本技術(shù)涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及一種真空鍍膜設(shè)備及其載板頂升機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、在真空鍍膜設(shè)備中，需要在腔體內(nèi)設(shè)置頂升機(jī)構(gòu)，頂升機(jī)構(gòu)用于頂升裝有半導(dǎo)體的載板。真空腔體具有較高的密封要求，從而防止工藝氣體和真空環(huán)境泄露，因此現(xiàn)有技術(shù)中的頂升機(jī)構(gòu)采用如下設(shè)置方式：在設(shè)備的底部設(shè)置有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌上通過滑塊連接有舉升架，舉升架通過電機(jī)帶動(dòng)絲杠進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。舉升架上設(shè)置有頂桿，頂桿穿過設(shè)備底部的通孔后，與腔體內(nèi)的舉升平臺(tái)連接。頂桿外套設(shè)有波紋管，從而實(shí)現(xiàn)腔體的密封。

2、但是在上述結(jié)構(gòu)中，設(shè)備底部需要設(shè)置滑軌、舉升架等結(jié)構(gòu)，使得舉升機(jī)構(gòu)整體占用空間大。波紋管成本較高，且在多次往復(fù)伸縮后存在破損隱患，使用壽命較短。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、因此，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜設(shè)備的舉升機(jī)構(gòu)占用空間大，成本較高的缺陷，從而提供一種真空鍍膜設(shè)備及其載板頂升機(jī)構(gòu)。

2、為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種真空鍍膜設(shè)備的載板頂升機(jī)構(gòu)，包括：容納結(jié)構(gòu)，容納結(jié)構(gòu)具有底壁和側(cè)壁，并形成腔體，底壁上設(shè)置有安裝孔；舉升平臺(tái)，設(shè)置在腔體內(nèi)；傳動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)軸穿過安裝孔，傳動(dòng)軸的第一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，傳動(dòng)軸的第二端與舉升平臺(tái)連接，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)舉升平臺(tái)升降；磁流體密封結(jié)構(gòu)，設(shè)置在安裝孔處，并套設(shè)在傳動(dòng)軸外。

3、可選地，傳動(dòng)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在安裝孔處，傳動(dòng)軸的第一端設(shè)置有外螺紋，舉升平臺(tái)的下側(cè)設(shè)置有螺紋孔，傳動(dòng)軸的第一端穿設(shè)在螺紋孔內(nèi)。

4、可選地，舉升平臺(tái)的下側(cè)設(shè)置有連接法蘭，螺紋孔設(shè)置在連接法蘭上。

5、可選地，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)，電機(jī)的電機(jī)軸與傳動(dòng)軸傳動(dòng)連接。

6、可選地，載板頂升設(shè)備還包括減速機(jī)構(gòu)，減速機(jī)構(gòu)設(shè)置在電機(jī)的電機(jī)軸與傳動(dòng)軸之間。

7、可選地，安裝孔為多個(gè)，每個(gè)安裝孔處均設(shè)置有磁流體密封結(jié)構(gòu)，傳動(dòng)軸為多個(gè)，多個(gè)傳動(dòng)軸一一對(duì)應(yīng)地穿設(shè)在安裝孔內(nèi)。

8、可選地，載板頂升機(jī)構(gòu)還包括傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)多個(gè)傳動(dòng)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。

9、可選地，傳動(dòng)結(jié)構(gòu)包括齒輪傳動(dòng)結(jié)構(gòu)、皮帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)或者鏈輪傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。

10、可選地，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)缸，驅(qū)動(dòng)缸的推桿形成傳動(dòng)軸。

11、本實(shí)用新型還提供了一種真空鍍膜設(shè)備，包括上述的載板頂升機(jī)構(gòu)。

12、本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：

13、利用本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，在容納結(jié)構(gòu)的底壁的安裝孔上設(shè)置有磁流體密封結(jié)構(gòu)，因此傳動(dòng)軸可以直接穿過安裝孔與舉升平臺(tái)連接。磁流體密封結(jié)構(gòu)保證腔體的密封性能。上述結(jié)構(gòu)中，設(shè)備底部不必再設(shè)置舉升架、滑軌等機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)軸能夠直接穿過安裝孔與舉升平臺(tái)連接，減小了載板頂升機(jī)構(gòu)的占用體積和成本。因此本實(shí)用新型的技術(shù)方案解決了現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜設(shè)備的舉升機(jī)構(gòu)占用空間大，成本較高的缺陷。

技術(shù)特征：

1.一種真空鍍膜設(shè)備的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)軸(40)可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述安裝孔(13)處，所述傳動(dòng)軸(40)的第一端設(shè)置有外螺紋，所述舉升平臺(tái)(30)的下側(cè)設(shè)置有螺紋孔(31)，所述傳動(dòng)軸(40)的第一端穿設(shè)在所述螺紋孔(31)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述舉升平臺(tái)(30)的下側(cè)設(shè)置有連接法蘭(32)，所述螺紋孔(31)設(shè)置在所述連接法蘭(32)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(50)包括電機(jī)，所述電機(jī)的電機(jī)軸與所述傳動(dòng)軸(40)傳動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述載板頂升機(jī)構(gòu)還包括減速機(jī)構(gòu)(70)，所述減速機(jī)構(gòu)(70)設(shè)置在所述電機(jī)的電機(jī)軸與所述傳動(dòng)軸(40)之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述安裝孔(13)為多個(gè)，每個(gè)所述安裝孔(13)處均設(shè)置有所述磁流體密封結(jié)構(gòu)(60)，所述傳動(dòng)軸(40)為多個(gè)，多個(gè)所述傳動(dòng)軸(40)一一對(duì)應(yīng)地穿設(shè)在所述安裝孔(13)內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述載板頂升機(jī)構(gòu)還包括傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過所述傳動(dòng)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述傳動(dòng)軸(40)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)結(jié)構(gòu)包括齒輪傳動(dòng)結(jié)構(gòu)、皮帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)或者鏈輪傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載板頂升機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)缸，所述驅(qū)動(dòng)缸的推桿形成所述傳動(dòng)軸(40)。

10.一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的載板頂升機(jī)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種真空鍍膜設(shè)備及其載板頂升機(jī)構(gòu)，其中，真空鍍膜設(shè)備的載板頂升機(jī)構(gòu)包括：容納結(jié)構(gòu)，容納結(jié)構(gòu)具有底壁和側(cè)壁，并形成腔體，底壁上設(shè)置有安裝孔；舉升平臺(tái)，設(shè)置在腔體內(nèi)；傳動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)軸穿過安裝孔，傳動(dòng)軸的第一端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，傳動(dòng)軸的第二端與舉升平臺(tái)連接，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)舉升平臺(tái)升降；磁流體密封結(jié)構(gòu)，設(shè)置在安裝孔處，并套設(shè)在傳動(dòng)軸外。述結(jié)構(gòu)中，設(shè)備底部不必再設(shè)置舉升架、滑軌等機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)軸能夠直接穿過安裝孔與舉升平臺(tái)連接，減小了載板頂升機(jī)構(gòu)的占用體積和成本。因此本技術(shù)的技術(shù)方案解決了現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜設(shè)備的舉升機(jī)構(gòu)占用空間大，成本較高的缺陷。

技術(shù)研發(fā)人員：石鵬飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株洲三一硅能技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240509
技術(shù)公布日：2025/5/15