技術(shù)總結(jié)
一種熱絲CVD沉積系統(tǒng)的絲架結(jié)構(gòu)，涉及一種絲架結(jié)構(gòu)，包括固定鉭絲桿A（1）、支撐架（2）、鉭絲（3）、固定鉭絲桿B（5）和絲架固定桿（4），在平行間隔設(shè)置的兩根豎向支撐架（2）之間的兩端分別設(shè)有固定鉭絲桿A（1）和固定鉭絲桿B（5），在固定鉭絲桿B（5）的外側(cè)設(shè)有拉簧固定組件（7），多根鉭絲（3）的一端均布在固定鉭絲桿A（1）上，多根鉭絲（3）的另一端分別穿過固定鉭絲桿B（5）后與拉簧固定組件（7）上設(shè)置的多根耐高溫拉簧（6）固定連接；本實用新型通過將熱絲架設(shè)置為豎直安裝的方式，實現(xiàn)了熱絲不下垂，基片臺溫場均勻的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：鄒楊;孫蕾;楊宜珍;鄒松東;孫凌
受保護的技術(shù)使用者：洛陽奧爾材料科技有限公司
文檔號碼：201620591954
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.17
技術(shù)公布日：2016.12.14