本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，具體說是新型金剛線截斷機雙槽切割輪。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體行業(yè)的金剛線截斷機主要用于半導(dǎo)體材料的去頭片和取樣片的工作，目前主要使用的是單槽切割輪，在兩個單槽切割輪的單槽上安裝一根金剛線，單槽切割輪向下帶動金剛線切割半導(dǎo)體材料，用于單次切割取單片，由于晶體形狀不規(guī)則，頭片ttv偏差較大，經(jīng)常作為廢片處理，繼續(xù)切割取得樣片可以作為產(chǎn)品采樣使用，樣片的ttv要求≤30um，目前的單槽切割輪需要兩次切割才能實現(xiàn)樣片采集，需要花費雙倍的時間。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型為了解決相關(guān)技術(shù)中的問題，提供了新型金剛線截斷機雙槽切割輪，該裝置解決了兩次切割才能實現(xiàn)樣片采集的問題。

2、為解決上述問題，提供以下技術(shù)方案：

3、本實用新型的新型金剛線截斷機雙槽切割輪包括切割輪，所述切割輪含有內(nèi)輪和外輪，所述內(nèi)輪與所述外輪呈固定連接，外輪臨近外緣的位置上開設(shè)有兩個線槽，所述線槽上表面積大于線槽下表面積，線槽剖面呈倒等腰三角形布置。

4、上述方案中通過在兩個切割輪上的兩個線槽內(nèi)分別安裝有兩根金剛線，切割輪帶動金剛線切割取片，實現(xiàn)一次切割獲得去頭片和取樣片的雙功能，節(jié)省時間，提升效率，從而解決了兩次切割才能實現(xiàn)樣片采集的問題。

5、所述內(nèi)輪外側(cè)設(shè)置有凸臺，所述外輪由兩個半圓環(huán)組成，半圓環(huán)內(nèi)側(cè)均設(shè)置有與凸臺相適配的凹槽。

6、上述方案中通過凸臺和凸齒相適配，使用時外輪易磨損，便于更換外輪。

7、所述線槽跳動精度在0.02mm以內(nèi)，線槽的槽底和槽頂同軸度在0.03mm以內(nèi)。

8、上述方案中通過對精度的嚴(yán)格要求，實現(xiàn)切割樣片參數(shù)滿足ttv≤30um的要求。

9、所述內(nèi)輪與外輪的外表面上設(shè)置有聚氨酯涂覆層，聚氨酯涂覆層硬度為ha95-99。

10、上述方案中采用聚氨酯涂覆層，聚氨酯涂覆層為金剛線專用材料，提高切割輪的耐磨性。

11、采用以上方案，具體有以下優(yōu)點：

12、1、由于本實用新型的新型金剛線截斷機雙槽切割輪包括切割輪，切割輪含有內(nèi)輪和外輪，內(nèi)輪與外輪呈固定連接，外輪臨近外緣的位置上開設(shè)有兩個線槽，線槽上表面積大于線槽下表面積，線槽剖面呈倒等腰三角形布置，通過在兩個切割輪上的兩個線槽內(nèi)分別安裝有兩個金剛線，切割輪帶動金剛線切割取片，實現(xiàn)一次切割獲得去頭片和取樣片的雙功能，減少二次切割采樣的時間，提升設(shè)備效率。

13、2、內(nèi)輪外側(cè)設(shè)置有凸臺，外輪由兩個半圓環(huán)組成，半圓環(huán)內(nèi)側(cè)均設(shè)置有與凸臺相適配的凹槽，使用時外輪易磨損，便于更換外輪，通過對精度的嚴(yán)格要求，實現(xiàn)切割樣片參數(shù)滿足ttv≤30um的要求，內(nèi)輪與外輪的外表面上設(shè)置有聚氨酯涂覆層，聚氨酯涂覆層硬度為ha95-99，聚氨酯涂覆層為金剛線專用材料，提高切割輪的耐磨性。

技術(shù)特征：

1.新型金剛線截斷機雙槽切割輪，其特征在于，包括切割輪，所述切割輪含有內(nèi)輪(1)和外輪(2)，所述內(nèi)輪(1)與所述外輪(2)呈固定連接，外輪(2)臨近外緣的位置上開設(shè)有兩個線槽(3)，所述線槽(3)上表面積大于線槽(3)下表面積，線槽(3)剖面呈倒等腰三角形布置。

2.如權(quán)利要求1所述的新型金剛線截斷機雙槽切割輪，其特征在于，所述內(nèi)輪(1)外側(cè)設(shè)置有凸臺(4)，所述外輪(2)由兩個半圓環(huán)組成，半圓環(huán)內(nèi)側(cè)均設(shè)置有與凸臺(4)相適配的凹槽(5)。

3.如權(quán)利要求1所述的新型金剛線截斷機雙槽切割輪，其特征在于，所述線槽(3)跳動精度在0.02mm以內(nèi)，線槽(3)的槽底(6)和槽頂(7)同軸度在0.03mm以內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的新型金剛線截斷機雙槽切割輪，其特征在于，所述內(nèi)輪(1)與外輪(2)的外表面上設(shè)置有聚氨酯涂覆層。

5.如權(quán)利要求4所述的新型金剛線截斷機雙槽切割輪，其特征在于，所述聚氨酯涂覆層硬度為ha95-99。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體說是新型金剛線截斷機雙槽切割輪。它包括切割輪，切割輪含有內(nèi)輪和外輪，內(nèi)輪與外輪呈固定連接，外輪臨近外緣的位置上開設(shè)有兩個線槽，線槽上表面積大于線槽下表面積，線槽剖面呈倒等腰三角形布置，內(nèi)輪外側(cè)設(shè)置有凸臺，外輪由兩個半圓環(huán)組成，半圓環(huán)內(nèi)側(cè)均設(shè)置有與凸臺相適配的凹槽。該裝置解決了兩次切割才能實現(xiàn)樣片采集的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：劉毅,于盛輝,臧凱,張昱,王郡,王維樞
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫連強智能裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240426
技術(shù)公布日：2025/5/15