一種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，通過在光刻機真空供應(yīng)管路分接真空壓力增強管路，當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)出現(xiàn)異?；蛐枰M行定期維護而停止時，即可通過真空壓力增強管路向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力，使光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部的壓力值符合設(shè)定的需求值，可增強光刻機真空供應(yīng)管路壓力的穩(wěn)定性，確保光刻機真空系統(tǒng)的壓力保持正常，從而實現(xiàn)了光刻機不停機，并節(jié)省了停機帶來的恢復(fù)作業(yè)時間。
【專利說明】
一種自動増強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種可自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻技術(shù)是指使用光刻設(shè)備，在光照作用下借助光致刻蝕劑(又名光刻膠)將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上的技術(shù)。目前，光刻技術(shù)已發(fā)展成為一種精密的微細加工技術(shù)，是所有半導(dǎo)體加工基本工藝中最關(guān)鍵的制程，光刻確定了器件的關(guān)鍵尺寸。因此，光刻過程中的錯誤可造成圖形歪曲或套準(zhǔn)不好，最終可轉(zhuǎn)化為對器件的電特性產(chǎn)生影響；圖形的錯位也會導(dǎo)致類似的不良結(jié)果。
[0003]為了保證光刻過程中的套準(zhǔn)精度，并減少機械摩擦產(chǎn)生的顆粒，真空吸附技術(shù)已被應(yīng)用于光刻機的相關(guān)系統(tǒng)中。其中，一些光刻機的工作臺已開始使用真空吸附來定位一些精密部件，這些精密部件在工作臺行走定位系統(tǒng)中起著舉足輕重的作用。
[0004]光刻機使用到的真空來源于廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)。通常，光刻機真空系統(tǒng)設(shè)置有真空分配箱，用于向光刻機上各個真空吸附使用點分配真空壓力，并通過光刻機真空供應(yīng)管路、動力真空供應(yīng)主管路連接廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)。如果動力真空供應(yīng)系統(tǒng)出現(xiàn)異?；蛐枰Ｖ惯M行維護，光刻機工作臺上面的精密部件將會因失去足夠的真空壓力而發(fā)生位置偏移。并且，在真空壓力恢復(fù)正常時，光刻機的真空系統(tǒng)還需要進行長時間的恢復(fù)作業(yè)。因此，假如多次發(fā)生真空壓力下降，將嚴(yán)重影響光刻機的正常運行。
[0005]此外，光刻機上設(shè)置的掩膜版和硅片的定位，也是使用真空來吸附的。如果在生產(chǎn)運行期間，其真空系統(tǒng)的壓力因不穩(wěn)定而突然下降，也可能引起掩膜版和硅片的位置發(fā)生偏移，從而引起廣品品質(zhì)事故。
[0006]因此，如何增強光刻機真空供應(yīng)管路壓力的穩(wěn)定性，確保光刻機真空系統(tǒng)的壓力保持正常，成為當(dāng)前的一個重要課題。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，以增強光刻機真空供應(yīng)管路壓力的穩(wěn)定性，確保光刻機真空系統(tǒng)的壓力保持正常。
[0008]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0009]—種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，所述光刻機真空系統(tǒng)包括真空分配箱，其通過光刻機真空供應(yīng)管路、動力真空供應(yīng)主管路連接廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)，所述裝置包括:
[0010]真空壓力增強管路，連接光刻機真空供應(yīng)管路；
[0011]真空提供單元，設(shè)于真空壓力增強管路，用于向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力；
[0012]真空壓力感測單元，設(shè)于光刻機真空供應(yīng)管路，用于實時監(jiān)控光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部的壓力值，并把數(shù)據(jù)傳輸給真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)；
[0013]真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)，連接真空壓力感測單元和真空提供單元，用于將接收的光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部壓力值數(shù)據(jù)與設(shè)定的需求值進行對比，并在該壓力值數(shù)據(jù)低于設(shè)定的需求值時，指令真空提供單元啟動，向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力，在該壓力值數(shù)據(jù)高于或等于設(shè)定的需求值時，指令真空提供單元停止，以使光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部的壓力值符合設(shè)定的需求值。
[0014]優(yōu)選地，在動力真空供應(yīng)主管路與真空壓力增強管路之間的所述光刻機真空供應(yīng)管路設(shè)有第一閥門，用于在廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)長時停止真空壓力供應(yīng)時關(guān)閉，此時，所述真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)指令真空提供單元啟動并保持，向光刻機真空供應(yīng)管路長時提供符合設(shè)定的需求值的真空壓力。
[0015]優(yōu)選地，所述第一閥門連接真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)，并受真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)控制打開或關(guān)閉。
[0016]優(yōu)選地，在真空提供單元與光刻機真空供應(yīng)管路之間的所述真空壓力增強管路設(shè)有第二閥門，其在真空提供單元啟動的同時打開，用于使真空壓力增強管路導(dǎo)通，并在真空提供單元停止的同時關(guān)閉，用于使真空壓力增強管路封閉。
[0017]優(yōu)選地，所述第二閥門連接真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)，并受真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)控制打開或關(guān)閉。
[0018]優(yōu)選地，所述第一閥門為電磁控制閥。
[0019]優(yōu)選地，所述第二閥門為電磁控制閥。
[0020]優(yōu)選地，所述真空提供單元為真空栗。
[0021]優(yōu)選地，所述真空壓力感測單元為真空壓力傳感器。
[0022]從上述技術(shù)方案可以看出，本實用新型通過在光刻機真空供應(yīng)管路分接真空壓力增強管路，當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)出現(xiàn)異?；蛐枰M行定期維護而停止時，即可通過真空壓力增強管路向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力，使光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部的壓力值符合設(shè)定的需求值，可增強光刻機真空供應(yīng)管路壓力的穩(wěn)定性，確保光刻機真空系統(tǒng)的壓力保持正常，從而實現(xiàn)了光刻機不停機，并節(jié)省了停機帶來的恢復(fù)作業(yè)時間。
【附圖說明】
[0023]圖1是本實用新型一較佳實施例的一種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步的詳細說明。
[0025]需要說明的是，在下述的【具體實施方式】中，在詳述本實用新型的實施方式時，為了清楚地表示本實用新型的結(jié)構(gòu)以便于說明，特對附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進行了局部放大、變形及簡化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對本實用新型的限定來加以理解。
[0026]在以下本實用新型的【具體實施方式】中，請參閱圖1，圖1是本實用新型一較佳實施例的一種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型的一種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，可應(yīng)用于光刻機真空系統(tǒng)，當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)出現(xiàn)異?；蛐枰M行定期維護而停止時，通過向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力，來增強光刻機真空系統(tǒng)的壓力，使光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部的壓力值符合設(shè)定的需求值。如圖1所示，在光刻機真空系統(tǒng)中通常設(shè)置有真空分配箱I，用于向光刻機上各個真空吸附使用點分配真空壓力，使用真空吸附來將一些精密部件定位在工作臺上，或?qū)ρ谀ぐ婧凸杵M行定位。真空分配箱I通過光刻機真空供應(yīng)管路2、動力真空供應(yīng)主管路5實現(xiàn)與廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)的連通，廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)通過動力真空供應(yīng)主管路5、光刻機真空供應(yīng)管路2向光刻機真空系統(tǒng)提供符合設(shè)定的需求值的真空壓力，光刻機真空系統(tǒng)再通過真空分配箱I將該真空壓力分配至光刻機上的各個真空吸附使用點。
[0027]請參閱圖1。本實用新型的一種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置包括:真空壓力增強管路8、真空提供單元9、真空壓力感測單元3以及真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6幾個主要組成部分。
[0028]真空壓力增強管路8連接光刻機真空供應(yīng)管路2，與動力真空供應(yīng)主管路5形成并聯(lián)狀態(tài)。在真空壓力增強管路8上設(shè)有真空提供單元9，例如，真空提供單元9可連接設(shè)于真空壓力增強管路8的末端。在廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)通過動力真空供應(yīng)主管路5、光刻機真空供應(yīng)管路2向光刻機真空系統(tǒng)提供真空壓力的基礎(chǔ)上，真空提供單元9可用于通過真空壓力增強管路8向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力，以彌補當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)出現(xiàn)異常時所帶來的真空壓力不足。作為一優(yōu)選的實施方式，所述真空提供單元9可以采用真空栗，真空栗9抽取的真空壓力補充給光刻機真空系統(tǒng)，實現(xiàn)當(dāng)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)不穩(wěn)定或故障時，減少光刻機停機時間甚至避免停機。真空栗可以在真空壓力增強管路設(shè)置一至若干個。
[0029]真空壓力感測單元3設(shè)于光刻機真空供應(yīng)管路2，用于實時監(jiān)控光刻機真空供應(yīng)管路2內(nèi)部的壓力值，并把數(shù)據(jù)傳輸給真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6。作為一優(yōu)選的實施方式，所述真空壓力感測單元3可以采用真空壓力傳感器，可設(shè)置在真空壓力增強管路8與光刻機真空供應(yīng)管路2連接點的任意一側(cè)。
[0030]真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6連接真空壓力感測單元3和真空提供單元9，用于將從真空壓力感測單元3接收的光刻機真空供應(yīng)管路2內(nèi)部壓力值數(shù)據(jù)與設(shè)定的需求值進行對比，并在該壓力值數(shù)據(jù)低于設(shè)定的需求值時，指令真空提供單元9啟動，向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力，在該壓力值數(shù)據(jù)高于或等于設(shè)定的需求值時，指令真空提供單元9停止運行，以使光刻機真空供應(yīng)管路2內(nèi)部的壓力值符合設(shè)定的需求值。
[0031]作為一優(yōu)選的實施方式，在動力真空供應(yīng)主管路5與真空壓力增強管路8之間的所述光刻機真空供應(yīng)管路2還可設(shè)有第一閥門4，用于在廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)長時停止真空壓力供應(yīng)(例如進行定期維護)時關(guān)閉，此時，所述真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6即指令真空提供單元9啟動并保持運行，向光刻機真空供應(yīng)管路2長時提供符合設(shè)定的需求值的真空壓力。
[0032]作為一優(yōu)選的實施方式，在真空提供單元9與光刻機真空供應(yīng)管路2之間的所述真空壓力增強管路8還可設(shè)有第二閥門7，其在真空提供單元9啟動的同時打開，用于使真空壓力增強管路8導(dǎo)通，并在真空提供單元9停止的同時關(guān)閉，用于使真空壓力增強管路8封閉。
[0033]作為進一步優(yōu)選的實施方式，所述第一閥門4、第二閥門7可分別連接真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6，并受真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6的控制進行打開或關(guān)閉。并且，所述第一閥門4、第二閥門7可采用電磁控制閥，以便在真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6的控制下實現(xiàn)自動打開或關(guān)閉。
[0034]本實用新型在使用時，可通過例如真空壓力傳感器3對光刻機真空供應(yīng)管路2內(nèi)部的壓力值進行實時監(jiān)控，并把檢測到的壓力值數(shù)據(jù)傳輸給真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6。當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)出現(xiàn)異常造成光刻機真空供應(yīng)管路2內(nèi)部的壓力值低于系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定的需求值(設(shè)定的需求值與光刻機實際需求值之間應(yīng)保持足夠的余量)時，真空壓力傳感器3可實時檢測到此異常的壓力值，并傳輸給真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6。真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6判斷真空壓力值低于系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定的需求值時，將啟動信號傳送給真空栗9以及真空壓力增強管路的電磁控制閥7(即第二閥門)；真空栗9瞬間啟動開始抽真空，真空壓力增強管路的電磁控制閥7也同時打開，使真空壓力增強管路8處于導(dǎo)通狀態(tài)，真空栗9抽取的真空壓力即可補強給光刻機真空供應(yīng)管路2，使光刻機真空供應(yīng)管路2內(nèi)部的壓力值符合設(shè)定的需求值。
[0035]當(dāng)光刻機真空供應(yīng)管路2中的真空壓力值大于或等于系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定的需求值時，真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6啟動關(guān)閉真空栗9的信號，真空栗9停止運行，同時真空壓力增強管路8的電磁控制閥7關(guān)閉，使真空壓力增強管路8處于封閉狀態(tài)。
[0036]當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)長時停止真空壓力供應(yīng)(例如進行定期維護)時，真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6啟動關(guān)閉光刻機真空供應(yīng)管路的電磁控制閥4(即第一閥門)信號，電磁控制閥4關(guān)閉；同時，真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6即啟動運行真空栗9的信號，真空壓力增強管路的電磁控制閥7也同時打開，真空栗9開始運行，并一直保持運行狀態(tài)，向光刻機真空供應(yīng)管路2長時提供符合設(shè)定的需求值的真空壓力。光刻機真空供應(yīng)管路的電磁控制閥4 一直保持關(guān)閉狀態(tài)，以與外界(廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng))相隔絕，即利用第一閥門4形成一個真空分接點。
[0037]本實用新型的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置還可以在自動或手動之間切換運行。當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)出現(xiàn)短時異常造成光刻機真空供應(yīng)管路2內(nèi)部的壓力值低于系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定的需求值時，可采用自動方式，即通過真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6進行自動控制；而當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)長期停止真空供應(yīng)時，可切換到手動方式，使真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)6停止工作，并將第一閥門4關(guān)閉、將第二閥門7打開，將真空栗9切換為手動一直運轉(zhuǎn)，直至狀態(tài)解除。
[0038]從上述技術(shù)方案可以看出，本實用新型通過在光刻機真空供應(yīng)管路分接真空壓力增強管路，當(dāng)廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)出現(xiàn)異?；蛐枰M行定期維護而停止時，即可通過真空壓力增強管路向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力，使光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部的壓力值符合設(shè)定的需求值，可增強光刻機真空供應(yīng)管路壓力的穩(wěn)定性，確保光刻機真空系統(tǒng)的壓力保持正常，從而實現(xiàn)了光刻機不停機，并節(jié)省了停機帶來的恢復(fù)作業(yè)時間。
[0039]以上所述的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例，所述實施例并非用以限制本實用新型的專利保護范圍，因此凡是運用本實用新型的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，所述光刻機真空系統(tǒng)包括真空分配箱，其通過光刻機真空供應(yīng)管路、動力真空供應(yīng)主管路連接廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述裝置包括: 真空壓力增強管路，連接光刻機真空供應(yīng)管路； 真空提供單元，設(shè)于真空壓力增強管路，用于向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力； 真空壓力感測單元，設(shè)于光刻機真空供應(yīng)管路，用于實時監(jiān)控光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部的壓力值，并把數(shù)據(jù)傳輸給真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)； 真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)，連接真空壓力感測單元和真空提供單元，用于將接收的光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部壓力值數(shù)據(jù)與設(shè)定的需求值進行對比，并在該壓力值數(shù)據(jù)低于設(shè)定的需求值時，指令真空提供單元啟動，向光刻機真空系統(tǒng)提供額外的真空壓力，在該壓力值數(shù)據(jù)高于或等于設(shè)定的需求值時，指令真空提供單元停止，以使光刻機真空供應(yīng)管路內(nèi)部的壓力值符合設(shè)定的需求值。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，其特征在于，在動力真空供應(yīng)主管路與真空壓力增強管路之間的所述光刻機真空供應(yīng)管路設(shè)有第一閥門，用于在廠務(wù)動力真空供應(yīng)系統(tǒng)長時停止真空壓力供應(yīng)時關(guān)閉，此時，所述真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)指令真空提供單元啟動并保持，向光刻機真空供應(yīng)管路長時提供符合設(shè)定的需求值的真空壓力。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，其特征在于，所述第一閥門連接真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)，并受真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)控制打開或關(guān)閉。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，其特征在于，在真空提供單元與光刻機真空供應(yīng)管路之間的所述真空壓力增強管路設(shè)有第二閥門，其在真空提供單元啟動的同時打開，用于使真空壓力增強管路導(dǎo)通，并在真空提供單元停止的同時關(guān)閉，用于使真空壓力增強管路封閉。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，其特征在于，所述第二閥門連接真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)，并受真空壓力監(jiān)控系統(tǒng)控制打開或關(guān)閉。6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，其特征在于，所述第一閥門為電磁控制閥。7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，其特征在于，所述第二閥門為電磁控制閥。8.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，其特征在于，所述真空提供單元為真空栗。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動增強光刻機真空系統(tǒng)壓力的裝置，其特征在于，所述真空壓力感測單元為真空壓力傳感器。
【文檔編號】G03F7/20GK205563071SQ201620123668
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年2月17日
【發(fā)明人】張 浩, 王朝輝, 謝華
【申請人】上海華力微電子有限公司