本發(fā)明涉及一種真空鍍膜襯底底座，屬于真空鍍膜裝置技術領域。
背景技術：
真空鍍膜裝置被廣泛應用于各種平面鍍膜領域，但是對于立體異形結構的鍍膜，往往需要復雜的襯底旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)等復雜機構的支持，現(xiàn)有的真空鍍膜襯底底座難以實現(xiàn)這一要求。
技術實現(xiàn)要素：
本發(fā)明所要解決的技術問題是克服現(xiàn)有技術的缺陷，提供一種真空鍍膜襯底底座，可使襯底底座在加工過程中能夠旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)，達到改善真空鍍膜工藝對非平面結構的臺階覆蓋率，尤其是深孔鍍膜情況下的改善深孔內(nèi)壁膜厚均勻性。
為解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種真空鍍膜襯底底座，包括襯底托盤、轉(zhuǎn)軸和傳動軸，所述傳動軸與旋轉(zhuǎn)機構連接，所述襯底托盤通過設置于中心處的轉(zhuǎn)軸與傳動軸相連，所述襯底托盤底部設置有以托盤中心為圓心的圓環(huán)形凹槽，所述襯底托盤底部還設置有角度調(diào)節(jié)桿，所述角度調(diào)節(jié)桿一端固定在設備底座上，另一端為接觸球端，所述接觸球端可在圓環(huán)形凹槽內(nèi)滑動。
所述傳動軸包括旋轉(zhuǎn)機構連接軸和關節(jié)蓋帽，所述旋轉(zhuǎn)機構連接軸的末端為關節(jié)球體，所述關節(jié)球體被球關節(jié)蓋帽包合，所述球關節(jié)蓋帽與轉(zhuǎn)軸相連。
所述轉(zhuǎn)軸包括結構連接螺釘，所述結構連接螺釘一端與襯底托盤固定連接，另一端與傳動軸轉(zhuǎn)動連接。
所述結構連接螺釘通過固定螺釘固定在襯底托盤的底部。
所述襯底托盤圓心處設置有螺釘沉孔，所述固定螺釘安裝于螺釘沉孔內(nèi)。
所述襯底托盤的邊緣設置有樣品限位環(huán)。
所述球關節(jié)蓋帽包括上蓋帽和下蓋帽，所述上蓋帽上設置有容納轉(zhuǎn)軸的凹孔。
本發(fā)明所達到的有益效果：
1.真空鍍膜進行時，傳動軸與旋轉(zhuǎn)機構連接并不斷旋轉(zhuǎn)，放于襯底托盤上的樣品以傳動軸為中心對稱軸在俯視平面內(nèi)做圓周運動，另一方面，由于襯底托盤與角度調(diào)節(jié)桿滑動接觸，從而使襯底托盤在角度調(diào)節(jié)桿限位作用下，將圓周運動轉(zhuǎn)為在其所在的平面內(nèi)做自轉(zhuǎn)運動，以實現(xiàn)改善真空鍍膜工藝對非平面結構的臺階覆蓋率，尤其是深孔鍍膜情況下的改善深孔內(nèi)壁膜厚均勻性。
2.角度調(diào)節(jié)桿上接觸球端的接觸角度可隨著調(diào)節(jié)桿的彎折和高度而變化，進而對襯底托盤的傾斜角度進行調(diào)節(jié)，實現(xiàn)對真空鍍膜工藝中不同孔徑比的樣品的均勻鍍膜。
因此，本發(fā)明所提供的一種真空鍍膜襯底底座，可以實現(xiàn)襯底底座的簡單的類行星式轉(zhuǎn)動，以使襯底底座在加工過程中能夠旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)，達到改善真空鍍膜工藝對非平面結構的臺階覆蓋率，尤其是深孔鍍膜情況下的改善深孔內(nèi)壁膜厚均勻性。
附圖說明
圖1是本發(fā)明的結構示意圖。
具體實施方式
下面結合附圖對本發(fā)明作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術方案，而不能以此來限制本發(fā)明的保護范圍。
如圖1所示的一種真空鍍膜襯底底座，包括襯底托盤1、轉(zhuǎn)軸和傳動軸，所述傳動軸與旋轉(zhuǎn)機構連接，所述襯底托盤1通過設置于中心處的轉(zhuǎn)軸與傳動軸相連，所述襯底托盤1底部設置有以托盤中心為圓心的圓環(huán)形凹槽1-3，所述襯底托盤底部還設置有角度調(diào)節(jié)桿5，所述角度調(diào)節(jié)桿5一端固定在設備底座上，另一端為接觸球端5-1，所述接觸球端5-1可在圓環(huán)形凹槽1-3內(nèi)滑動。
所述傳動軸包括旋轉(zhuǎn)機構連接軸4和關節(jié)蓋帽3，所述旋轉(zhuǎn)機構連接軸4的末端為關節(jié)球體4-1，所述關節(jié)球體4-1被球關節(jié)蓋帽3包合，所述球關節(jié)蓋帽3與轉(zhuǎn)軸相連。
所述轉(zhuǎn)軸包括結構連接螺釘2，所述結構連接螺釘2一端與襯底托盤1固定連接，另一端與傳動軸轉(zhuǎn)動連接。
所述結構連接螺釘2通過固定螺釘1-4固定在襯底托盤1的底部。
所述襯底托盤1圓心處設置有螺釘沉孔1-1，所述固定螺釘1-4安裝于螺釘沉孔1-1內(nèi)，以避免固定螺釘1-4安裝后高于襯底托盤1表面，使真空鍍膜的樣品被頂起。
所述襯底托盤1的邊緣設置有樣品限位環(huán)1-2，防止在旋轉(zhuǎn)過程中樣品被甩出襯底托盤1。
所述球關節(jié)蓋帽3包括上蓋帽3-1和下蓋帽3-2，所述上蓋帽3-1上設置有容納轉(zhuǎn)軸的凹孔，由于球關節(jié)蓋帽3在轉(zhuǎn)動中容易發(fā)生磨損。這一結構使球關節(jié)蓋帽3易于安裝拆卸，便于維護更換。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變形，這些改進和變形也應視為本發(fā)明的保護范圍。