
陶瓷纖維墊片質(zhì)地堅(jiān)韌,抗風(fēng)蝕強(qiáng),耐壓強(qiáng)度高,具有良好的耐火隔熱效果,可直接接觸火焰,且具有良好的抗熱震性。由于絕緣墊圈109是暴露在外面的,在傳輸硅片載板的過程中,絕緣墊圈109會(huì)直接受到高溫、腐蝕和離子轟擊的作用,將絕緣墊圈109選為陶瓷纖維墊片,能夠耐受高溫、腐蝕和離子轟擊的作用,從而保證滾輪裝置能夠長時(shí)間正常運(yùn)行,降低了維修率。
作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的絕緣套110、絕緣層113和絕緣隔墊104均由聚四氟乙烯(PTFE)制成。
PTFE具有耐高溫、抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑的特點(diǎn),同時(shí),PTFE的摩擦系數(shù)極低,具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、密封性、高潤滑不粘性、良好的電絕緣性和良好的抗老化能力。因此,本實(shí)施例提供的滾輪裝置具有良好的絕緣性能。
在該實(shí)施例的可選方案中,參見圖1所示,滾輪102的外周面上設(shè)置有環(huán)狀凸起112。
當(dāng)硅片載板在滾輪102上運(yùn)輸?shù)倪^程中,硅片載板可能會(huì)向運(yùn)輸方向的兩側(cè)發(fā)生偏移,導(dǎo)致不能順利向前傳輸。在滾輪102的外周面上設(shè)置環(huán)狀凸起112,能夠?qū)杵d板起到導(dǎo)向的作用,使硅片載板不會(huì)向運(yùn)輸方向的兩側(cè)發(fā)生偏移,從而能夠保證生產(chǎn)順利進(jìn)行。
需要說明的是,本實(shí)施例提供的滾輪裝置不僅適用于太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備,對(duì)于其他需要在高溫、腐蝕和離子轟擊的環(huán)境下輸送物料的設(shè)備,均可以使用本實(shí)施例提供的滾輪裝置。
實(shí)施例二
圖5為本發(fā)明實(shí)施例二提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備的裝載腔的主視圖;圖6為本發(fā)明實(shí)施例二提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備的裝載腔的俯視圖。參見圖5和圖6所示,本實(shí)施例提供了一種太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備,包括驅(qū)動(dòng)裝置和實(shí)施例一提供的滾輪裝置,驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸101轉(zhuǎn)動(dòng)。太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備,尤其是鏈?zhǔn)礁煞ㄖ平q和真空鍍膜的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備,主要包括裝載腔、工藝腔和卸載腔,每個(gè)腔內(nèi)均設(shè)置有本發(fā)明實(shí)施例一提供的滾輪裝置,驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸101轉(zhuǎn)動(dòng),以帶動(dòng)滾輪102轉(zhuǎn)動(dòng),從而將硅片載板依次且連續(xù)輸送至裝載腔、工藝腔和卸載腔,以完成太陽能電池生產(chǎn)的工藝流程。
在該實(shí)施例的可選方案中,以裝載腔為例,參見圖5和圖6所示,裝載腔設(shè)置有載板通道119,供硅片載板進(jìn)入裝載腔。裝載腔的內(nèi)部沿硅片載板傳輸方向的兩側(cè)相對(duì)設(shè)置有多個(gè)實(shí)施例一提供的滾輪裝置,且多個(gè)滾輪裝置均勻間隔設(shè)置,驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)120和同步帶傳動(dòng)裝置,電機(jī)120的動(dòng)力輸出端連接有同步軸123,同步軸123兩端分別通過同步帶傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)多個(gè)轉(zhuǎn)軸101同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)。其中,同步帶傳動(dòng)裝置包括同步帶121和同步輪122,作為優(yōu)選,本實(shí)施例中的同步帶121和同步輪122均采用現(xiàn)有的同步帶和同步輪。作為優(yōu)選,本實(shí)施例提供的轉(zhuǎn)軸101采用現(xiàn)有的電磁轉(zhuǎn)軸。
最后應(yīng)說明的是:以上各實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對(duì)其限制;盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。