技術(shù)特征：

1.一種極紫外光刻用沖洗液組合物，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外光刻用沖洗液組合物，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的極紫外光刻用沖洗液組合物，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的極紫外光刻用沖洗液組合物，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的極紫外光刻用沖洗液組合物，其特征在于，

6.一種光致抗蝕劑圖案形成方法，其特征在于，包括如下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種極紫外光刻用沖洗液組合物及利用其的圖案形成方法。所述沖洗液組合物由0.0001至0.01重量％的氟類表面活性劑，0.0001至0.5重量％的作為化學(xué)式(1)的化合物、化學(xué)式(2)的化合物或它們的混合物的圖案增強(qiáng)劑，0.0001至0.5重量％的選自由三元醇衍生物、四元醇衍生物或它們的混合物所組成的組的物質(zhì)，及余量的水組成。

技術(shù)研發(fā)人員：李秀珍,金起洪,李昇勛,李昇炫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：YC化學(xué)制品株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15