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磨床的制作方法

文檔序號(hào):41942594發(fā)布日期:2025-05-16 13:59閱讀:1來源:國(guó)知局
磨床的制作方法

本技術(shù)涉及硬脆材料加工設(shè)備,具體提供一種磨床。


背景技術(shù):

1、對(duì)硬脆材料進(jìn)行加工的設(shè)備通常包括截?cái)鄼C(jī)、開方機(jī)、磨床和切片機(jī),以屬于硬脆材料的工件為硅棒為例,其中,截?cái)鄼C(jī)主要用于通過如線切割等方式將較長(zhǎng)的硅棒切為長(zhǎng)度較短的硅棒(如通常為橫截面為圓形的硅棒,簡(jiǎn)稱圓棒),開方機(jī)主要用于通過如線切割等方式將圓棒切為橫截面為矩形(如正方形)的硅棒(簡(jiǎn)稱方棒,如該階段的方棒未經(jīng)過磨削加工,通??梢苑Q作毛棒),磨床主要用于通過磨削作業(yè)使得毛棒的表面精度達(dá)標(biāo)(如該階段的方棒經(jīng)磨削加工之后,表面精度達(dá)標(biāo),通常可以稱作成品棒),切片機(jī)主要用于將成品棒通過如多線切割(線網(wǎng)切割)的方式獲得待用的薄硅片。

2、其中,磨床主要包括臥式磨床和立式磨床,對(duì)于其中的臥式磨床而言,其結(jié)構(gòu)通常包括上/下料裝置、進(jìn)給滑臺(tái)裝置以及磨削裝置。對(duì)硅棒進(jìn)行磨削作業(yè)的過程通常為:首先將開方后的硅棒(前述的毛棒)固定至上料裝置,對(duì)硅棒的姿態(tài)進(jìn)行初步調(diào)節(jié)后,將硅棒送達(dá)進(jìn)給滑臺(tái)裝置的兩個(gè)夾頭之間,通過進(jìn)給滑臺(tái)裝置沿硅棒軸向(進(jìn)給方向)的運(yùn)動(dòng),將硅棒送達(dá)對(duì)應(yīng)于磨削裝置的位置?;诖?,通過使磨削裝置靠近硅棒并使硅棒沿進(jìn)給方向往復(fù)運(yùn)動(dòng),便可對(duì)硅棒的其中一組待磨削面或者一對(duì)棱邊進(jìn)行相應(yīng)的磨削作業(yè)。之后,通過使硅棒旋轉(zhuǎn),從而轉(zhuǎn)動(dòng)至第二組待磨削面或者另一對(duì)棱邊,以此類推,便可如前所述,通過磨床將毛棒加工為成品棒。

3、可以看出,目前的臥式磨床主要是以依賴于硅棒沿進(jìn)給方向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來完成其磨削作業(yè)的。由于硅棒的往復(fù)運(yùn)動(dòng)需要較大的移動(dòng)行程,對(duì)應(yīng)于較大的移動(dòng)行程的直線運(yùn)行對(duì)硅棒磨削后的精度會(huì)產(chǎn)生一定的影響(如與直線運(yùn)動(dòng)向匹配的直線導(dǎo)軌的直線度對(duì)硅棒的精度影響較等大),這樣的影響將會(huì)帶來較大的磨削余量,硅棒的磨削精度不達(dá)標(biāo)。因此本領(lǐng)域技術(shù)人員需要一種新的方案來改變或者調(diào)整目前的磨床加工方式。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu),通過該結(jié)構(gòu)與磨削組件適配,能夠?qū)崿F(xiàn)在通過磨削組件對(duì)工件進(jìn)行加工件期間采用硅棒不動(dòng)而磨削組件往復(fù)運(yùn)動(dòng)的形式。

2、需要說明的是,上述背景技術(shù)的敘述方式只是結(jié)合發(fā)明人在構(gòu)思以及涉及產(chǎn)品的思路引出來本實(shí)用新型,即:給出了可將本實(shí)用新型應(yīng)用的一種具體的應(yīng)用場(chǎng)景,而不應(yīng)當(dāng)理解為本實(shí)用新型的技術(shù)方案僅能夠應(yīng)用于該場(chǎng)景。如在本實(shí)用新型的場(chǎng)景中,磨床為臥式磨床,硅棒在臥式磨額磨削區(qū)無需往復(fù)運(yùn)動(dòng)而采用磨削組件沿硅棒的軸線方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在采用了本實(shí)用新型的夾爪組件的情形下,如可通過一對(duì)夾爪組件實(shí)現(xiàn)對(duì)硅棒的基礎(chǔ)夾緊、可通過調(diào)整夾爪組件實(shí)現(xiàn)對(duì)硅棒的姿態(tài)橫向/縱向微調(diào)等。

3、在第一方面,本實(shí)用新型提供了一種磨床,該磨床包括上料組件和磨削組件,所述上料組件包括上料儲(chǔ)料臺(tái)組件和上料臺(tái)組件,放置于所述上料儲(chǔ)料臺(tái)組件上的工件能夠輸送至所述上料臺(tái)組件并進(jìn)一步與所述磨削組件對(duì)接。

4、通過這樣的構(gòu)成,能夠謀求實(shí)現(xiàn)針對(duì)磨削工位的上料作業(yè)。

5、如基于本實(shí)用新型的上料組件,在磨床包含有轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上,可實(shí)現(xiàn)工件在各個(gè)磨削工位之間的轉(zhuǎn)運(yùn)以及外部環(huán)境與磨床工位之間的轉(zhuǎn)運(yùn),如外部環(huán)境與磨床工位之間的轉(zhuǎn)運(yùn)包括外部環(huán)境的工件經(jīng)上料組件轉(zhuǎn)運(yùn)至磨床以及工件經(jīng)磨床的下料組件轉(zhuǎn)運(yùn)至外部環(huán)境等。

6、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述上料儲(chǔ)料臺(tái)組件和所述上料臺(tái)組件之間設(shè)置有上料銜接組件。

7、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述上料銜接組件為過渡輪組件。

8、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述上料組件包括上料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件,所述上料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件設(shè)置于所述上料臺(tái)組件,所述上料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件形成有能夠承載工件的承載空間,并且所述上料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件能夠?qū)⒊休d于其內(nèi)的工件沿至少一個(gè)方向翻轉(zhuǎn)設(shè)定的角度。

9、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述上料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件能將能夠?qū)⒊休d于其內(nèi)的工件至少繞其軸線翻轉(zhuǎn)一定的角度。

10、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述上料組件包括上料儲(chǔ)料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件,所述上料儲(chǔ)料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件以可活動(dòng)的方式設(shè)置于所述上料儲(chǔ)料臺(tái)組件。

11、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述上料儲(chǔ)料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件能夠以可活動(dòng)的方式展開為第一狀態(tài)從而與所述儲(chǔ)料臺(tái)組件拼接和/或收起為不影響所述上料儲(chǔ)料臺(tái)組件的儲(chǔ)料性能的第二狀態(tài)。

12、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述磨床包括下料組件,所述下料組件包括下料儲(chǔ)料臺(tái)組件和下料臺(tái)組件,送達(dá)下料臺(tái)組件上的工件能夠輸送至所述下料儲(chǔ)料臺(tái)組件所述并進(jìn)一步與外部環(huán)境對(duì)接。

13、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述下料臺(tái)組件和所述下料儲(chǔ)料臺(tái)組件之間設(shè)置有下料銜接組件。

14、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述下料銜接組件為過渡輪組件。

15、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述下料組件包括下料儲(chǔ)料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件,所述儲(chǔ)料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件以可活動(dòng)的方式設(shè)置于所述上料儲(chǔ)料臺(tái)組件。

16、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述下料儲(chǔ)料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件能夠以可活動(dòng)的方式展開為第一狀態(tài)從而與所述下料儲(chǔ)料臺(tái)組件拼接和/或收起為不影響所述下料儲(chǔ)料臺(tái)組件的儲(chǔ)料性能的第二狀態(tài)。

17、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述下料組件包括下料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件,所述下料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件設(shè)置于所述下料臺(tái)組件,所述下料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件形成有能夠承載工件的承載空間,并且所述下料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件能夠?qū)⒊休d于其內(nèi)的工件沿至少一個(gè)方向翻轉(zhuǎn)設(shè)定的角度。

18、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述下料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件能將能夠?qū)⒊休d于其內(nèi)的工件至少繞其軸線翻轉(zhuǎn)一定的角度。

19、在第二方面,本實(shí)用新型提供了一種磨床,該磨床包括上下料組件,所述上下料組件包括:儲(chǔ)料臺(tái)組件;以及料臺(tái)組件;料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件,其設(shè)置于所述料臺(tái)組件,所述料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件形成有能夠承載工件的承載空間,并且所述料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件能夠?qū)⒊休d于其內(nèi)的工件沿至少一個(gè)方向翻轉(zhuǎn)設(shè)定的角度,從而:使得所述上下料組件能夠借助于料臺(tái)翻轉(zhuǎn)組件的翻轉(zhuǎn)作為所述磨床的上料組件或者下料組件。

20、在第三方面,本實(shí)用新型提供了一種磨床,該磨床包括轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)以及設(shè)置于所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)上的夾爪組件,所述夾爪組件包括:第一夾爪組件;以及第二夾爪組件;其中,所述第一夾爪組件和所述第二夾爪組件均能夠?qū)⒐ぜA持,并且所述第一夾爪組件和所述第二夾爪組件之間至少能夠產(chǎn)生靠近/遠(yuǎn)離彼此的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

21、通過這樣的構(gòu)成,能夠謀求通過兩個(gè)夾爪組件之間的配合將工件可靠地夾持于其中。

22、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定第一/第二夾爪組件的結(jié)構(gòu)形式、個(gè)數(shù)以及二者之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)的具體方式等。示例性地,第一/第二夾爪組件產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)的方式可以是其中一個(gè)夾爪組件運(yùn)動(dòng)也可以是兩個(gè)夾爪組件均運(yùn)動(dòng)。

23、此外,如除了滿足基本夾持的要求,還能夠通過其他形式的運(yùn)動(dòng)或者運(yùn)動(dòng)對(duì)夾持好的硅棒的姿態(tài)(如對(duì)中與否、傾斜與否等)進(jìn)行調(diào)節(jié)。

24、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述磨床還包括轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu),所述夾爪組件設(shè)置于所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)上,所述第一夾爪組件能夠固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)的固定夾爪組件,所述第二夾爪組件為能夠靠近/遠(yuǎn)離所述固定夾爪組件的調(diào)整夾爪組件。

25、通過這樣的構(gòu)成,給出了第一/第二夾爪組件實(shí)現(xiàn)二者之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的具體的結(jié)構(gòu)形式。如可以通過對(duì)固定夾爪組件是否固定于轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)的狀態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),從而使得二者之間以不同的方式實(shí)現(xiàn)相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

26、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定調(diào)整夾爪組件實(shí)現(xiàn)其靠近/遠(yuǎn)離固定夾爪組件的運(yùn)動(dòng)的具體的驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)方式,如可以通過齒輪副、絲杠螺母副、帶傳動(dòng)等方式來實(shí)現(xiàn)。

27、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)形式、個(gè)數(shù)、其與夾爪組件的配合方式及其能夠帶動(dòng)夾爪組件發(fā)生位置改變的方向范圍等。示例性地,能夠帶動(dòng)夾持于夾爪組件內(nèi)的硅棒使其產(chǎn)生沿長(zhǎng)度方向的位移等。

28、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述磨床包括切換組件,所述固定夾爪組件能夠借助于所述切換組件固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)或者與所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)之間發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

29、通過這樣的構(gòu)成,給出了固定夾爪組件設(shè)置于轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)的一種可能的運(yùn)動(dòng)方式。這樣一來,便可通過切換組件的切換方式,使得固定夾爪組件固定設(shè)置于轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)或者可活動(dòng)地設(shè)置轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu),如可以是發(fā)生與調(diào)整夾爪組件的運(yùn)動(dòng)形式、方向等類似的運(yùn)動(dòng)或者與其部分不同或者相對(duì)獨(dú)立的運(yùn)動(dòng)等。

30、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述夾爪組件包括夾爪基體以及設(shè)置于所述夾爪基體上的夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu),所述夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)調(diào)整夾爪組件以靠近/遠(yuǎn)離所述固定夾爪組件的方式運(yùn)動(dòng),其中,所述切換組件能夠使得所述夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述固定夾爪組件驅(qū)動(dòng)連接并因此帶動(dòng)所述夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),或者將所述夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述固定夾爪組件之間的驅(qū)動(dòng)連接解除并因此使得所述固定夾爪組件固定設(shè)置于所述夾爪基體。

31、通過這樣的構(gòu)成,給出了固定夾爪組件和調(diào)整夾爪件構(gòu)成夾爪組件的可能的方式。

32、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)其驅(qū)動(dòng)連接的具體形式以及與之相對(duì)應(yīng)的具體的驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)形式。如夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以是通過動(dòng)力缸等與調(diào)整夾爪組件之間直接驅(qū)動(dòng)連接或者通過中間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與調(diào)整夾爪組件之間驅(qū)動(dòng)連接,如傳動(dòng)機(jī)構(gòu)可以是帶傳動(dòng)、鏈傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng)等。

33、以及,可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定切換組件與夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)之間建立約束或者解除約束的具體方式。示例性地,夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力缸,切換組件能夠使得動(dòng)力缸的動(dòng)力輸出端與固定夾爪組件驅(qū)動(dòng)連接或者斷開連接。

34、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述夾爪橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu),所述夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)沿其輸送方向具有第一安裝位和第二安裝位,所述固定夾爪組件能夠設(shè)置于所述第一安裝位,所述調(diào)整夾爪組件設(shè)置于所述第二安裝位。

35、通過這樣的構(gòu)成,能夠謀求通過固定夾爪組件與第一安裝位之間的約束關(guān)系的調(diào)整使得固定夾爪組件固定或者活動(dòng)。

36、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)、第一/第二安裝位等的具體形式以及固定/調(diào)整夾爪組件固定至第一/第二安裝位上的具體實(shí)現(xiàn)方式等。如夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)可以為傳送帶、傳送鏈條等,第一/第二安裝位可以是安裝臺(tái)、安裝槽、安裝座等。

37、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述切換組件包括切換驅(qū)動(dòng)部件以及切換部件,所述切換驅(qū)動(dòng)部件能夠驅(qū)動(dòng)所述切換部件發(fā)生狀態(tài)變化并使得所述夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述固定夾爪組件之間建立約束或者解除約束。

38、通過這樣的構(gòu)成,給出了切換組件的一種可能的結(jié)構(gòu)形式。

39、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況確定切換部件的結(jié)構(gòu)形式及其在切換驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)下的狀態(tài)切換方式以及相應(yīng)的與固定夾爪組件之間建立約束/解除約束的具體實(shí)現(xiàn)方式等。示例性地,切換部件可以為板狀結(jié)構(gòu)、桿狀結(jié)構(gòu)等,其能夠在切換驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)下以通過如伸縮、轉(zhuǎn)動(dòng)等運(yùn)動(dòng)方式發(fā)生狀態(tài)的變化。

40、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述切換部件為壓緊結(jié)構(gòu),所述切換驅(qū)動(dòng)部件能夠驅(qū)動(dòng)所述壓緊結(jié)構(gòu)伸出并使得所述夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述固定夾爪組件之間建立約束。

41、通過這樣的構(gòu)成,給出了切換結(jié)構(gòu)的一種可能的結(jié)構(gòu)形式。

42、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述切換組件包括復(fù)位結(jié)構(gòu),以便:在所述夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述固定夾爪組件之間的約束被解除的情形下,所述固定夾爪組件借助于所述復(fù)位結(jié)構(gòu)處于所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)的設(shè)定位置。

43、通過這樣的構(gòu)成,能夠謀求保證固定夾爪組件在其位置相對(duì)固定時(shí)的位置可靠性,并因此保證了其與調(diào)整夾爪組件構(gòu)成夾爪組件時(shí)對(duì)工件的夾持可靠性。

44、在一種可能的實(shí)施方式中,所述復(fù)位結(jié)構(gòu)為復(fù)位彈簧和/或所述夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)為傳動(dòng)鏈條。

45、通過這樣的構(gòu)成,給出了夾爪橫向移動(dòng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的一種具體的形式。

46、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述固定夾爪組件包括:第一固定夾爪;以及第二固定夾爪;所述第一固定夾爪和所述第二固定夾爪能夠以靠近/遠(yuǎn)離彼此的方式相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

47、通過這樣的構(gòu)成,給出了固定夾爪組件的一種可能的結(jié)構(gòu)形式。

48、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述固定夾爪組件包括固定夾爪驅(qū)動(dòng)部件,所述固定夾爪驅(qū)動(dòng)部件能夠驅(qū)動(dòng)所述第一固定夾爪和所述第二固定夾爪以同步靠近/遠(yuǎn)離彼此的方式運(yùn)動(dòng)。

49、通過這樣的構(gòu)成,給出了固定夾爪組件夾緊或者松開工件的可能的實(shí)現(xiàn)方式。如固定夾爪驅(qū)動(dòng)部件可以直接驅(qū)動(dòng)(如固定夾爪驅(qū)動(dòng)部件為動(dòng)力缸、直線模組等)或者通過如齒輪齒條副等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)間接驅(qū)動(dòng)第一/第二固定夾爪運(yùn)動(dòng)。示例性地,第一固定夾爪和第二固定夾爪分別配置有一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī),驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過齒輪齒條副與相應(yīng)的第一/第二固定卡爪驅(qū)動(dòng)連接。

50、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述固定夾爪組件包括固定夾爪絲杠螺母機(jī)構(gòu),所述固定夾爪驅(qū)動(dòng)部件通過所述固定夾爪絲杠螺母機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述第一固定夾爪和所述第二固定夾爪以同步靠近/遠(yuǎn)離彼此的方式運(yùn)動(dòng)。

51、通過這樣的構(gòu)成,給出了固定夾爪組件的一種具體的結(jié)構(gòu)形式。如絲杠的上設(shè)置有與第一/第二固定卡爪對(duì)應(yīng)的兩段螺紋且兩段螺紋的旋向相反。

52、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪組件包括:第一調(diào)整夾爪;以及第二調(diào)整夾爪;所述第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪至少能夠以相對(duì)獨(dú)立的方式產(chǎn)生靠近/遠(yuǎn)離彼此的運(yùn)動(dòng)。

53、通過這樣的構(gòu)成,給出了調(diào)整夾爪組件的一種可能的構(gòu)成方式。如第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪可以采用相同或者不同的驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)二者的運(yùn)動(dòng)。

54、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪組件包括第一調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件,所述第一調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件能夠驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)于其的所述第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪中的一個(gè)產(chǎn)生靠近/遠(yuǎn)離另一個(gè)的運(yùn)動(dòng)。

55、通過這樣的構(gòu)成,給出了調(diào)整夾爪組件夾緊或者松開工件的可能的實(shí)現(xiàn)方式。與前述的固定夾爪驅(qū)動(dòng)部件類似,如第一調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件可以直接驅(qū)動(dòng)(如第一調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件為動(dòng)力缸、直線模組等)或者通過如絲杠螺母副等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)間接驅(qū)動(dòng)第一/第二調(diào)整夾爪運(yùn)動(dòng)。示例性地,第一調(diào)整夾爪和第二調(diào)整夾爪分別配置有一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī),驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過絲杠螺母副與相應(yīng)的第一/第二固定卡爪驅(qū)動(dòng)連接。

56、此外,由于調(diào)整夾爪組件中的兩個(gè)調(diào)整夾爪之間能夠沿靠近/遠(yuǎn)離彼此的方向相對(duì)獨(dú)立地運(yùn)動(dòng),因此還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的橫向位置的微調(diào)。示例性地,在將工件夾緊之后使兩個(gè)調(diào)整夾爪同步向同一個(gè)方向運(yùn)動(dòng),或者使兩個(gè)調(diào)整夾爪在將工件夾緊之前進(jìn)行如方向、幅度、發(fā)生時(shí)間有所區(qū)別的運(yùn)動(dòng)。

57、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪組件包括第一調(diào)整齒輪齒條副,所述第一調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件能夠通過第一調(diào)整齒輪齒條副驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)于所述第一調(diào)整齒輪齒條副的所述第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪中的一個(gè)產(chǎn)生靠近/遠(yuǎn)離另一個(gè)的運(yùn)動(dòng)。

58、通過這樣的構(gòu)成,給出了調(diào)整夾爪組件的一種具體的結(jié)構(gòu)形式。

59、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪組件包括第一調(diào)整導(dǎo)向結(jié)構(gòu),所述第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪能夠沿所述第一調(diào)整導(dǎo)向結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。

60、通過這樣的構(gòu)成,能夠謀求保證第一/第二調(diào)整夾爪在發(fā)生橫向移動(dòng)期間的可靠性。如第一調(diào)整導(dǎo)向結(jié)構(gòu)可以為導(dǎo)軌、導(dǎo)槽、導(dǎo)向軸等。

61、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪組件包括第二調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件,所述第二調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件能夠驅(qū)動(dòng)所述第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪產(chǎn)生沿豎直方向的運(yùn)動(dòng)。

62、通過這樣的構(gòu)成,能夠謀求在調(diào)整夾爪組件側(cè)以豎向微調(diào)的方式改變工件的局部位置,并因此調(diào)整待加工的姿態(tài)使其精度符合磨削標(biāo)準(zhǔn)。

63、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定第二調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件的結(jié)構(gòu)形式、個(gè)數(shù)、其與第一/第二調(diào)整夾爪的對(duì)應(yīng)關(guān)系及其驅(qū)動(dòng)第一/第二調(diào)整夾爪產(chǎn)生沿豎直方向的運(yùn)動(dòng)的具體方式等。如可以是:第一/第二調(diào)整夾爪分別配置有一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī),驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過齒輪齒條副驅(qū)動(dòng)相應(yīng)的第一/第二調(diào)整夾爪產(chǎn)生升降運(yùn)動(dòng);第一/第二調(diào)整夾爪配置有同一個(gè)動(dòng)力缸,第一/第二調(diào)整夾爪均設(shè)置于如支撐臺(tái)等載體,動(dòng)力缸與支撐臺(tái)驅(qū)動(dòng)連接;等。

64、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪組件包括偏心結(jié)構(gòu),所述第二調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件通過所述偏心結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪產(chǎn)生沿豎直方向的運(yùn)動(dòng)。

65、通過這樣的構(gòu)成,給出了第一/第二調(diào)整夾爪實(shí)現(xiàn)其升降運(yùn)動(dòng)的可能的實(shí)現(xiàn)方式,如偏心結(jié)構(gòu)可以偏心軸、凸輪等。

66、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪組件包括調(diào)整夾爪基體,所述調(diào)整夾爪基體包括活動(dòng)部分,所述活動(dòng)部分上具有預(yù)留空間,所述偏心結(jié)構(gòu)能夠與所述預(yù)留空間配合并因此使得所述第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪產(chǎn)生沿豎直方向的運(yùn)動(dòng)。

67、通過這樣的構(gòu)成,給出了調(diào)整夾爪組件的一種可能的結(jié)構(gòu)形式以及與之相對(duì)應(yīng)的偏心結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)其傳動(dòng)的可能的方式。如活動(dòng)部分可以為板狀結(jié)構(gòu)、塊狀結(jié)構(gòu)、筒狀結(jié)構(gòu)、支架等。

68、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪基體包括固定部分,所述第二調(diào)整夾爪驅(qū)動(dòng)部件設(shè)置于所述固定部分。

69、通過這樣的構(gòu)成,給出了調(diào)整夾爪組件的一種具體的結(jié)構(gòu)形式,如與活動(dòng)部分類似,固定部分可以為板狀結(jié)構(gòu)、塊狀結(jié)構(gòu)、筒狀結(jié)構(gòu)、支架等。

70、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述調(diào)整夾爪組件包括第二調(diào)整導(dǎo)向結(jié)構(gòu),所述活動(dòng)部分以及設(shè)置于所述活動(dòng)部分上的所述第一調(diào)整夾爪和所述第二調(diào)整夾爪能夠沿所述第二調(diào)整導(dǎo)向結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。

71、通過這樣的構(gòu)成,能夠謀求保證第一/第二調(diào)整夾爪在發(fā)生縱向移動(dòng)期間的可靠性。如第二調(diào)整導(dǎo)向結(jié)構(gòu)可以為導(dǎo)軌、導(dǎo)槽、導(dǎo)向軸等。如第一調(diào)整夾爪和第二調(diào)整夾爪通過前述的第一調(diào)整齒輪齒條副以及第一調(diào)整導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)置于活動(dòng)部分。

72、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述偏心結(jié)構(gòu)為凸輪。

73、通過這樣的構(gòu)成,給出了偏心結(jié)構(gòu)的一種具體的結(jié)構(gòu)形式。

74、對(duì)于上述磨床,在一種可能的實(shí)施方式中,所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)包括:第一移動(dòng)組件,所述夾爪組件能夠借助于所述第一移動(dòng)組件沿水平方向運(yùn)動(dòng);并且/或者第二移動(dòng)組件,所述夾爪組件能夠借助于所述第二移動(dòng)組件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)。

75、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定第一/第二移動(dòng)組件的具體形式以及與之相對(duì)應(yīng)的運(yùn)動(dòng)得以實(shí)現(xiàn)的具體方式等。以其中的第一移動(dòng)組件為例,如可以是:動(dòng)力缸、直線模組等與夾爪組件直接驅(qū)動(dòng)連接;電機(jī)等通過齒輪齒條副、絲杠螺母機(jī)構(gòu)等與夾爪組建間接驅(qū)動(dòng)連接;等。

76、在第二方面,本實(shí)用新型提供了一種磨床,該磨床為臥式磨床,所述臥式磨床包括:夾持組件,其包括第一夾頭和第二夾頭,工件能夠被夾持于所述第一夾頭和所述第二夾頭之間;以及磨削組件,其能夠以沿徑向靠近/遠(yuǎn)離工件的方式運(yùn)動(dòng);所述臥式磨床還包括:滑臺(tái)機(jī)構(gòu),所述磨削組件以可滑動(dòng)的方式設(shè)置于所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu),以便:在工件被所述夾持組件夾持好的狀態(tài)下,通過所述磨削組件在所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)上沿工件的軸向運(yùn)動(dòng)的方式對(duì)工件進(jìn)行磨削。

77、通過這樣的構(gòu)成,能夠謀求通過工件(如硅棒)不動(dòng)、磨削組件動(dòng)的方式完成磨削作業(yè)。由于工件的運(yùn)動(dòng)往往需要預(yù)留較大的空間,因此這樣的作業(yè)方式能夠明顯地節(jié)省對(duì)應(yīng)于磨削區(qū)的空間。此外,由于磨削作業(yè)進(jìn)行期間工件處于相對(duì)靜止的狀態(tài),因此能夠更好地保證夾持狀態(tài)下的工件的位姿精度,在此基礎(chǔ)上便能夠有效地保證工件的磨削精度。

78、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定第一/第二夾頭的結(jié)構(gòu)形式。如通過第一/第二夾頭的同步轉(zhuǎn)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)工件的不同磨削位置的切換,通過第一/第二夾頭相對(duì)彼此的運(yùn)動(dòng)從而對(duì)工件夾緊,如第一/第二夾頭中的一個(gè)為動(dòng)夾頭另一個(gè)為定夾頭,或者第一/第二夾頭均為動(dòng)夾頭。

79、可以理解的是,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求確定滑臺(tái)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)形式、個(gè)數(shù)及其與磨削組件實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)連接的具體形式等,如可以包括但不限于:滑臺(tái)機(jī)構(gòu)上具有與磨削組件配合連接的導(dǎo)軌,驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過絲杠螺母機(jī)構(gòu)、齒輪齒條機(jī)構(gòu)等與磨削組件驅(qū)動(dòng)連接。

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