技術(shù)總結(jié)
一種自清潔用氮摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，包括如下步驟：（1）清洗玻璃基片，后用高壓N2吹干；（2）采用反應(yīng)離子束技術(shù)對(duì)所述玻璃基片表面進(jìn)行刻蝕，使所述玻璃基片表面具有凹凸不平的微結(jié)構(gòu)；（3）采用磁控濺射技術(shù)在所述玻璃基片表面的微結(jié)構(gòu)上沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，從而得到具有光催化作用的薄膜。本發(fā)明采用反應(yīng)離子束技術(shù)對(duì)玻璃基片表面進(jìn)行刻蝕，使玻璃基片表面具有凹凸不平的微結(jié)構(gòu)，然后在玻璃基片表面上運(yùn)用磁控濺射技術(shù)沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，從而得到具有更大的比表面積的薄膜，提高了薄膜光催化的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：彭壽;馬立云;楊勇;姚婷婷;金克武;李剛;沈洪雪;王天齊;甘治平;徐根保
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院;中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司
文檔號(hào)碼：201611188592
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.21
技術(shù)公布日：2017.05.10