光電倍增管陰極制作及封接的排氣裝置結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光電倍增管陰極制作及封接的排氣裝置結(jié)構(gòu)，主要用于光電倍增管的陰極制作及封接的真空排氣。主要技術(shù)方案是：在支架的上部安裝一塊圓形底板，圓形底板與鐘罩形成一個(gè)真空室，陰極組件腔體與鐘罩真空室聯(lián)通，MCP組件腔體與分子泵連接形成一個(gè)獨(dú)立的真空腔體，在圓形底板上安裝有一個(gè)玻殼托架，玻殼托架可以實(shí)現(xiàn)玻殼球在陰極組件腔體和MCP組件腔體上方做水平移動(dòng)。本實(shí)用新型通過(guò)應(yīng)用證明：該結(jié)構(gòu)的裝置，在制造中將陰極制作和MCP組件分開(kāi)，避免了MCP組件受到陰極材料的污染，完全滿足光電倍增管的工藝要求。
【專利說(shuō)明】光電倍增管陰極制作及封接的排氣裝置結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于一種電真空器件制作的排氣裝置，主要用于光電倍增管的陰極制 作及封接的真空排氣，也可用于其它類似器件制作的真空排氣。

【背景技術(shù)】
[0002] 光電倍增管是一種高能粒子探測(cè)的光電器件，主要用于科研、國(guó)防及特殊行業(yè)。傳 統(tǒng)的光電倍增管結(jié)構(gòu)是將全部倍增組件組裝封接在玻殼內(nèi)，玻殼預(yù)留真空抽氣口，通過(guò)真 空抽氣口對(duì)玻殼內(nèi)部抽真空，外部烘烤加熱除氣，然后進(jìn)行陰極制作，陰極制作完成后進(jìn)行 真空抽氣口封接。這種光電倍增管結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn)是在進(jìn)行陰極制作時(shí)，蒸鍍的陰極材料會(huì)對(duì) 倍增組件造成污染，最終導(dǎo)致光電倍增管的量子效率偏低，使產(chǎn)品的性能質(zhì)量受到影響。現(xiàn) 在新的光電倍增管主要結(jié)構(gòu)(見(jiàn)圖1)，由陰極1、玻殼球2、MCP (微通道板）組件3、封接盤4 等組成，尤其是采用MCP作為倍增組件，為了避免MCP組件受到陰極材料的污染，玻殼球和 MCP組件是分離的，需要先對(duì)玻殼球進(jìn)行真空烘烤除氣，陰極制作，再進(jìn)行對(duì)MCP組件的封 接。這樣原來(lái)的排氣裝置已不再適用，需要研制一種新的真空排氣裝置，來(lái)滿足新的光電倍 增管玻殼的真空烘烤除氣、陰極制作、MCP組件電子清刷及MCP組件封接的工藝要求。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型要解決的主要技術(shù)問(wèn)題是：根據(jù)新的光電倍增管的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，研制一 種陰極制作及MCP組件封接的真空排氣裝置結(jié)構(gòu)，將陰極制作和MCP組件封接分開(kāi)，避免 MCP組件受陰極材料的污染，達(dá)到滿足新的光電倍增管的工藝要求。
[0004] 本實(shí)用新型的主要技術(shù)方案：在支架的上部安裝一塊圓形底板，底部安裝一個(gè)電 機(jī)，電機(jī)主軸通過(guò)聯(lián)軸器、導(dǎo)向器、絲桿與支桿配合連接，支桿與鐘罩通過(guò)螺紋連接，圓形底 板通過(guò)橡膠圈在鐘罩降到低位時(shí)，形成一個(gè)大的鐘罩真空室，鐘罩的內(nèi)壁安裝有電阻加熱 帶，圓形底板上有接口，接口通過(guò)真空插板閥連接主分子泵，接口密封連接陰極組件腔體并 與鐘罩真空室聯(lián)通，接口通過(guò)真空插板閥連接MCP組件腔體，MCP組件腔體同時(shí)與分子泵連 接形成一個(gè)獨(dú)立的真空腔體，陰極組件腔體和MCP組件腔體的中心與接口的中心距相等， 即以接口中心為圓心，陰極組件腔體和MCP組件腔體分布在同一半徑圓弧上，陰極組件腔 體內(nèi)裝有陰極組件，MCP組件腔體內(nèi)裝有MCP組件，在陰極組件腔體一側(cè)通過(guò)螺釘安裝一個(gè) 短波紋升降器，在MCP組件腔體下方配合安裝一個(gè)長(zhǎng)波紋升降器，在圓形底板上安裝一個(gè) 玻殼托架，玻殼托架上的轉(zhuǎn)軸與手輪配合連接，轉(zhuǎn)動(dòng)手輪時(shí)可以實(shí)現(xiàn)玻殼球在陰極組件腔 體和MCP組件腔體上方做水平移動(dòng)。
[0005] 本實(shí)用新型通過(guò)實(shí)際應(yīng)用證明：該結(jié)構(gòu)的排氣裝置，操作方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造中 做到將陰極制作和MCP組件分開(kāi)，完全避免了 MCP組件受到陰極材料的污染，而且在同一臺(tái) 裝置上能夠完成光電倍增管制造中的兩道關(guān)鍵工序，有效的滿足了新的光電倍增管的工藝 要求。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0006] 下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)地描述。
[0007] 圖1，是光電倍增管結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0008] 圖2,是本實(shí)用新型的裝配結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009] 圖3，是圖2的左視圖。
[0010] 圖4,是本實(shí)用新型的工作原理示意圖。
[0011] 圖5,是本實(shí)用新型的圓形底板7形狀圖。
[0012] 圖6,是MCP組件腔體的結(jié)構(gòu)示意圖。。

【具體實(shí)施方式】
[0013] 參照?qǐng)D2、3、4、5,對(duì)本實(shí)用新型的主要技術(shù)方案進(jìn)行說(shuō)明：本實(shí)用新型主要由鐘 罩5、支桿6、圓形底板7、真空插板閥8、支架9、分子泵10、MCP組件腔體11、長(zhǎng)波紋升降器 12、萬(wàn)向輪13、腳14、聯(lián)軸器15、短波紋升降器16、陰極組件腔體17、手輪18、控制板19、轉(zhuǎn) 軸20、玻殼托架21、電阻加熱帶22、接線端23、絲桿24、導(dǎo)向器25、電機(jī)26、主分子泵27、 MCP組件3、陰極組件28等組成。具體結(jié)構(gòu)：在支架9的上部安裝一塊圓形底板7,底部安 裝一個(gè)電機(jī)26 (見(jiàn)圖3)，電機(jī)主軸通過(guò)聯(lián)軸器15、導(dǎo)向器25、絲桿24與支桿6配合連接， 支桿6與鐘罩5通過(guò)栓連接，圓形底板7通過(guò)橡膠圈在鐘罩5降到低位時(shí)，形成一個(gè)大的鐘 罩真空室，鐘罩5的內(nèi)壁安裝有電阻加熱帶22,圓形底板7 (見(jiàn)圖5)上有接口，接口 7-1通 過(guò)真空插板閥8連接主分子泵27 (見(jiàn)圖3)，接口 7-2密封連接陰極組件腔體17并與鐘罩 真空室聯(lián)通，接口 7-3通過(guò)真空插板閥8連接MCP組件腔體11，MCP組件腔體同時(shí)與分子泵 10連接形成一個(gè)獨(dú)立的真空腔體(見(jiàn)圖2)，陰極組件腔體17和MCP組件腔體11的中心與 接口 7-4的中心距相等，即以接口 7-4中心為圓心，陰極組件腔體17和MCP組件腔體11分 布在同一圓弧半徑上，陰極組件腔體17內(nèi)裝有陰極組件28(見(jiàn)圖4)，MCP組件腔體11內(nèi)裝 有MCP組件3 (見(jiàn)圖4)，在陰極組件腔體17 -側(cè)通過(guò)螺釘安裝一個(gè)短波紋升降器16 (見(jiàn)圖 2)，在MCP組件腔體11下方配合安裝一個(gè)長(zhǎng)波紋升降器12 (見(jiàn)圖2)，在圓形底板7上安裝 一個(gè)玻殼托架21，玻殼托架21上的轉(zhuǎn)軸20與手輪18配合連接，轉(zhuǎn)動(dòng)手輪18時(shí)可以實(shí)現(xiàn)玻 殼球2在陰極組件腔體17和MCP組件腔體11上方做水平移動(dòng)。
[0014] 所述的MCP組件腔體11，由大法蘭11-4、中法蘭11-3、小法蘭11-2及連接管11-1 組成。
[0015] 所述的主分子泵27、分子泵10、長(zhǎng)波紋升降器12、萬(wàn)向輪13、腳14、聯(lián)軸器15、短 波紋升降器16、控制板19、電阻加熱帶22、絲桿24、導(dǎo)向器25及電機(jī)26等均為購(gòu)置的標(biāo)準(zhǔn) 器件或標(biāo)準(zhǔn)零部件。
[0016] 參照?qǐng)D2、3、4、6,本實(shí)用新型的工作原理

【權(quán)利要求】
1.光電倍增管陰極制作及封接的排氣裝置結(jié)構(gòu)，其特征在于：在支架（9)的上部安裝 一塊圓形底板（7)，底部安裝一個(gè)電機(jī)（26)，電機(jī)主軸通過(guò)聯(lián)軸器（15)、導(dǎo)向器（25)、絲桿 (24)與支桿（6)配合連接，支桿（6)與鐘罩（5)通過(guò)螺栓連接，圓形底板（7)通過(guò)橡膠圈在 鐘罩（5)降到低位時(shí)，形成一個(gè)大的鐘罩真空室，鐘罩（5)的內(nèi)壁安裝有電阻加熱帶（22)， 圓形底板（7)上有接口，接口（7-1)通過(guò)真空插板閥（8)連接主分子泵（27)，接口（7-2)密 封連接陰極組件腔體（17)并與鐘罩真空室聯(lián)通，接口（7-3)通過(guò)真空插板閥（8)連接MCP 組件腔體（11)，MCP組件腔體同時(shí)與分子泵（10)連接形成一個(gè)獨(dú)立的真空腔體，陰極組件 腔體（17 )和MCP組件腔體（11)的中心與接口（ 7-4)的中心距相等，即以接口（ 7-4)中心為 圓心，陰極組件腔體（17)和MCP組件腔體（11)分布在同一半徑圓弧上，陰極組件腔體（17) 內(nèi)裝有陰極組件（28 )，MCP組件腔體（11)內(nèi)裝有MCP組件（3 )，在陰極組件腔體（17 ) -側(cè) 通過(guò)螺釘安裝一個(gè)短波紋升降器（16)，在MCP組件腔體（11)下方配合安裝一個(gè)長(zhǎng)波紋升 降器（12 )，在圓形底板（7 )上安裝一個(gè)玻殼托架（21 )，玻殼托架（21)上的轉(zhuǎn)軸（20 )與手輪 (18 )配合連接，轉(zhuǎn)動(dòng)手輪（18 )時(shí)可以實(shí)現(xiàn)玻殼球（2 )在陰極組件腔體（17 )和MCP組件腔 體（11)上方做水平移動(dòng)。
【文檔編號(hào)】H01J9/385GK203871298SQ201420269207
【公開(kāi)日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月26日
【發(fā)明者】李永春, 張?jiān)评? 張勤東, 李金沙, 朱榮勝 申請(qǐng)人:北方夜視技術(shù)股份有限公司