本發(fā)明涉及芯片制造，特別涉及一種晶圓盒內(nèi)晶圓放置狀態(tài)檢測(cè)方法以及晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在日常生產(chǎn)中，操作人員對(duì)晶圓盒內(nèi)部晶圓狀態(tài)無法進(jìn)行識(shí)別判斷，導(dǎo)致在生產(chǎn)時(shí)，若晶圓盒內(nèi)晶圓放置異常，則晶圓可能發(fā)生破裂甚至破碎，影響生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的是提出一種晶圓盒內(nèi)晶圓放置狀態(tài)檢測(cè)方法以及晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)，旨在實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓盒內(nèi)晶圓狀態(tài)進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種晶圓盒內(nèi)晶圓放置狀態(tài)檢測(cè)方法，其中，所述晶圓盒包括盒體，所述盒體處在第一方向上的一端呈開口設(shè)置，所述盒體沿著第二方向間隔設(shè)置有多個(gè)插槽，所述多個(gè)插槽具有朝向所述盒體的開口端的插口，以對(duì)應(yīng)供多個(gè)晶圓插置安裝，所述晶圓盒上設(shè)置有晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)，所述晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)包括至少一信號(hào)收發(fā)器、以及與所述信號(hào)收發(fā)器電訊連接的控制器，所述晶圓盒內(nèi)晶圓放置狀態(tài)檢測(cè)方法包括：

3、在所述晶圓插置于所述插槽后且所述信號(hào)收發(fā)器位于設(shè)定的檢測(cè)位置時(shí)，控制所述信號(hào)收發(fā)器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)；

4、獲取所述信號(hào)收發(fā)器接收到的返回信號(hào)，根據(jù)所述返回信號(hào)確定所述晶圓的放置狀態(tài)是否正確。

5、在一實(shí)施方式中，獲取所述信號(hào)收發(fā)器接收到的返回信號(hào)，根據(jù)所述返回信號(hào)確定所述晶圓的放置狀態(tài)是否正確的步驟，包括：

6、獲取所述信號(hào)收發(fā)器接收到的返回信號(hào)，將所述返回信號(hào)與設(shè)定信號(hào)進(jìn)行匹配；

7、當(dāng)匹配成功，則判定所述晶圓的放置狀態(tài)正確。

8、在一實(shí)施方式中，所述放置狀態(tài)包括所述晶圓是否插置到所述插槽的底部；

9、所述信號(hào)收發(fā)器包括第一信號(hào)收發(fā)器，所述第一信號(hào)收發(fā)器包括第一信號(hào)發(fā)射器和第一信號(hào)接收器，所述第一信號(hào)收發(fā)器具有第一檢測(cè)位置，在所述第一檢測(cè)位置時(shí)，所述第一信號(hào)接收器和所述第一信號(hào)發(fā)射器沿著第二方向間隔設(shè)置，且安裝在所述多個(gè)插槽的插口處的兩端上，所述第一信號(hào)收發(fā)器用于收發(fā)信號(hào)以確定所述晶圓是否插置到所述插槽的底部；

10、在所述晶圓插置于所述插槽后且所述信號(hào)收發(fā)器位于設(shè)定的檢測(cè)位置時(shí)，控制所述信號(hào)收發(fā)器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的步驟，包括：

11、在所述晶圓插置于所述插槽后且所述第一信號(hào)收發(fā)器位于所述第一檢測(cè)位置時(shí)，控制所述第一信號(hào)發(fā)射器發(fā)出第一檢測(cè)信號(hào)；

12、獲取所述信號(hào)收發(fā)器接收到的返回信號(hào)，根據(jù)所述返回信號(hào)確定所述晶圓的放置狀態(tài)是否正確的步驟，包括：

13、獲取所述第一信號(hào)接收器接收到的第一返回信號(hào)，根據(jù)所述第一返回信號(hào)確定所述晶圓是否插置到所述插槽的底部。

14、在一實(shí)施方式中，所述放置狀態(tài)包括所述晶圓是否插置到所述插槽的底部；

15、所述信號(hào)收發(fā)器包括支架以及第二信號(hào)收發(fā)器，所述支架沿第二方向獨(dú)立活動(dòng)設(shè)置于所述盒體的開口端的外側(cè)，且所述支架包括兩個(gè)相對(duì)且間隔設(shè)置的第一安裝部，所述第二信號(hào)收發(fā)器具有對(duì)應(yīng)于每一個(gè)所述插槽的多個(gè)第二檢測(cè)位置，在所述第二檢測(cè)位置時(shí)，所述第二信號(hào)收發(fā)器包括分設(shè)在兩個(gè)所述第一安裝部上的第二信號(hào)發(fā)射器和第二信號(hào)接收器，且所述第二信號(hào)發(fā)射器和所述第二信號(hào)接收器沿第三方向分布，所述第二信號(hào)收發(fā)器用于收發(fā)信號(hào)以確定所述晶圓是否插置到所述插槽的底部；

16、在所述晶圓插置于所述插槽后且所述信號(hào)收發(fā)器位于設(shè)定的檢測(cè)位置時(shí)，控制所述信號(hào)收發(fā)器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的步驟，包括：

17、在所述晶圓插置于所述插槽后且在所述第二信號(hào)收發(fā)器活動(dòng)至每一所述第二檢測(cè)位置時(shí)，控制所述第二信號(hào)發(fā)射器發(fā)出第二檢測(cè)信號(hào)；

18、獲取所述信號(hào)收發(fā)器接收到的返回信號(hào)，根據(jù)所述返回信號(hào)確定所述晶圓的放置狀態(tài)是否正確的步驟，包括：

19、獲取所述第二信號(hào)接收器接收到的第二返回信號(hào)，根據(jù)所述第二返回信號(hào)確定所述晶圓是否插置到所述插槽的底部。

20、在一實(shí)施方式中，所述放置狀態(tài)包括所述晶圓是否插置反向，所述信號(hào)收發(fā)器包括第三信號(hào)收發(fā)器，所述第三信號(hào)收發(fā)器包括第三信號(hào)發(fā)射器和第三信號(hào)接收器，所述第三信號(hào)收發(fā)器具有第三檢測(cè)位置，在所述第三檢測(cè)位置時(shí)，所述第三信號(hào)接收器和所述第三信號(hào)發(fā)射器沿著第二方向間隔設(shè)置，且位于所述多個(gè)插槽的插口處的兩端，所述第三信號(hào)收發(fā)器用于收發(fā)信號(hào)以確定所述晶圓是否插置反向，其中，所述第三信號(hào)發(fā)射器同時(shí)用于接收和發(fā)射信號(hào)。

21、在一實(shí)施方式中，所述晶圓為透明材質(zhì)，在所述晶圓插置于所述插槽后且所述信號(hào)收發(fā)器位于設(shè)定的檢測(cè)位置時(shí)，控制所述信號(hào)收發(fā)器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的步驟，包括：

22、在所述晶圓插置于所述插槽后且所述第三信號(hào)收發(fā)器位于第三檢測(cè)位置時(shí)，控制所述第三信號(hào)發(fā)射器發(fā)出第三檢測(cè)信號(hào)；

23、獲取所述信號(hào)收發(fā)器接收到的返回信號(hào)，根據(jù)所述返回信號(hào)確定所述晶圓的放置狀態(tài)是否正確的步驟，包括：

24、獲取所述第三信號(hào)接收器接收到的第三返回信號(hào)，根據(jù)所述第三返回信號(hào)確定所述晶圓是否插置反向。

25、在一實(shí)施方式中，所述晶圓為遮光材質(zhì)，在所述晶圓插置于所述插槽后且所述信號(hào)收發(fā)器位于設(shè)定的檢測(cè)位置時(shí)，控制所述信號(hào)收發(fā)器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的步驟，包括：

26、在所述晶圓插置于所述插槽后且所述第三信號(hào)收發(fā)器位于第三檢測(cè)位置時(shí)，控制所述第三信號(hào)發(fā)射器發(fā)出第三檢測(cè)信號(hào)；

27、獲取所述信號(hào)收發(fā)器接收到的返回信號(hào)，根據(jù)所述返回信號(hào)確定所述晶圓的放置狀態(tài)是否正確的步驟，包括：

28、獲取所述第三信號(hào)發(fā)射器接收到的第三返回信號(hào)，根據(jù)所述第三返回信號(hào)確定所述晶圓是否插置反向。

29、在一實(shí)施方式中，所述插槽包括兩組子插槽，兩組所述子插槽分設(shè)于所述盒體在第三方向上的兩側(cè)，且兩組所述子插槽用以對(duì)應(yīng)于晶圓的兩側(cè)端設(shè)置，所述放置狀態(tài)包括所述晶圓的兩側(cè)是否插置于同一所述插槽的兩個(gè)所述子插槽內(nèi)；

30、所述信號(hào)收發(fā)器包括支架以及第四信號(hào)收發(fā)器，所述支架沿第二方向獨(dú)立活動(dòng)設(shè)置于所述盒體的開口端的外側(cè)，且所述支架包括位于所述多個(gè)插槽的槽口處的第二安裝部，所述第四信號(hào)收發(fā)器安裝于所述第二安裝部上，所述第四信號(hào)收發(fā)器具有對(duì)應(yīng)于每一個(gè)所述插槽的多個(gè)第四檢測(cè)位置，在所述第四檢測(cè)位置時(shí)，所述第四信號(hào)收發(fā)器位于所述多個(gè)插槽的槽口處，且在第二方向上相對(duì)所述插槽傾斜設(shè)置，所述第四信號(hào)收發(fā)器用于收發(fā)信號(hào)以確定所述晶圓的兩側(cè)是否插置于同一所述插槽的兩個(gè)所述子插槽內(nèi)；

31、在所述晶圓插置于所述插槽后且所述信號(hào)收發(fā)器位于設(shè)定的檢測(cè)位置時(shí)，控制所述信號(hào)收發(fā)器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的步驟，包括：

32、在所述晶圓插置于所述插槽后且所述第四信號(hào)收發(fā)器位于第四檢測(cè)位置時(shí)，控制所述第四信號(hào)收發(fā)器發(fā)出第四檢測(cè)信號(hào)；

33、獲取所述信號(hào)收發(fā)器接收到的返回信號(hào)，根據(jù)所述返回信號(hào)確定所述晶圓的放置狀態(tài)是否正確的步驟，包括：

34、獲取所述第四信號(hào)收發(fā)器接收到的第四返回信號(hào)，根據(jù)所述第四返回信號(hào)確定所述晶圓的兩側(cè)是否插置于同一所述插槽的兩個(gè)所述子插槽內(nèi)。

35、本發(fā)明還提出一種晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，包括：

36、至少一信號(hào)收發(fā)器；以及，

37、與所述信號(hào)收發(fā)器電訊連接的控制器，所述控制器包括存儲(chǔ)器、處理器及存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器上并可在所述處理器上運(yùn)行的所述晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)的控制程序，所述晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)的控制程序配置為實(shí)現(xiàn)如上所述的晶圓盒內(nèi)晶圓放置狀態(tài)檢測(cè)方法的步驟。

38、在一實(shí)施方式中，所述信號(hào)收發(fā)器包括光傳感組件。

39、在一實(shí)施方式中，所述信號(hào)收發(fā)器包括第一信號(hào)收發(fā)器，所述第一信號(hào)收發(fā)器包括第一信號(hào)發(fā)射器和第一信號(hào)接收器，所述第一信號(hào)收發(fā)器具有第一檢測(cè)位置，在所述第一檢測(cè)位置時(shí)，所述第一信號(hào)接收器和所述第一信號(hào)發(fā)射器沿著第二方向間隔設(shè)置，且安裝在所述多個(gè)插槽的插口處的兩端上，所述第一信號(hào)收發(fā)器用于收發(fā)信號(hào)以確定所述晶圓是否插置到所述插槽的底部；和/或，

40、所述信號(hào)收發(fā)器包括支架以及第二信號(hào)收發(fā)器，所述支架沿第二方向獨(dú)立活動(dòng)設(shè)置于所述盒體的開口端的外側(cè)，且所述支架包括兩個(gè)相對(duì)且間隔設(shè)置的第一安裝部，所述第二信號(hào)收發(fā)器具有對(duì)應(yīng)于每一個(gè)所述插槽的多個(gè)第二檢測(cè)位置，在所述第二檢測(cè)位置時(shí)，所述第二信號(hào)收發(fā)器包括分設(shè)在兩個(gè)所述第一安裝部上的第二信號(hào)發(fā)射器和第二信號(hào)接收器，且所述第二信號(hào)發(fā)射器和所述第二信號(hào)接收器沿第三方向分布，所述第二信號(hào)收發(fā)器用于收發(fā)信號(hào)以確定所述晶圓是否插置到所述插槽的底部；和/或，

41、所述信號(hào)收發(fā)器包括第三信號(hào)收發(fā)器，所述第三信號(hào)收發(fā)器包括第三信號(hào)發(fā)射器和第三信號(hào)接收器，所述第三信號(hào)收發(fā)器具有第三檢測(cè)位置，在所述第三檢測(cè)位置時(shí)，所述第三信號(hào)接收器和所述第三信號(hào)發(fā)射器沿著第二方向間隔設(shè)置，且位于所述多個(gè)插槽的插口處的兩端，所述第三信號(hào)收發(fā)器用于收發(fā)信號(hào)以確定所述晶圓是否插置反向，其中，所述第三信號(hào)發(fā)射器同時(shí)用于接收和發(fā)射信號(hào)；和/或，

42、所述信號(hào)收發(fā)器包括支架以及第四信號(hào)收發(fā)器，所述支架沿第二方向獨(dú)立活動(dòng)設(shè)置于所述盒體的開口端的外側(cè)，且所述支架包括位于所述多個(gè)插槽的槽口處的第二安裝部，所述第四信號(hào)收發(fā)器安裝于所述第二安裝部上，所述第四信號(hào)收發(fā)器具有對(duì)應(yīng)于每一個(gè)所述插槽的多個(gè)第四檢測(cè)位置，在所述第四檢測(cè)位置時(shí)，所述第四信號(hào)收發(fā)器位于所述多個(gè)插槽的槽口處，且在第二方向上相對(duì)所述插槽傾斜設(shè)置，所述第四信號(hào)收發(fā)器用于收發(fā)信號(hào)以確定所述晶圓的兩側(cè)是否插置于同一所述插槽的兩個(gè)所述子插槽內(nèi)。

43、本發(fā)明的技術(shù)方案中，通過在所述晶圓盒內(nèi)設(shè)置所述晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)以及配套的檢測(cè)方法，以利用所述晶圓狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)所述晶圓盒內(nèi)的晶圓放置狀態(tài)進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)，得以能夠識(shí)別所述晶圓盒內(nèi)異常放置的晶圓，可在加工前提醒操作人員進(jìn)行調(diào)整，一方面避免晶圓損壞，另一方面避免異常放置晶圓進(jìn)入生產(chǎn)系統(tǒng)，影響生產(chǎn)系統(tǒng)生產(chǎn)效率。