本申請涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體地，涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其點(diǎn)火腔室。

背景技術(shù)：

1、在濕氧氧化工藝設(shè)備工作時(shí)，外點(diǎn)火裝置通過加熱器加熱使點(diǎn)火腔室中實(shí)現(xiàn)氫氣和氧氣反應(yīng)，為工藝腔室提供純凈的高溫水蒸氣，用于在硅片表面生成氧化膜。隨著市場進(jìn)步，工藝需求也隨之提升，需要硅片表面生長厚度較薄、膜質(zhì)均勻、顆粒少的氧化膜。

2、為了滿足工藝需求，點(diǎn)火腔室在氫氧燃燒過程中通入適量氮?dú)猓♂屗魵?，從而生成膜質(zhì)均勻，厚度較薄、顆粒較少的氧化膜?，F(xiàn)有技術(shù)中通入氮?dú)獾墓苈分袝?huì)因?yàn)楦邷厮魵鈹U(kuò)散作用生成冷凝水，造成顆粒超標(biāo)問題。

3、因此，如何避免冷凝水造成顆粒超標(biāo)的問題是本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其點(diǎn)火腔室，其能夠通過燃料氣和助燃?xì)夥磻?yīng)產(chǎn)生的熱量加熱稀釋氣體，從而提高稀釋氣體的溫度，避免因生成冷凝水造成的顆粒超標(biāo)的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)本申請的目的而提供一種點(diǎn)火腔室，用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括腔室本體和輸送管線，所述腔室本體包括燃燒室內(nèi)壁和包圍所述燃燒室內(nèi)壁的燃燒室外壁，二者之間形成稀釋氣通道，所述燃燒室外壁連有稀釋氣管線，所述稀釋氣管線與所述稀釋氣通道連通，所述燃燒室內(nèi)壁連有燃料氣管線和助燃?xì)夤芫€，二者均與燃燒室內(nèi)部連通；

3、所述輸送管線用于連接所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室，所述輸送管線與所述燃燒室外壁相連，并與所述稀釋氣通道連通，所述燃燒室內(nèi)壁設(shè)有朝向所述輸送管線的輸出口，所述輸出口連通所述燃燒室內(nèi)部與所述輸送管線內(nèi)部。

4、在一些實(shí)施例中，所述燃料氣管線位于所述助燃?xì)夤芫€內(nèi)側(cè)，二者同軸設(shè)置。

5、在一些實(shí)施例中，所述燃料氣管線的長度大于所述助燃?xì)夤芫€的長度，所述燃料氣管線位于所述助燃?xì)夤芫€外的一端設(shè)有用于連接燃料氣源的燃料氣連接管。

6、在一些實(shí)施例中，所述燃燒室內(nèi)壁設(shè)有燃料氣入口和助燃?xì)馊肟?，所述燃料氣入口連通所述燃料氣管線與所述燃燒室內(nèi)部，所述助燃?xì)馊肟谶B通燃燒室內(nèi)部與所述助燃?xì)夤芫€，所述助燃?xì)馊肟谶B通所述助燃?xì)夤芫€與所述燃料氣管線，所述助燃?xì)馊肟诘臄?shù)量為兩個(gè)以上，并圍繞所述燃料氣入口設(shè)置。

7、在一些實(shí)施例中，所述燃料氣入口和所述助燃?xì)馊肟诰挥谒鋈紵覂?nèi)壁遠(yuǎn)離所述輸送管線的一側(cè)。

8、在一些實(shí)施例中，所述助燃?xì)夤芫€位于所述稀釋氣管線內(nèi)側(cè)，二者同軸設(shè)置。

9、在一些實(shí)施例中，所述助燃?xì)夤芫€的長度大于所述稀釋氣管線的長度，所述助燃?xì)夤芫€位于所述稀釋氣管線外的一端設(shè)有用于連接助燃?xì)庠吹闹細(xì)膺B接管。

10、在一些實(shí)施例中，所述稀釋氣管線遠(yuǎn)離所述燃燒室的一端設(shè)有稀釋氣連接管，用于連接稀釋氣源。

11、在一些實(shí)施例中，所述輸出口連有輸出管，所述輸出管的直徑小于所述輸送管線的直徑，所述輸出管穿入所述輸送管線內(nèi)，并與所述輸送管線同軸設(shè)置，所述輸出管的長度小于所述輸送管線的長度，以使所述稀釋氣與所述燃料氣和所述助燃?xì)獾姆磻?yīng)產(chǎn)物在所述輸送管線中混合。

12、在一些實(shí)施例中，所述輸送管線的內(nèi)徑為所述輸出管的外徑的1.5倍～2倍。

13、本申請還提供了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括工藝腔室和上述任意一種所述的點(diǎn)火腔室，所述點(diǎn)火腔室通過所述輸送管線與所述工藝腔室連通，用于向所述工藝腔室輸送燃料氣和助燃?xì)獾姆磻?yīng)產(chǎn)物。

14、本申請具有以下有益效果：

15、本申請?zhí)峁┑狞c(diǎn)火腔室，用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括腔室本體和輸送管線，腔室本體包括燃燒室內(nèi)壁和包圍燃燒室內(nèi)壁的燃燒室外壁，二者之間形成稀釋氣通道，燃燒室外壁連有稀釋氣管線，稀釋氣管線與稀釋氣通道連通，燃燒室內(nèi)壁連有燃料氣管線和助燃?xì)夤芫€，二者均與燃燒室內(nèi)部連通；輸送管線用于連接半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室，輸送管線與燃燒室外壁相連，并與稀釋氣通道連通，燃燒室內(nèi)壁設(shè)有朝向輸送管線內(nèi)側(cè)的輸出口，輸出口連通燃燒室內(nèi)部與輸送管線內(nèi)部。

16、工藝過程中，燃料氣和助燃?xì)庠谌紵覂?nèi)反應(yīng)生成反應(yīng)產(chǎn)物。反應(yīng)過程中產(chǎn)生的熱量能夠加熱稀釋氣通道中的稀釋氣體，隨后反應(yīng)產(chǎn)物和稀釋氣體在輸送管線內(nèi)混合，并輸送至工藝腔室內(nèi)。由于經(jīng)過加熱的稀釋氣體溫度高于反應(yīng)產(chǎn)物的露點(diǎn)溫度，因而能夠避免反應(yīng)產(chǎn)物凝結(jié)，避免了顆粒超標(biāo)的問題。

17、本申請還提供了一種包括上述點(diǎn)火腔室的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，并具有上述優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種點(diǎn)火腔室，用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于，包括腔室本體和輸送管線，所述腔室本體包括燃燒室內(nèi)壁和包圍所述燃燒室內(nèi)壁的燃燒室外壁，二者之間形成稀釋氣通道，所述燃燒室外壁連有稀釋氣管線，所述稀釋氣管線與所述稀釋氣通道連通，所述燃燒室內(nèi)壁連有燃料氣管線和助燃?xì)夤芫€，二者均與燃燒室內(nèi)部連通；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述燃料氣管線位于所述助燃?xì)夤芫€內(nèi)側(cè)，二者同軸設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述燃料氣管線的長度大于所述助燃?xì)夤芫€的長度，所述燃料氣管線位于所述助燃?xì)夤芫€外的一端設(shè)有用于連接燃料氣源的燃料氣連接管。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述燃燒室內(nèi)壁設(shè)有燃料氣入口和助燃?xì)馊肟冢鋈剂蠚馊肟谶B通所述燃料氣管線與所述燃燒室內(nèi)部，所述助燃?xì)馊肟谶B通燃燒室內(nèi)部與所述助燃?xì)夤芫€，所述助燃?xì)馊肟谶B通所述助燃?xì)夤芫€與所述燃料氣管線，所述助燃?xì)馊肟诘臄?shù)量為兩個(gè)以上，并圍繞所述燃料氣入口設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述燃料氣入口和所述助燃?xì)馊肟诰挥谒鋈紵覂?nèi)壁遠(yuǎn)離所述輸送管線的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述助燃?xì)夤芫€位于所述稀釋氣管線內(nèi)側(cè)，二者同軸設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述助燃?xì)夤芫€的長度大于所述稀釋氣管線的長度，所述助燃?xì)夤芫€位于所述稀釋氣管線外的一端設(shè)有用于連接助燃?xì)庠吹闹細(xì)膺B接管。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述稀釋氣管線遠(yuǎn)離所述燃燒室的一端設(shè)有稀釋氣連接管，用于連接稀釋氣源。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述輸出口連有輸出管，所述輸出管的直徑小于所述輸送管線的直徑，所述輸出管穿入所述輸送管線內(nèi)，并與所述輸送管線同軸設(shè)置，所述輸出管的長度小于所述輸送管線的長度，以使所述稀釋氣與所述燃料氣和所述助燃?xì)獾姆磻?yīng)產(chǎn)物在所述輸送管線中混合。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的點(diǎn)火腔室，其特征在于，所述輸送管線的內(nèi)徑為所述輸出管的外徑的1.5倍～2倍。

11.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于，包括工藝腔室和權(quán)利要求1至10任意一項(xiàng)所述的點(diǎn)火腔室，所述點(diǎn)火腔室通過所述輸送管線與所述工藝腔室連通，用于向所述工藝腔室輸送燃料氣和助燃?xì)獾姆磻?yīng)產(chǎn)物。

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其點(diǎn)火腔室，點(diǎn)火腔室包括腔室本體和輸送管線，腔室本體包括燃燒室內(nèi)壁和包圍燃燒室內(nèi)壁的燃燒室外壁，二者之間形成稀釋氣通道，燃燒室外壁連有稀釋氣管線，稀釋氣管線與稀釋氣通道連通，燃燒室內(nèi)壁連有燃料氣管線和助燃?xì)夤芫€，二者均與燃燒室內(nèi)部連通；輸送管線用于連接半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室，輸送管線與燃燒室外壁相連，并與稀釋氣通道連通，燃燒室內(nèi)壁設(shè)有朝向輸送管線內(nèi)側(cè)的輸出口，輸出口連通燃燒室內(nèi)部與輸送管線內(nèi)部。燃料氣和助燃?xì)庠谌紵覂?nèi)反應(yīng)生成反應(yīng)產(chǎn)物。反應(yīng)過程中產(chǎn)生的熱量能夠加熱稀釋氣體，經(jīng)過加熱的稀釋氣體溫度高于反應(yīng)產(chǎn)物的露點(diǎn)溫度，能夠避免反應(yīng)產(chǎn)物凝結(jié)，避免了顆粒超標(biāo)的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：孔祥天,王立卡
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15