技術總結
本發(fā)明公開了一種無旋轉終結點的化學機械研磨裝置，包括：研磨頭承載機構，其包括環(huán)形軌道，并通過支架與立柱固定；研磨頭控制總成，滑動設于環(huán)形軌道外側，其內部設有控制其及研磨頭運行的研磨頭控制單元；非接觸式供電系統(tǒng)，包括沿環(huán)形軌道設置的供電部以及相對間隙設于研磨頭控制總成中的受電部；本發(fā)明將現有采用電纜連接的電源傳輸方式改為非接觸式的輸電方式，通過向供電部供電以產生磁場，使受電部產生磁感應電流，并輸出到研磨頭控制單元，以驅動研磨頭控制總成沿軌道移動，使得研磨頭的移動不再受到線纜長度的影響，可以無限制地沿一個方向持續(xù)移動，避免了研磨頭空載現象，提高了機臺利用效率。

技術研發(fā)人員：戴文俊
受保護的技術使用者：上海集成電路研發(fā)中心有限公司
文檔號碼：201611188843
技術研發(fā)日：2016.12.21
技術公布日：2017.05.17