專利名稱：機(jī)械手末端執(zhí)行器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種機(jī)械手，特別是涉及一種機(jī)械手末端執(zhí)行器。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的機(jī)械手末端執(zhí)行器主要是托盤式的和卡爪式。托盤式依靠單向的接觸單元和第三側(cè)的單向接觸單元托著晶圓，并且需要使用傳感器來確定晶圓的圓心是否對(duì)準(zhǔn)，其缺點(diǎn)是:使用傳感器成本提高、使用傳感器占用空間、安裝過程復(fù)雜、定位時(shí)間長(zhǎng)、當(dāng)有意外碰撞時(shí)晶圓有可能會(huì)飛出來?yè)p壞；若不使用傳感器，僅依靠接單向的觸單元和第三側(cè)的單向接觸單元托著夾緊晶圓，就無法保證晶圓定位的準(zhǔn)確性，有發(fā)生損壞晶圓的可能性?？ㄗκ绞峭ㄟ^固定的凹槽夾緊晶圓，其缺點(diǎn)是:凹槽是固定的，需要通過傳感器確定晶圓圓心是否對(duì)準(zhǔn)，占用空間，安裝復(fù)雜，定位時(shí)間長(zhǎng)；若將末端執(zhí)行期翻轉(zhuǎn)180°，晶圓定位可能不準(zhǔn)，損壞晶圓，影響到作業(yè)的進(jìn)度及成本的控制。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種自動(dòng)調(diào)節(jié)定位的機(jī)械手末端執(zhí)行器。一種機(jī)械手末端執(zhí)行器，包括有手指及固定鉗口，固定鉗口固定在手指上，所述機(jī)械手末端執(zhí)行器還包括有連接塊、導(dǎo)向軸及隨動(dòng)導(dǎo)輪，連接塊滑動(dòng)安裝在手指上，導(dǎo)向軸固定在連接塊上，隨動(dòng)導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)固定在連接塊上，手指能夠相對(duì)導(dǎo)向軸的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)向軸與連接塊能夠相對(duì)手指沿導(dǎo)向軸的軸線移動(dòng)，隨動(dòng)導(dǎo)輪隨連接塊一起移動(dòng)，直至隨動(dòng)導(dǎo)輪與固定鉗口夾住晶圓片，隨動(dòng)導(dǎo)輪在夾住晶圓片的過程中能夠相對(duì)連接塊轉(zhuǎn)動(dòng)以對(duì)晶圓片的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。在一實(shí)施方式中，所述手指能夠繞導(dǎo)向軸的軸線作180°的轉(zhuǎn)動(dòng)。在一實(shí)施方式中，所述隨動(dòng)導(dǎo)輪通過一螺釘轉(zhuǎn)動(dòng)固定在所述連接塊上，所述螺釘與連接塊之間設(shè)有一個(gè)軸中間環(huán)。在一實(shí)施方式中，所述隨動(dòng)導(dǎo)輪與所述連接塊之間設(shè)有墊圈。在一實(shí)施方式中，所述固定鉗口開設(shè)有收容槽，所述隨動(dòng)導(dǎo)輪開設(shè)有凹槽，所述收容槽與凹槽用以?shī)A持晶圓片。在一實(shí)施方式中，所述收容槽的一橫截面呈弧形，所述凹槽的一橫截面呈弧形。在一實(shí)施方式中，所述手指開設(shè)有一個(gè)通孔，所述通孔的邊緣上設(shè)有刻度，所述連接塊安裝在所述通孔中，并能夠通過所述刻度確定其位置。在一實(shí)施方式中，所述連接塊包括有連接一起的一個(gè)安裝部及一個(gè)滑動(dòng)部，所述安裝部固定在所述導(dǎo)向軸上，所述滑動(dòng)部安裝在所述通孔中，所述隨動(dòng)導(dǎo)輪固定在所述滑動(dòng)部上。在一實(shí)施方式中，所述安裝部開設(shè)有安裝孔，所述導(dǎo)向軸通過一個(gè)螺釘穿入所述安裝孔中并鎖在導(dǎo)向軸上而固定在所述安裝部上。在一實(shí)施方式中，所述固定鉗口與隨動(dòng)導(dǎo)輪各有兩個(gè)，所述手指包括兩個(gè)指頭及一個(gè)連接兩個(gè)指頭的連接部，所述兩個(gè)固定鉗口分別位于兩個(gè)指頭的自由端，所述連接塊固定在所述連接部上，所述兩個(gè)指頭分別位于所述導(dǎo)向軸的軸線的兩側(cè)，所述兩個(gè)隨動(dòng)導(dǎo)輪也分別位于所述導(dǎo)向軸的軸線的兩側(cè)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，在上述機(jī)械手末端執(zhí)行器中，通過隨動(dòng)導(dǎo)輪與固定鉗口可以?shī)A住晶圓片，且通過連接塊的移動(dòng)、隨動(dòng)導(dǎo)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)可以很方便將晶圓片的自動(dòng)調(diào)節(jié)定位。


圖1是本發(fā)明機(jī)械手末端執(zhí)行器的一較佳實(shí)施方式的一立體圖。圖2是圖1中的機(jī)械手末端執(zhí)行器的一部分立體圖。圖3是圖1中的機(jī)械手末端執(zhí)行器的一部分剖視圖。圖4是圖1中的機(jī)械手末端執(zhí)行器的又一部分立體圖。主要元件符號(hào)說明
權(quán)利要求
1.一種機(jī)械手末端執(zhí)行器，包括有手指及固定鉗口，固定鉗口固定在手指上，其特征在于:所述機(jī)械手末端執(zhí)行器還包括有連接塊、導(dǎo)向軸及隨動(dòng)導(dǎo)輪，連接塊滑動(dòng)安裝在手指上，導(dǎo)向軸固定在連接塊上，隨動(dòng)導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)固定在連接塊上，手指能夠相對(duì)導(dǎo)向軸的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)向軸與連接塊能夠相對(duì)手指沿導(dǎo)向軸的軸線移動(dòng)，隨動(dòng)導(dǎo)輪隨連接塊一起移動(dòng)，直至隨動(dòng)導(dǎo)輪與固定鉗口夾住晶圓片，隨動(dòng)導(dǎo)輪在夾住晶圓片的過程中能夠轉(zhuǎn)動(dòng)以對(duì)晶圓片的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述手指能夠繞導(dǎo)向軸的軸線作180°的轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述隨動(dòng)導(dǎo)輪通過一螺釘轉(zhuǎn)動(dòng)固定在所述連接塊上，所述螺釘與連接塊之間設(shè)有一個(gè)軸中間環(huán)。
4.如權(quán)利要求3所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述隨動(dòng)導(dǎo)輪與所述連接塊之間設(shè)有墊圈。
5.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述固定鉗口開設(shè)有收容槽，所述隨動(dòng)導(dǎo)輪開設(shè)有凹槽，所述收容槽與凹槽用以?shī)A持晶圓片。
6.如權(quán)利要求5所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述收容槽的一橫截面呈弧形，所述凹槽的一橫截面呈弧形。
7.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述手指開設(shè)有一個(gè)通孔，所述通孔的邊緣上設(shè)有刻度，所述連接塊安裝在所述通孔中，并能夠通過所述刻度確定其位置。
8.如權(quán)利要求7所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述連接塊包括有連接一起的一個(gè)安裝部及一個(gè)滑動(dòng)部，所述安裝部固定在所述導(dǎo)向軸上，所述滑動(dòng)部安裝在所述通孔中，所述隨動(dòng)導(dǎo)輪固定在所述滑動(dòng)部上。
9.如權(quán)利要求8所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述安裝部開設(shè)有安裝孔，所述導(dǎo)向軸通過一個(gè)螺釘穿入所述安裝孔中并鎖在導(dǎo)向軸上而固定在所述安裝部上。
10.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手末端執(zhí)行器，其特征在于:所述固定鉗口與隨動(dòng)導(dǎo)輪各有兩個(gè)，所述手指包括兩個(gè)指頭及一個(gè)連接兩個(gè)指頭的連接部，所述兩個(gè)固定鉗口分別位于兩個(gè)指頭的自由端，所述連接塊固定在所述連接部上，所述兩個(gè)指頭分別位于所述導(dǎo)向軸的軸線的兩側(cè)，所述兩個(gè)隨動(dòng)導(dǎo)輪也分別位于所述導(dǎo)向軸的軸線的兩側(cè)。
全文摘要
一種機(jī)械手末端執(zhí)行器，包括有手指及固定鉗口，固定鉗口固定在手指上，所述機(jī)械手末端執(zhí)行器還包括有連接塊、導(dǎo)向軸及隨動(dòng)導(dǎo)輪，連接塊滑動(dòng)安裝在手指上，導(dǎo)向軸固定在連接塊上，隨動(dòng)導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)固定在連接塊上，手指能夠相對(duì)導(dǎo)向軸的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)向軸與連接塊能夠相對(duì)手指沿導(dǎo)向軸的軸線移動(dòng)，隨動(dòng)導(dǎo)輪隨連接塊一起移動(dòng)，直至隨動(dòng)導(dǎo)輪與固定鉗口夾住晶圓片，隨動(dòng)導(dǎo)輪在夾住晶圓片的過程中能夠相對(duì)連接塊轉(zhuǎn)動(dòng)以對(duì)晶圓片的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。
文檔編號(hào)B25J15/00GK103192401SQ20121000205
公開日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月5日
發(fā)明者管莉娜, 曲道奎, 徐方, 李學(xué)威, 王金濤, 溫燕修, 周道, 邊弘曄 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司