本技術(shù)涉及刻蝕設(shè)備，具體為一種topcon電池的刻蝕設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、刻蝕是用化學(xué)或物理方法對(duì)襯底表面或表面覆蓋薄膜進(jìn)行選擇性腐蝕或剝離的過程。目前干法刻蝕在半導(dǎo)體刻蝕中占據(jù)絕對(duì)主流地位，市場(chǎng)占比超過90％。

2、中國專利公開了公開號(hào)為cn218568777u，一種刻蝕設(shè)備，包括腔體壁、介質(zhì)窗和第一隔離板，腔體壁和介質(zhì)窗形成腔室，以在腔室內(nèi)對(duì)待刻蝕結(jié)構(gòu)進(jìn)行刻蝕，腔體壁具有開口，開口用于第一隔離板從開口沿第一方向滑入腔室，使第一隔離板和腔體壁形成子腔室，這樣，在子腔室中長(zhǎng)時(shí)間刻蝕時(shí)，僅第一隔離板的下表面被污染，介質(zhì)窗由于其下方第一隔離板的保護(hù)未被污染，僅需對(duì)第一隔離板進(jìn)行更換或清洗即可，而且，在更換第一隔離板時(shí)，可以通過腔體壁上的開口將第一隔離板滑出，操作簡(jiǎn)單方便，減少了更換時(shí)間，能夠提高產(chǎn)量；

3、但是還是存在以下缺點(diǎn)：該裝置在使用時(shí)，無法對(duì)刻蝕過程中產(chǎn)生的有害氣體進(jìn)行收集，導(dǎo)致有害氣體進(jìn)入空氣內(nèi)，且對(duì)工作人員產(chǎn)生危害。

4、因此，提出一種topcon電池的刻蝕設(shè)備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，包括主體和倉門；

3、所述主體和倉門鉸接，所述主體內(nèi)部固定設(shè)置有擋板，所述擋板將主體內(nèi)部分割成刻蝕倉和收集倉兩部分，所述刻蝕倉內(nèi)部設(shè)置有刻蝕機(jī)構(gòu)，所述收集倉內(nèi)部設(shè)置有收集機(jī)構(gòu)；

4、所述主體左側(cè)面開設(shè)有放置槽，所述放置槽右端延伸至刻蝕倉內(nèi)部，所述擋板左側(cè)面開設(shè)有驅(qū)動(dòng)槽，所述刻蝕倉背面開設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)部固定設(shè)置有限位桿；

5、所述刻蝕機(jī)構(gòu)包括隔離部與刻蝕部；

6、隔離部位于刻蝕部上方。

7、優(yōu)選的，所述隔離部包括隔板，所述隔板右端貫穿放置槽延伸至刻蝕倉內(nèi)部，所述隔板底面固定設(shè)置有滑輪，所述滑輪位于滑槽內(nèi)部，所述滑輪下端與限位桿滑動(dòng)連接，所述隔板左側(cè)面固定設(shè)置有把手,把手帶動(dòng)隔板移動(dòng)。

8、優(yōu)選的，所述隔板上方設(shè)置有輸氣管，所述輸氣管右端貫穿主體延伸至刻蝕倉內(nèi)部，隔板關(guān)閉時(shí)，使輸氣管中的空氣無法進(jìn)入刻蝕倉內(nèi)。

9、優(yōu)選的，所述刻蝕部包括刻蝕噴淋裝置，所述刻蝕噴淋裝置左右兩端固定設(shè)置有固定桿，兩個(gè)所述固定桿側(cè)面分別與刻蝕倉內(nèi)壁和擋板固定連接。

10、優(yōu)選的，所述刻蝕噴淋裝置下方設(shè)置有刮除架，所述刮除架左右兩端套設(shè)在固定桿外表面并與固定桿滑動(dòng)連接，所述刮除架側(cè)面固定設(shè)置有限位塊，所述限位塊位于驅(qū)動(dòng)槽內(nèi)部并與驅(qū)動(dòng)槽內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述刮除架后端底面固定設(shè)置有液壓桿，液壓桿帶動(dòng)刮除架移動(dòng)。

11、優(yōu)選的，所述刻蝕噴淋裝置下方依次設(shè)置有放置板和收集斗，放置板位于收集斗上方，收集斗將刮除架刮除的雜質(zhì)刮入收集斗內(nèi)。

12、優(yōu)選的，所述收集機(jī)構(gòu)包括吸風(fēng)機(jī)，所述吸風(fēng)機(jī)位于收集倉內(nèi)部，所述吸風(fēng)機(jī)下端固定設(shè)置有放置座，所述放置座與收集倉內(nèi)壁底面固定連接，所述吸風(fēng)機(jī)兩端均連接有氣管，吸風(fēng)機(jī)將刻蝕過程中產(chǎn)生的有害氣體吸入。

13、優(yōu)選的，所述吸風(fēng)機(jī)左側(cè)設(shè)置有第一單向閥，所述第一單向閥套設(shè)在氣管上，所述吸風(fēng)機(jī)右側(cè)設(shè)置有第二單向閥，所述第二單向閥套設(shè)在氣管上，第一單向閥和第二單向閥使有害氣體只能單方向移動(dòng)。

14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，

15、1)、通過推拉把手，可使隔板左右移動(dòng)，操作方便，方便工作人員對(duì)隔板進(jìn)行更換，通過液壓桿調(diào)節(jié)刮除架，通過刮除架對(duì)刻蝕倉內(nèi)壁遺留的液體進(jìn)行清理，避免遺留液體影響下次刻蝕，提高裝置的準(zhǔn)確性；

16、2)、通過氣管外表面依次套設(shè)有第一單向閥和第二單向閥，保證有害氣體只能單向移動(dòng)，不會(huì)使氣體回流，對(duì)裝置內(nèi)的有害氣體進(jìn)行收集，提高裝置的安全性。

技術(shù)特征：

1.一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，包括主體(1)和倉門(2)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，其特征在于：所述隔離部包括隔板(51)，所述隔板(51)右端貫穿放置槽(13)延伸至刻蝕倉(11)內(nèi)部，所述隔板(51)底面固定設(shè)置有滑輪(52)，所述滑輪(52)位于滑槽(15)內(nèi)部，所述滑輪(52)下端與限位桿(16)滑動(dòng)連接，所述隔板(51)左側(cè)面固定設(shè)置有把手(53)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，其特征在于：所述隔板(51)上方設(shè)置有輸氣管(4)，所述輸氣管(4)右端貫穿主體(1)延伸至刻蝕倉(11)內(nèi)部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，其特征在于：所述刻蝕部包括刻蝕噴淋裝置(54)，所述刻蝕噴淋裝置(54)左右兩端固定設(shè)置有固定桿(55)，兩個(gè)所述固定桿(55)側(cè)面分別與刻蝕倉(11)內(nèi)壁和擋板(3)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，其特征在于：所述刻蝕噴淋裝置(54)下方設(shè)置有刮除架(56)，所述刮除架(56)左右兩端套設(shè)在固定桿(55)外表面并與固定桿(55)滑動(dòng)連接，所述刮除架(56)側(cè)面固定設(shè)置有限位塊(57)，所述限位塊(57)位于驅(qū)動(dòng)槽(14)內(nèi)部并與驅(qū)動(dòng)槽(14)內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述刮除架(56)后端底面固定設(shè)置有液壓桿(58)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，其特征在于：所述刻蝕噴淋裝置(54)下方依次設(shè)置有放置板(7)和收集斗(8)，放置板(7)位于收集斗(8)上方。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，其特征在于：所述收集機(jī)構(gòu)(6)包括吸風(fēng)機(jī)(61)，所述吸風(fēng)機(jī)(61)位于收集倉(12)內(nèi)部，所述吸風(fēng)機(jī)(61)下端固定設(shè)置有放置座(62)，所述放置座(62)與收集倉(12)內(nèi)壁底面固定連接，所述吸風(fēng)機(jī)(61)兩端均連接有氣管(63)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種topcon電池的刻蝕設(shè)備，其特征在于：所述吸風(fēng)機(jī)(61)左側(cè)設(shè)置有第一單向閥(64)，所述第一單向閥(64)套設(shè)在氣管(63)上，所述吸風(fēng)機(jī)(61)右側(cè)設(shè)置有第二單向閥(65)，所述第二單向閥(65)套設(shè)在氣管(63)上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及刻蝕設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種TOPCon電池的刻蝕設(shè)備，包括主體和倉門，主體和倉門鉸接，主體內(nèi)部固定設(shè)置有擋板，擋板將主體內(nèi)部分割成刻蝕倉和收集倉兩部分，刻蝕倉內(nèi)部設(shè)置有刻蝕機(jī)構(gòu)，收集倉內(nèi)部設(shè)置有收集機(jī)構(gòu)，主體左側(cè)面開設(shè)有放置槽，放置槽右端延伸至刻蝕倉內(nèi)部，擋板左側(cè)面開設(shè)有驅(qū)動(dòng)槽，刻蝕倉背面開設(shè)有滑槽，滑槽內(nèi)部固定設(shè)置有限位桿，刻蝕機(jī)構(gòu)包括隔離部與刻蝕部，通過推拉把手，可使隔板左右移動(dòng)，操作方便，方便工作人員對(duì)隔板進(jìn)行更換，通過液壓桿調(diào)節(jié)刮除架，通過刮除架對(duì)刻蝕倉內(nèi)壁遺留的液體進(jìn)行清理，避免遺留液體影響下次刻蝕，提高裝置的準(zhǔn)確性，對(duì)裝置內(nèi)的有害氣體進(jìn)行收集，提高裝置的安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：施靖,何飛,蔡鵬,宋劍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇宏潤光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240320
技術(shù)公布日：2025/5/15