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一種抑制單粒子瞬態(tài)效應(yīng)的反相器的制作方法

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一種抑制單粒子瞬態(tài)效應(yīng)的反相器的制造方法與工藝

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種抑制單粒子瞬態(tài)效應(yīng)的反相器。



背景技術(shù):

航天領(lǐng)域的不斷發(fā)展,使得近年來(lái)各國(guó)出現(xiàn)了探索外圍空間的熱潮。航天較發(fā)達(dá)的國(guó)家都設(shè)定了各自的太空任務(wù)。如美國(guó)己提出再次登月計(jì)劃,為2024年以前實(shí)現(xiàn)月球表面完成基地建設(shè);俄羅斯則是在2040年前建造航天站、完成登月等;日本、印度及歐洲各國(guó)都設(shè)定了專門的航天目標(biāo),包括載人航天、空間站建設(shè)等。

集成電路是各航天器的核心,其可靠性和性能直接決定航天器的安全和適用性。隨著集成電路尺寸不斷縮小,加之未來(lái)對(duì)航天器工作性能和工作時(shí)間要求越來(lái)越高,芯片的抗輻照能力將會(huì)成為關(guān)鍵因素之一。比如在探測(cè)月球和火星中,宇宙射線非常強(qiáng),會(huì)對(duì)集成電路造成嚴(yán)重的輻照效應(yīng)。為了解決航天技術(shù)不斷進(jìn)步帶來(lái)的問(wèn)題,世界各國(guó)都在努力開(kāi)發(fā)能夠適用于空間探測(cè)的集成電路。

雖然我國(guó)集成電路水平仍處于比較落后階段,抗輻照集成電路設(shè)計(jì)更是處于模仿階段,但我國(guó)也在進(jìn)行著努力。2013年,由我國(guó)航天502所與國(guó)防科技大學(xué)合作研究的soc2012研制成功,該芯片是我國(guó)第一顆抗輻照四核并行soc芯片。其速度和抗輻照能力能夠滿足未來(lái)多年內(nèi)我國(guó)航天的發(fā)展要求。集成電路單粒子效應(yīng)包括單粒子瞬態(tài)效應(yīng)、單粒子翻轉(zhuǎn)、單粒子門鎖等。其中,單粒子瞬態(tài)效應(yīng)(singleeventtransient,set)尤為重要,它會(huì)造成器件電壓和電流的瞬時(shí)擾動(dòng),并誘發(fā)其它單粒子效應(yīng)。

隨著集成電路工藝尺寸的不斷縮小,單粒子效應(yīng)對(duì)集成電路的損害在不斷增加,集成電路的設(shè)計(jì)面臨著很大的問(wèn)題和挑戰(zhàn),電路的抗輻照能力的強(qiáng)弱變得越來(lái)越重要。反相器在電路中是一種基礎(chǔ)的器件,它的抗輻照能力的提高,會(huì)一定程度上使整體電路抗輻照能力得到提高;所以對(duì)反相器的研究是很有必要的。

然而,目前的反相器及其存在的缺陷如下:

現(xiàn)有技術(shù)一:q.zhou和k.mohanram等人在2004年提出當(dāng)受外界因素的干擾,反相器電路發(fā)生單粒子瞬態(tài)效應(yīng)時(shí),通過(guò)對(duì)反相器中pmos管和nmos管的尺寸的改變,來(lái)使產(chǎn)生的set脈沖波形得到改善,進(jìn)一步使反相器的抗輻照能力得到提高。兩種方案如下:(1)nmos管和pmos管都在最小尺寸基礎(chǔ)上分別放大兩倍,然后對(duì)nmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,發(fā)現(xiàn)產(chǎn)生的set脈沖寬度減小,反相器的抗輻照能力得到提高。(2)nmos管和pmos管都在最小尺寸基礎(chǔ)上分別放大兩倍,然后對(duì)pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,發(fā)現(xiàn)產(chǎn)生的set脈沖寬度增加,反相器的抗輻照能力下降。上述方案的缺陷如下:同時(shí)將nmos管和pmos管的尺寸進(jìn)行放大兩倍并對(duì)pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,提高了反相器的電流驅(qū)動(dòng)能力,但是pmos管尺寸變大,提高了寄生參數(shù)放大效應(yīng),導(dǎo)致從源極注入電荷的數(shù)量增多,最終被漏極收集,導(dǎo)致產(chǎn)生的set脈沖寬度變寬,從而降低了抗輻照能力。

現(xiàn)有技術(shù)二、oluwolea.amusan等人提出使nmos管在最小尺寸基礎(chǔ)上放大兩倍的同時(shí)pmos管的尺寸保持不變,set脈沖寬度取決于pmos管的電荷收集的數(shù)量和nmos管作為恢復(fù)管恢復(fù)電流的能力,相比現(xiàn)有技術(shù)一中的方案(2),現(xiàn)有技術(shù)二中pmos管的尺寸不變,nmos管放大兩倍,對(duì)pmos管漏極進(jìn)行粒子轟擊時(shí)pmos管尺寸沒(méi)有放大,雙極寄生放大效應(yīng)相比于技術(shù)一中(2)方案減小,pmos管的收集電荷的數(shù)量明顯較少,nmos管作為恢復(fù)管,它的尺寸相同,恢復(fù)的電流能力一樣,現(xiàn)有技術(shù)二相較于現(xiàn)有技術(shù)一中的方案(2)在粒子轟擊時(shí)產(chǎn)生的set脈沖寬度較窄,反相器的抗輻照能力得到提高。但是,依然存在如下缺陷:在pmos管的尺寸保持不變且nmos管的尺寸放大兩倍的情況下對(duì)反相器的電流驅(qū)動(dòng)能力影響不大,但是因?yàn)閜mos管尺寸不變對(duì)應(yīng)上升時(shí)間保持不變,nmos管尺寸放大兩倍后使得下降時(shí)間減少,最終導(dǎo)致上升時(shí)間和下降時(shí)間不對(duì)稱,對(duì)整個(gè)電路的工作頻率造成影響。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是提供一種抑制單粒子瞬態(tài)效應(yīng)的反相器,進(jìn)一步的減弱單粒子瞬態(tài)效應(yīng)對(duì)反相器的干擾,同時(shí)電路驅(qū)動(dòng)能力和電路的工作頻率不受到影響。

本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:

一種抑制單粒子瞬態(tài)效應(yīng)的反相器,包括:第一nmos管、第二nmos管、第一pmos管以及第二pmos管;

第一nmos管與第一pmos管連接,第二nmos管與第二pmos管連接構(gòu)成前后兩級(jí)的反相器結(jié)構(gòu);其中,后一級(jí)反相器中的第二pmos的源極接前一級(jí)反相器的輸出,后一級(jí)的第二pmos2和第二nmos的輸入接vin,即前一級(jí)反相器的輸入。

第一pmos的管柵極與第一nmos管的柵極連接后接vin,第一pmos管的漏極與第一nmos的源極連接,第一pmos的管源極接vdd,第一nmos的管漏極接gnd,從而構(gòu)成前一級(jí)反相器;

第二pmos管柵極與第二nmos管柵極連接后接vin,第二pmos管漏極與第二nmos源極連接,第二nmos管漏極接gnd,從而構(gòu)成后一級(jí)反相器;且后一級(jí)反相器中第二pmos管的源極接前一級(jí)反相器的輸出。

當(dāng)輸入vin為低電平時(shí),第一pmos管導(dǎo)通,第一nmos管截止,前一級(jí)反相器的輸出為高電平,第二pmos管導(dǎo)通,第二nmos管截止,后一級(jí)反相器的輸出為高電平,即最后輸出為高電平;

當(dāng)輸入vin為高電平時(shí),第一pmos管截止,第一nmos管導(dǎo)通,前一級(jí)反相器的輸出為低電平,第二pmos管截止,第二nmos管導(dǎo)通,后一級(jí)反相器的輸出為低電平,即最后輸出為低電平。

由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出,該反相器利用驅(qū)動(dòng)等效的原理將nmos管和pmos管都在最小尺寸基礎(chǔ)上放大兩倍,從面積等效的原理考慮,該反相器中nmos管尺寸和pmos管尺寸都為最小尺寸,結(jié)合特殊的結(jié)構(gòu)進(jìn)一步的減弱單粒子瞬態(tài)效應(yīng)對(duì)反相器的干擾,同時(shí)電路驅(qū)動(dòng)能力和電路的工作頻率不受到影響。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種抑制單粒子瞬態(tài)效應(yīng)的反相器的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的tcad模型下本反相器的正常工作波形圖;

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的對(duì)現(xiàn)有技術(shù)二中反相器中的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊的示意圖;

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的對(duì)本反相器中pmos2管的漏進(jìn)行粒子轟擊的示意圖;

圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),對(duì)pmos的漏進(jìn)行粒子轟擊下變化對(duì)比示意圖;

圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的pmos晶體管水平方向寄生的雙極型晶體管結(jié)構(gòu)示意圖;

圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的漏斗效應(yīng)示意圖;

圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),在let為10時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),在let為20時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖10為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),在let為30時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖11為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),在let為40時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖12為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),在粒子轟擊角度為15時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖13為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),在粒子轟擊角度為30時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖14為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),在粒子轟擊角度為45時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖15為本發(fā)明實(shí)施例提供的面積等效時(shí),在粒子轟擊角度為60時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖16為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),對(duì)pmos的漏進(jìn)行粒子轟擊下變化對(duì)比示意圖;

圖17為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在let為10時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖18為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在let為20時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖19為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在let為30時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖20為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在let為40時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖21為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在粒子轟擊角度為15時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖22為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在粒子轟擊角度為30時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖23為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在粒子轟擊角度為45時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖;

圖24為本發(fā)明實(shí)施例提供的驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在粒子轟擊角度為60時(shí)轟擊的波形對(duì)比示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種抑制單粒子瞬態(tài)效應(yīng)的反相器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示,其主要包括:第一nmos管(圖1中的nmos1)、第二nmos管(圖1中的nmos2)、第一pmos管(圖1中的pmos1)以及第二pmos管(圖1中的pmos2);

第一nmos管與第一pmos管連接,第二nmos管與第二pmos管連接構(gòu)成前后兩級(jí)的反相器結(jié)構(gòu);其中,后一級(jí)反相器中的第二pmos的源極接前一級(jí)反相器的輸出,后一級(jí)的第二pmos2和第二nmos的輸入接vin,即前一級(jí)反相器的輸入。

具體結(jié)構(gòu)如下:第一pmos的管柵極與第一nmos管的柵極連接后接vin,第一pmos管的漏極與第一nmos的源極連接,第一pmos的管源極接vdd,第一nmos的管漏極接gnd,從而構(gòu)成前一級(jí)反相器;

第二pmos管柵極與第二nmos管柵極連接后接vin,第二pmos管漏極與第二nmos源極連接,第二nmos管漏極接gnd,從而構(gòu)成后一級(jí)反相器;且后一級(jí)反相器中第二pmos管的源極接前一級(jí)反相器的輸出。

本發(fā)明實(shí)施例提供的上述反相器(以下簡(jiǎn)稱“本反相器”)的前一級(jí)的反相器與現(xiàn)有技術(shù)二中反相器結(jié)構(gòu)一樣,不同點(diǎn)在于后一級(jí)pmos2的源極接前一級(jí)反相器的輸出,后一級(jí)的pmos2和nmos2的輸入接vin,即前一級(jí)反相器的輸入。當(dāng)vin為低電平時(shí),pmos1管和pmos2管都導(dǎo)通,對(duì)第二級(jí)輸出節(jié)點(diǎn)進(jìn)行充電,當(dāng)vin為高電平時(shí)只有nmos2管對(duì)輸出點(diǎn)進(jìn)行放電,可以得出特殊反相器的驅(qū)動(dòng)由pmos1管、pmos2管和nmos2管三個(gè)mos管組成。與現(xiàn)有技術(shù)二中反相器相比,利用驅(qū)動(dòng)等效的原理,特殊反相器中nmos管和pmos管都在最小尺寸基礎(chǔ)上放大兩倍。從面積等效的原理考慮,特殊反相器中nmos管尺寸和pmos管尺寸都為最小尺寸。

本反相器的工作原理如圖2所示,當(dāng)輸入vin為低電平時(shí),第一pmos管導(dǎo)通,第一nmos管截止,前一級(jí)反相器的輸出為高電平,第二pmos管導(dǎo)通,第二nmos管截止,后一級(jí)反相器的輸出為高電平,即最后輸出為高電平;當(dāng)輸入vin為高電平時(shí),第一pmos管截止,第一nmos管導(dǎo)通,前一級(jí)反相器的輸出為低電平,第二pmos管截止,第二nmos管導(dǎo)通,后一級(jí)反相器的輸出為低電平,即最后輸出為低電平。

為了證明本反相器的優(yōu)越性,下面從從面積等效和驅(qū)動(dòng)等效的情況下,對(duì)本反相器與現(xiàn)有技術(shù)二中反相器進(jìn)行比較。在下述圖5、圖8~圖24中,波形曲線a對(duì)應(yīng)本反相器,波形曲線b對(duì)應(yīng)現(xiàn)有技術(shù)二中反相器。

相比于nmos管而言,pmos管的漏極區(qū)域較為敏感,極易受到外界因素的干擾,自身存在寄生雙極放大效應(yīng),源極注入的電荷最終被漏極收集,最終導(dǎo)致set脈沖寬度相對(duì)于nmos器件的set脈沖寬度要更寬,所以選擇對(duì)pmos管的漏極區(qū)域進(jìn)行轟擊。

一、面積等效的情況下,對(duì)pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊。

1、分別對(duì)現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管和本反相器中的pmos2管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,設(shè)置的let能量為10mev-cm2/mg,入射角度為垂直入射,粒子轟擊示意圖分別如圖3,圖4所示,兩者產(chǎn)生的set波形對(duì)比如圖5所示。

由圖5可見(jiàn),在面積等效的前提下,與現(xiàn)有技術(shù)二中反相器相比,本反相器在粒子轟擊下出現(xiàn)set脈沖電壓的幅度急劇下降,維持在0.3v左右,翻轉(zhuǎn)可能性很小,使的特殊的反相器的抗輻照能力得到大幅度提高。

從理論上分析,在受到外界因素干擾時(shí),反相器電路產(chǎn)生單粒子瞬態(tài)的效應(yīng),電荷的收集主要來(lái)源于漂移,擴(kuò)散,雙極放大效應(yīng)。對(duì)于nmos管而言電荷的收集主要是擴(kuò)散,而pmos管主要受漂移和雙極放大效應(yīng)影響。

反相器抗輻照的能力得到提高,是因?yàn)楸痉聪嗥鞯慕Y(jié)構(gòu)很好的抑制了雙極放大效應(yīng),使得漏極電荷的收集主要來(lái)源于漂移作用。因?yàn)閷?duì)于體硅cmos工藝而言,pmos和nmos晶體管的源一阱一漏區(qū)存在一個(gè)寄生的雙極型晶體管(bjt),如圖6所示。當(dāng)受到粒子轟擊時(shí),n阱中電子的收集導(dǎo)致了n阱電勢(shì)的降低(變得更負(fù)),阱電勢(shì)的坍塌及阱中存在的過(guò)剩載流子將會(huì)開(kāi)啟寄生bjt,使得漏極作為集電極,n阱作為基極,源作為發(fā)射極,從源極注入的電荷會(huì)被漏極收集,從而導(dǎo)致了電路節(jié)點(diǎn)處收集電荷量的增多。在本反相器中,當(dāng)輸入為高電平時(shí),pmos1管和pmos2管都處于截止?fàn)顟B(tài),nmos1管和nmos2管都導(dǎo)通狀態(tài),粒子轟擊特殊反相器的pmos2管的漏極,產(chǎn)生set脈沖波形,幅度和寬度很大程度的減少,是由于a點(diǎn)處于低電平狀態(tài),即圖中源極接低電平,這很大程度上降低了雙極放大效應(yīng)使漏極收集的電荷數(shù)量急劇減少,源極無(wú)法進(jìn)行大量電荷的注入。

在硅基場(chǎng)效應(yīng)晶體管當(dāng)中,因?yàn)閜mos2管處于關(guān)斷狀態(tài),pmos2管的漏極是處于反偏狀態(tài),漏區(qū)與體硅之間的空間電荷區(qū)當(dāng)中存在很強(qiáng)的電場(chǎng),是電荷收集的敏感區(qū)域。如圖7所示。當(dāng)入射粒子撞擊半導(dǎo)體器件之后,會(huì)使其軌跡上的半導(dǎo)體材料發(fā)生電離效應(yīng),所電離出來(lái)的高濃度電荷區(qū)可以近似看作是導(dǎo)體,因此,漏體之間空間電荷區(qū)的電場(chǎng)即可順著入射粒子的軌跡向下延伸數(shù)um,這一現(xiàn)象稱為漏斗效應(yīng),正因?yàn)槁┒沸?yīng)的存在使得電荷收集的區(qū)域向下延伸了數(shù)um,處于漏斗區(qū),由電離效應(yīng)產(chǎn)生的電荷將會(huì)通過(guò)漂移作用被電極收集,大大增加了敏感結(jié)點(diǎn)的電荷收集量,最后導(dǎo)致漏極吸收了大量電荷。

綜上所述,在受到粒子轟擊時(shí),特殊反相器的結(jié)構(gòu)很好的抑制了雙極放大效應(yīng),漏極電荷的收集主要是漂移作用,所以特殊反相器很大程度上提高了反相器的抗輻照能力。

另外,因?yàn)樵谑艿酵饨绲囊蛩馗蓴_時(shí),粒子轟擊的變化很多,為了更全面的分析特殊反相器和技術(shù)二中反相器的抗輻照能力,采用了不同的粒子轟擊能量(let)和不同的粒子轟擊角度來(lái)對(duì)比兩種反相器在發(fā)生單粒子瞬態(tài)效應(yīng)時(shí)set脈沖波形的的變化。

1、不同let下對(duì)pmos管漏極進(jìn)行粒子轟擊。

a、在let為10時(shí),分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖8所示。

b、在let為20時(shí),分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖9所示。

c、在let為30時(shí),分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖10所示。

d、在let為40時(shí),分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖11所示。

2、不同角度下對(duì)pmos管漏極進(jìn)行粒子轟擊。

a、在粒子轟擊角度為15情況下,分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖12所示。

b、在粒子轟擊角度為30情況下,分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖13所示。

c、在粒子轟擊角度為45情況下,分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖14所示。

d、在粒子轟擊角度為60情況下,分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖15所示。

面積等效時(shí),在不同的let能量值和不同的角度的情況下分別對(duì)本反相器中的pmos2管和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,可以看出本反相器產(chǎn)生的set波形跟現(xiàn)有3技術(shù)二中反相器產(chǎn)生的set波形相比,本反相器產(chǎn)生的set脈沖波形幅度都有很大程度的改善。隨著粒子轟擊的let能量不斷增加,本反相器產(chǎn)生的set波形的電壓值處于低壓狀態(tài),值約為0.3v,幾乎不會(huì)造成翻轉(zhuǎn)。隨著粒子轟擊的角度不斷的變大,本反相器產(chǎn)生的set波形的電壓值從0.3v不斷地降低到0v,相當(dāng)于對(duì)電路本身沒(méi)有任何干擾,可以說(shuō)明本反相器對(duì)角度轟擊有很好的抑制作用。更進(jìn)一步的證明了本反相器結(jié)構(gòu)的優(yōu)越性。

二、驅(qū)動(dòng)等效的情況下,對(duì)pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊。

1、與面積等效一樣,分別對(duì)現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管和本反相器中的pmos2管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,設(shè)置的let能量為20mev-cm2/mg,入射角度為垂直入射,兩者產(chǎn)生的set波形對(duì)比如圖16所示。

由圖16可見(jiàn),在驅(qū)動(dòng)等效的情況下,與現(xiàn)有技術(shù)二中反相器相比,本反相器在粒子轟擊下出現(xiàn)set脈沖電壓的值整體下降了一半多,幾乎維持在0.5v左右,高于0.5v的部分可看做毛刺,總體而言在驅(qū)動(dòng)等效的前提下特殊反相器的抗輻照能力得到了進(jìn)一步的改善。同面積等效一樣,為了更全面的分析本反相器和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的抗輻照能力,我們?cè)O(shè)置在不同能量和不同角度的情況下比較本反相器和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器產(chǎn)生的set波形。造成這一現(xiàn)象的原因和面積等效的情況下一樣,本反相器很好的抑制了雙極放大效應(yīng),所以在粒子轟擊時(shí),電荷的收集主要來(lái)源于漂移。為了更好的分析,也進(jìn)行了在不同let和不同角度下對(duì)反相器抗輻照性能的研究。

1、不同let下對(duì)pmos管漏極進(jìn)行粒子轟擊

a、在let為10時(shí),分別對(duì)特殊反相器中的pmos2和技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖17

b、在let為20時(shí),分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖18所示。

c、在let為30時(shí),分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖19所示。

d、在let為40時(shí),分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖20所示。

2、不同角度下對(duì)pmos管漏極進(jìn)行粒子轟擊

a、在粒子轟擊角度為15情況下,分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖21所示。

b、在粒子轟擊角度為30情況下,分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖22所示。

c、在粒子轟擊角度為45情況下,分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖23所示。

d、在粒子轟擊角度為60情況下,分別對(duì)本反相器中的pmos2和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,所得的波形如圖24所示。

驅(qū)動(dòng)等效時(shí),在不同的let能量值和不同的角度的情況下分別對(duì)本反相器中的pmos2管和現(xiàn)有技術(shù)二中反相器的pmos管的漏極進(jìn)行粒子轟擊,可以看出本反相器產(chǎn)生的set波形跟現(xiàn)有技術(shù)二中反相器產(chǎn)生的set波形相比,本反相器產(chǎn)生的set脈沖波形值下降了一半多。隨著粒子轟擊的let能量不斷增加,本反相器產(chǎn)生的set波形的寬度逐漸變寬,set波形電壓值處于0.5v左右,高于0.5v的地方相當(dāng)于毛刺,總體來(lái)說(shuō)驅(qū)動(dòng)等效時(shí),特殊反相器的抗輻照能力得到了很大提高。隨著粒子轟擊的角度不斷的變大,特殊反相器產(chǎn)生的set波形的電壓值從0.3v不斷地降低到0v,相當(dāng)于對(duì)電路本身沒(méi)有任何干擾,可以說(shuō)明特殊反相器對(duì)角度轟擊有很好的抑制作用。更進(jìn)一步的證明了特殊反相器結(jié)構(gòu)的優(yōu)越性。

以上所述,僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式,但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi),可輕易想到的變化或替換,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此,本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。

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