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一種碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法與流程

文檔序號:12628091閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,該碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法包括以下步驟:

步驟1、將石蠟填充到碳化硅方鏡素坯的減重腔的中空部分;

步驟2、使用數(shù)控加工中心進行凹槽的加工;

步驟3、對加工后的碳化硅方鏡素坯進行烘烤,直至石蠟全部脫除。

2.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟1中,填充用石蠟由復合石蠟與松香按質(zhì)量比10:1-5:1配置而成,填充體積大于所述減重腔體積的一半。

3.根據(jù)權利要求2所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述復合石蠟的原料為每1kg精煉石蠟加入:棕櫚酸10g-20g、硬脂酸60g-80g、花生酸10g-20g、聚丙烯2g-5g、聚乙烯8g-15g、蜂蠟30g-60g;

所述精煉石蠟為58#精煉石蠟、60#精煉石蠟按任意質(zhì)量比混合。

4.根據(jù)權利要求3所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述復合石蠟的原料為每1kg精煉石蠟加入:棕櫚酸16.6g、硬脂酸62.5g、花生酸14.9g、聚丙烯3.3g、聚乙烯9.2g、蜂蠟49.5g;

所述精煉石蠟為58#精煉石蠟、60#精煉石蠟按質(zhì)量比1:3混合。

5.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟2中,所述數(shù)控加工中心使用Φ10-Φ12mm的聚晶金剛石銑刀,且采用螺旋方式進刀。

6.根據(jù)權利要求5所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟2中,初始的進給量為1200mm/min,進刀量為0.1mm,進給量及進刀量隨著加工的進行逐漸減小,且均與凹槽底部的厚度成正比,最終進給量減小至600mm/min,進刀量減小至0.05mm。

7.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟3中,烘烤的溫度為100-120℃,石蠟脫除過程中溫度需緩慢升高至烘烤溫度,且升溫速率應保持3-5℃/min。

8.根據(jù)權利要求7所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟3中,回收脫除的石蠟,并重復利用。

9.使用權利要求1至8任一所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法加工成形的碳化硅方鏡,其特征在于,該碳化硅方鏡底部具有復雜的減重結(jié)構,正面設有凹槽,凹槽直徑大于Φ378mm,深度大于5mm,底部厚度小于等于6mm,底部距離減重腔上表面中空距離大于60mm,要求加工精度±0.2mm。

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