專利名稱：單晶硅切方機構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種切割單晶硅的機床，特別涉及一種切割單晶硅的切方機構。
現有技術拉制后的單晶硅棒根據使用要求需要進行切割，傳統的切割方法采用繩鋸或帶鋸。北京市海淀區(qū)學清路16號學知園一號樓1608室苗正華設計的《金剛石繩鋸》(專利號CN98218513.8)，該實用新型金剛石繩鋸，由機架、工作臺、動力裝置、繩鋸輪、繩鋸條和供冷卻液裝置構成。其特征在于其繩鋸條之外圓周面為金剛石材料附著；該實用新型金剛石繩鋸結構簡單，造價低廉，可方便地對硬脆工件進行各個方向的曲線切割，如玻璃、石材、陶瓷和單晶硅等，但不適合單晶硅棒料的切方加工。北京紫玉電子產品廠和北京欣福盛經貿有限公司研制的《金剛石帶鋸》(專利號CN98208113.8)，該實用新型金剛石帶鋸，由機架、工作臺、動力裝置和供冷卻液裝置、帶鋸輪、帶鋸條構成；其特征在于其帶鋸條之刃口為金剛石材料的方形、長方形、半圓形、梯形和三角形齒，實踐證實，該實用新型金剛石帶鋸結構簡單，造價低廉，可方便的加工大于3～5mm厚度的硬脆工件，如玻璃、石料、單晶硅等，該實用新型同樣不能進行單晶硅棒料的切方加工。
發(fā)明的目的本發(fā)明的目的是提供一種能夠對單晶硅棒料進行切方加工的單晶硅切方機構。
技術方案本發(fā)明的目的是這樣實現的，本發(fā)明在床身上固聯一支架，支架上固聯有直線導軌，直線導軌上設置有工作臺，工作臺的上端內側設置有工作臺驅動裝置，工作臺驅動裝置可以驅動工作臺沿導軌上下運動；工作臺上端外側設置有兩臺電機，電機通過皮帶帶動安裝在工作臺上動力頭的主軸轉動；主軸的前端設置有鋸片夾頭，鋸片夾頭上分別夾持有鋸片，兩鋸片間的中心線與單晶硅中心線重合；單晶硅夾持在單晶硅夾具上；單晶硅夾具沿鋸片間中心線安裝在單晶硅夾具體上，單晶硅夾具體安裝在床身上，單晶硅夾具體可沿鋸片中心線運動。轉動鋸片，同時，單晶硅夾具帶動單晶硅棒料沿中心線運動，從而切割單晶硅棒料，切割后的單晶硅成對稱矩形。鋸片為盤鋸片，鋸片的齒間設置有合金粉末。動力頭為機械動力頭。
有益效果由于切方鋸片的上下垂直運動和旋轉運動，保證了切方精度，同時能切割單晶硅棒料。


附圖1是本實用新型的結構示意圖；附圖2是附圖1的右視圖。
附圖中1是工作臺驅動裝置，2是直線導軌，3是電機，4是皮帶，5是動力頭，6是支架，7是鋸片，8是鋸片夾頭，9是工作臺，10是晶硅棒料，11是單晶硅夾具，12是單晶硅夾具體，13是床身。
實施例本實施例床身(13)上固聯一支架(6)，支架上固聯有直線導軌(2)，直線導軌(2)上設置有工作臺(9)，工作臺(9)的上端內側設置有工作臺驅動裝置(1)，工作臺驅動裝置(1)可以驅動工作臺(9)沿導軌(2)上下運動；工作臺(9)上端外側設置有兩臺電機(3)，電機(3)通過皮帶(4)帶動安裝在工作臺上動力頭(5)的主軸轉動；動力頭(5)主軸的前端設置有鋸片夾頭(8)，鋸片夾頭(8)上分別夾持有鋸片(7)，兩鋸片(7)間的中心線與單晶硅棒料(10)中心線重合；單晶硅棒料(10)夾持在單晶硅夾具(11)上；單晶硅夾具(11)沿鋸片(7)間中心線安裝在單晶硅夾具體(12)上，單晶硅夾具體(12)安裝在床身(13)上，單晶硅夾具體(12)可沿鋸片(7)中心線運動。轉動鋸片(7)，同時，單晶硅夾具(11)帶動單晶硅棒料(10)沿中心線運動，從而切割單晶硅棒料(10)，切割后的單晶硅成對稱矩形。鋸片(7)為盤鋸片(7)，鋸片(7)的齒間設置有硬質合金粉末。動力頭(5)為機械動力頭(5)。本發(fā)明結構簡單，是當前是理想的單晶硅切方機構之一。
權利要求
1.一種單晶硅切方機構由床身等組成，其特征在于床身上固聯一支架，支架上固聯有直線導軌，直線導軌上設置有工作臺，工作臺的上端內側設置有工作臺驅動裝置，工作臺驅動裝置可以驅動工作臺沿導軌上下運動；工作臺上端外側設置有兩臺電機，電機通過皮帶帶動安裝在工作臺上動力頭的主軸轉動；主軸的前端設置有鋸片夾頭，鋸片夾頭上分別夾持有鋸片，兩鋸片間的中心線與單晶硅夾具中心線重合；單晶硅夾持在單晶硅夾具上；單晶硅夾具沿鋸片間中心線安裝在單晶硅夾具體上，單晶硅夾具體安裝在床身上，單晶硅夾具體可沿鋸片中心線運動。
2.根據權利要求1所述的單晶硅切方機構，其特征在于鋸片為盤鋸片。
3.根據權利要求1和2所述的單晶硅切方機構，其特征在于鋸片的齒間設置有合金粉末。
4.根據權利要求1所述的單晶硅切方機構，其特征在于動力頭為機械動力頭。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種單晶硅切方機構，機構的床身上固聯一支架，支架上固聯有直線導軌，直線導軌上設置有工作臺，工作臺的上端內側設置有工作臺驅動裝置，工作臺驅動裝置可以驅動工作臺沿導軌上下運動；工作臺上端外側設置有兩臺電機，電機通過皮帶帶動安裝在工作臺上動力頭的主軸轉動；主軸的前端設置有鋸片夾頭，鋸片夾頭上分別夾持有鋸片，兩鋸片間的中心線與單晶硅中心線重合；單晶硅夾持在單晶硅夾具上；單晶硅夾具沿鋸片間中心線安裝在單晶硅夾具體上，單晶硅夾具體安裝在床身上，單晶硅夾具體可沿鋸片中心線運動。轉動鋸片，同時，單晶硅夾具帶動單晶硅棒料沿中心線運動，從而切割單晶硅棒料，切割后的單晶硅成對稱矩形。鋸片為盤鋸片，鋸片的齒間設置有合金粉末。動力頭為機械動力頭。本發(fā)明結構簡單，是當前是理想的單晶硅切方機構之一。
文檔編號B28D1/00GK1951658SQ20051009490
公開日2007年4月25日 申請日期2005年10月20日 優(yōu)先權日2005年10月20日
發(fā)明者馮金生, 蔡平 申請人:馮金生