本實用新型涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種噴砂機，還涉及一種噴砂生產(chǎn)線。

背景技術(shù)：

噴砂機主要應(yīng)用于電子制造業(yè)半導(dǎo)體大功率可控硅芯片加工用的一種專用設(shè)備。噴砂機是采用壓縮空氣為動力，以形成高速噴射束將噴料高速噴射到被需處理硅片表面，使硅片表面的外表面的機械性能發(fā)生變化的一種機器。其工作原理是以壓縮空氣為動力，通過氣流的高速運動在噴槍內(nèi)形成的負壓，將磨料通過輸砂管吸入噴槍并經(jīng)噴嘴噴出，噴射到被加工表面，達到預(yù)期的加工目的。

目前現(xiàn)有的噴砂機的噴嘴僅一個，經(jīng)過噴嘴噴出的磨料流量少，一次僅能夠?qū)σ粋€硅片進行加工，其生產(chǎn)效率較低，且產(chǎn)品質(zhì)量難以保證。

綜上所述，如何有效地解決噴砂機生產(chǎn)效率低、產(chǎn)品質(zhì)量難以保證的問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型的第一個目的在于提供一種噴砂機，以解決噴砂機生產(chǎn)效率低、產(chǎn)品質(zhì)量難以保證的問題。本實用新型的第二個目的是提供一種包括噴砂機的生產(chǎn)線。

為了達到上述第一個目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種噴砂機，包括機架和設(shè)置于所述機架上的噴砂室，所述噴砂室內(nèi)設(shè)置有用于帶動工件旋轉(zhuǎn)的傳動裝置，所述機架上設(shè)置有噴嘴，所述噴嘴的個數(shù)至少為兩個，至少兩個所述噴嘴的噴射方向不同。

優(yōu)選地，在上述噴砂機中，所述傳動裝置的個數(shù)為多個。

優(yōu)選地，在上述噴砂機中，所述傳動裝置具體為聯(lián)軸器。

優(yōu)選地，在上述噴砂機中，各個所述噴嘴的噴射方向可調(diào)。

優(yōu)選地，在上述噴砂機中，還包括與所述噴砂室連接的砂箱振動裝置，所述砂箱振動裝置包括調(diào)壓過濾器。

本實用新型提供的噴砂機包括機架和噴砂室，噴砂室設(shè)置于機架上。其中，噴砂室內(nèi)設(shè)置有用于帶動工件旋轉(zhuǎn)的傳動裝置，機架上設(shè)置有噴嘴，噴嘴的個數(shù)至少為兩個，至少兩個所述噴嘴的噴射方向不同。

應(yīng)用本實用新型提供的噴砂機時，將工件放置在模座上，傳動裝置帶動工件進行旋轉(zhuǎn)，機架上的噴嘴的個數(shù)至少為兩個，至少兩個噴嘴的噴射方向不同。在作業(yè)時，可根據(jù)工件的位置調(diào)整好噴嘴的磨削角度，一個噴嘴磨削硅片邊緣，另一個噴嘴磨削硅片根部，使每批次硅片噴磨角度一致，有效地保證了產(chǎn)品質(zhì)量，至少兩個噴嘴同時噴磨，縮短單片的噴磨時間，提高生產(chǎn)效率，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

為了達到上述第二個目的，本實用新型還提供了一種噴砂機的生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線包括上述任一種噴砂機，由于上述的噴砂機具有上述技術(shù)效果，具有該噴砂機的噴砂生產(chǎn)線也應(yīng)具有相應(yīng)的技術(shù)效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的噴砂機的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例提供的噴砂機的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型實施例提供的噴砂機的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例提供的噴砂機的噴砂振動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標記如下：

調(diào)節(jié)裝置1、機架2、噴砂室3、傳動裝置4、砂箱振動裝置5。

具體實施方式

本實用新型實施例公開了一種噴砂機，以解決噴砂機生產(chǎn)效率低、產(chǎn)品質(zhì)量難以保證的問題。

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-圖4，圖1為本實用新型實施例提供的噴砂機的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的噴砂機的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的噴砂機的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例提供的噴砂機的噴砂振動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

在一種具體的實施方式中，噴砂機包括機架2和噴砂室3。其中，噴砂室3設(shè)置于機架2上，噴砂室3內(nèi)設(shè)置有用于帶動硅片旋轉(zhuǎn)的傳動裝置4，機架2上可設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置1，調(diào)節(jié)裝置1上設(shè)置有噴嘴，用于噴出磨料，噴嘴的個數(shù)至少為兩個，至少兩個所述噴嘴的噴射方向不同。應(yīng)用本實用新型提供的噴砂機時，將工件放置在傳動裝置4的模座中并固定，啟動電源，傳動裝置4帶動工件進行旋轉(zhuǎn)，通過電動桿控制調(diào)節(jié)裝置1移動到與工件相適應(yīng)的位置，調(diào)節(jié)裝置1上的噴嘴對工件進行噴磨，噴嘴的個數(shù)至少為兩個，如在設(shè)置時可優(yōu)選為兩個，分別調(diào)整好兩個噴嘴的磨削角度，一個噴嘴磨削工件邊緣，另一個噴嘴磨削工件根部，使每批次產(chǎn)品噴磨角度是一致的，有效地保證了產(chǎn)品質(zhì)量，在其他實施例中，也可以設(shè)置三個噴嘴，其中至少兩個噴嘴的噴射方向不同，如可以兩個噴嘴噴射工件的邊緣，一個噴嘴噴射工件的根部，以保證對硅片進行多角度全方位的研磨，至少兩個噴嘴同時研磨，縮短單片的噴磨時間，提高工作效率和生產(chǎn)質(zhì)量。

具體的，傳動裝置4的個數(shù)為多個。為了更好地提高工作效率，傳動裝置4的個數(shù)可以為多個，在一種實施例中，可具體為四個。一次磨削四個硅片，相應(yīng)的調(diào)節(jié)裝置1也為四個，傳動裝置4和調(diào)節(jié)裝置1配合使用，使得一次磨削 的工件增多，提高工作效率，在其他實施例中，也可以更具噴砂機的尺寸、動力裝置的功率自行進行設(shè)置傳動裝置4的個數(shù)。

更進一步地，傳動裝置4具體為聯(lián)軸器。聯(lián)軸器用來連接不同機構(gòu)中的兩根軸使之共同選擇以傳遞扭矩的機械零件，分別與主動軸和從動軸連接。采用電機、聯(lián)軸器的直接傳動方式，降低運行噪音。在其他實施例中，也可以選擇其他類型的傳動裝置4，如鏈傳動或齒輪傳動等，均在本實用新型的保護范圍內(nèi)。

在上述各實施例的基礎(chǔ)上，各個噴嘴的噴射方向可調(diào)。一般的，可根據(jù)實際的工件的待加工角度對噴嘴的噴射方向進行預(yù)先設(shè)置，然后再與機架連接，通過設(shè)置后對工件完成噴磨工藝。在其他實施例中，也可以設(shè)置控制裝置對各個噴嘴的噴射方向進行遠程控制，根據(jù)加工過程中工件的噴磨情況改變噴嘴的噴射方向進而完成對工件的噴磨，具體的，可根據(jù)實際的生成需要自行進行選擇。

具體的，還包括與噴砂室3連接的砂箱振動裝置5，砂箱振動裝置5包括調(diào)壓過濾器。通過增加混合砂箱，氣體進入砂箱筒后，使砂箱筒內(nèi)的研磨粉劑進入混合砂箱，使高壓氣流與研磨粉劑有機混合，調(diào)壓過濾器由電磁閥進行控制。振動器對砂箱實施高頻振動，同時控制研磨粉的流量，使混合砂箱產(chǎn)生高壓研磨噴流均勻、有力的對工件實施有效的磨削。

一般的，干潔的氣體經(jīng)過氣源三聯(lián)體后，經(jīng)電磁閥控制的砂箱經(jīng)噴嘴噴出，完成對工件的磨削。

具體的工作過程為：接入220V交流電源，電源指示燈亮；設(shè)定噴砂時間，按動燈開關(guān)，工作室燈亮；選擇開關(guān)置手動模式，將待加工工件裝入模座內(nèi)，按“向前”按鈕，電動桿向前移動到位，調(diào)節(jié)切削距離和切削角度；按“啟動”按鈕，電機帶動硅片旋轉(zhuǎn)，根據(jù)硅片大小調(diào)整電機轉(zhuǎn)速到指定轉(zhuǎn)速；將時間繼電器設(shè)定為工件所需加工的時間；調(diào)試完成，將選擇開關(guān)置自動模式，按“啟動”按鈕，自動完成噴砂，打開噴砂室3門，更換四個工件，關(guān)閉噴砂室3門，自動完成4個工件噴砂。該裝置降低工人的勞動強度，工作時噪聲小、無飛塵，符合工業(yè)環(huán)境衛(wèi)生要求，由于采用了電器調(diào)節(jié)噴磨距離及角度和定位磨片，工件噴磨均勻，一致性好，一批工件噴磨角度是一致的，有效地保證了產(chǎn)品質(zhì)量，提高工作效率。

基于上述實施例中提供的噴砂機，本實用新型還提供了一種噴砂生產(chǎn)線，該噴砂生產(chǎn)線包括上述實施例中任意一種噴砂機。由于該噴砂生產(chǎn)線采用了上述實施例中的噴砂機，所以該噴砂生產(chǎn)線的有益效果請參考上述實施例。

本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。

對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。