專利名稱：半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手。
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體清洗設(shè)備的化學(xué)槽中有很多有害氣體，還有具有腐蝕的清洗液，如果用人工清洗的話，一方面可能會造成對操作人員身體的侵害，另一方面手動上下提籃振動一段時間后，其結(jié)果是手臂酸痛，操作人員產(chǎn)生疲勞，經(jīng)常不能保證工藝時間，而且手工提籃振動幅度有大有小，無法精確控制，會導(dǎo)致產(chǎn)品清洗質(zhì)量不過關(guān)，市場上也有投入使用的 機械手，但是自動化程度不高，經(jīng)常需要人工干預(yù)調(diào)整，材料不耐腐蝕，壽命短，運行不可靠，清洗效果不佳。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種自動化程度高，滿足清洗工藝，保證清洗質(zhì)量以及能夠降低勞動強度的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手。實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手，它包括殼體、旋轉(zhuǎn)軸、機械手固定板、安裝在殼體上的擺動動力裝置、使殼體做升降運動的升降動力裝置和使殼體做上下振動的振動動力裝置以及控制擺動動力裝置、升降動力裝置和振動動力裝置的控制單元，旋轉(zhuǎn)軸為表面包有一層PFA材料的熱縮管，旋轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地支承在殼體上，旋轉(zhuǎn)軸的下端安裝有掛架，殼體通過導(dǎo)軌副可滑動地連接在機械手固定板上，升降動力裝置安裝在機械手固定板上，擺動動力裝置通過傳動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。進一步,所述的擺動動力裝置為擺動氣缸,所述的傳動裝置包括套裝在擺動氣缸輸出軸上的第一同步輪和套裝在旋轉(zhuǎn)軸上的第二同步輪，第一同步輪和第二同步輪通過同步帶連接。進一步，所述的升降動力裝置為升降氣缸，升降氣缸上具有第一活塞桿，第一活塞桿與振動動力裝置固定連接。進一步，所述的振動動力裝置為振動氣缸，振動氣缸上具有第二活塞桿，第二活塞桿與所述的殼體固定連接。更進一步，所述的導(dǎo)軌副包括導(dǎo)軌和在導(dǎo)軌上滑動配合的滑塊，所述的導(dǎo)軌固定在機械手固定板上，所述的滑塊固定連接在殼體上。采用了上述技術(shù)方案后，將花籃掛在掛架上，機械手的初始位置在水槽上方，然后控制單元控制擺動動力裝置使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)180°到化學(xué)槽的上方，且旋轉(zhuǎn)軸表面包有一層PFA材料的熱縮管，避免了化學(xué)氣體對旋轉(zhuǎn)軸的腐蝕，然后控制升降動力裝置使掛架下降到化學(xué)槽內(nèi)，然后控制振動動力裝置，使得殼體做上下振動，即開始清洗工作，清洗完畢后，提升到初始位置，最后取出花籃，復(fù)位即可，本實用新型自動化程度高，且耐腐蝕，僅需要人工上下料，其它的讓機械手代替工人做清洗工作，各個動力裝置都可以通過控制單元進行控制，做到精確的控制工藝時間及保證振動幅度大小一致，故保證了產(chǎn)品的清洗質(zhì)量，提高了生產(chǎn)效率，滿足批量化生產(chǎn)，而且減輕了化學(xué)品對人體的傷害，降低了勞動強度。

圖I為本實用新型的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手的結(jié)構(gòu)立體圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細(xì)的說明，如圖I所示，一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手，它包括殼體I、旋轉(zhuǎn)軸2、機械手固定板3、安裝在殼體I上的擺動動力裝置、使殼體I做升降運動的升降動力裝置和使殼體I做上下振動的振動動力裝置以及控制擺動動力裝置、升降動力裝置和振動動力裝置的控制單元，旋轉(zhuǎn)軸2為表面包有一層PFA材料的熱縮管,旋轉(zhuǎn)軸2可旋轉(zhuǎn)地支承在殼體I上,旋轉(zhuǎn)軸2的下端安裝有掛架4，殼體I通過導(dǎo)軌副可滑動地連接在機械手固定板3上，升降動 力裝置安裝在機械手固定板3上，擺動動力裝置通過傳動裝置驅(qū)動包有PFA氟材料的旋轉(zhuǎn)軸2旋轉(zhuǎn)。擺動動力裝置為擺動氣缸5，傳動裝置包括套裝在擺動氣缸5輸出軸上的第一同步輪6和套裝在旋轉(zhuǎn)軸2上的第二同步輪7，第一同步輪6和第二同步輪7通過同步帶9連接。升降動力裝置為升降氣缸8，升降氣缸8上具有第一活塞桿，第一活塞桿與振動動力裝置固定連接。振動動力裝置為振動氣缸10，振動氣缸10上具有第二活塞桿，第二活塞桿與所述的殼體I固定連接。導(dǎo)軌副包括導(dǎo)軌11和在導(dǎo)軌11上滑動配合的滑塊12，所述的導(dǎo)軌11固定在機械手固定板3上，所述的滑塊12固定連接在殼體I上。PFA指的是可溶性聚四氟乙烯本實用新型的工作原理如下將花籃掛在掛架4上，機械手的初始位置在水槽上方，然后控制單元控制擺動動力裝置使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)180°到化學(xué)槽的上方，由于旋轉(zhuǎn)軸2為表面包有一層PFA材料的熱縮管，避免了化學(xué)氣體對旋轉(zhuǎn)軸的腐蝕，然后控制升降動力裝置使掛架4下降到化學(xué)槽內(nèi)，然后控制振動動力裝置，使得殼體I做上下振動，即開始清洗工作，清洗完畢后，提升到初始位置，最后取出花籃，復(fù)位即可，本實用新型自動化程度高，且耐腐蝕，僅需要人工上下料，其它的讓機械手代替工人做清洗工作，各個動力裝置都可以通過控制單元進行控制，做到精確的控制工藝時間及保證振動幅度大小一致，故保證了產(chǎn)品的清洗質(zhì)量，提高了生產(chǎn)效率，滿足批量化生產(chǎn)，而且減輕了化學(xué)品對人體的傷害，降低了勞動強度。以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手，其特征在于它包括殼體(I)、旋轉(zhuǎn)軸(2)、機械手固定板(3)、安裝在殼體(I)上的擺動動力裝置、使殼體(I)做升降運動的升降動力裝置和使殼體(I)做上下振動的振動動力裝置以及控制擺動動力裝置、升降動力裝置和振動動力裝置的控制單元，旋轉(zhuǎn)軸(2)為表面包有一層PFA材料的熱縮管，旋轉(zhuǎn)軸(2)可旋轉(zhuǎn)地支承在殼體(I)上，旋轉(zhuǎn)軸(2)的下端安裝有掛架(4)，殼體(I)通過導(dǎo)軌副可滑動地連接在機械手固定板(3)上，升降動力裝置安裝在機械手固定板(3)上，擺動動力裝置通過傳動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸(2)旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手，其特征在于所述的擺動動力裝置為擺動氣缸(5)，所述的傳動裝置包括套裝在擺動氣缸(5)輸出軸上的第一同步輪(6)和套裝在旋轉(zhuǎn)軸(2)上的第二同步輪(7)，第一同步輪(6)和第二同步輪(7)通過同步帶(9)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手，其特征在于所述的升降動力裝置為升降氣缸(8)，升降氣缸(8)上具有第一活塞桿，第一活塞桿與振動動力裝置固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手，其特征在于所述的振動動力裝置為振動氣缸(10)，振動氣缸(10)上具有第二活塞桿，第二活塞桿與所述的殼體(I)固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手，其特征在于所述的導(dǎo)軌副包括導(dǎo)軌(11)和在導(dǎo)軌(11)上滑動配合的滑塊(12)，所述的導(dǎo)軌(11)固定在機械手固定板(3 )上，所述的滑塊(12 )固定連接在殼體(I)上。
專利摘要本實用新型公開了一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機械手，它包括殼體、旋轉(zhuǎn)軸、機械手固定板、安裝在殼體上的擺動動力裝置、使殼體做升降運動的升降動力裝置和使殼體做上下振動的振動動力裝置以及控制擺動動力裝置、升降動力裝置和振動動力裝置的控制單元，旋轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地支承在殼體上，旋轉(zhuǎn)軸的下端安裝有掛架，殼體通過導(dǎo)軌副可滑動地連接在機械手固定板上，升降動力裝置安裝在機械手固定板上，擺動動力裝置通過傳動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。本實用新型自動化程度高，能夠降低勞動強度，減輕化學(xué)品對人體的傷害，提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品質(zhì)量，滿足批量化生產(chǎn)。
文檔編號B08B13/00GK202638831SQ20122021970
公開日2013年1月2日 申請日期2012年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月16日
發(fā)明者金金明 申請人:硅密(常州)電子設(shè)備有限公司