本技術(shù)涉及pvd裝置，具體涉及一種pvd真空鍍膜工件架。

背景技術(shù)：

1、pvd是在真空條件下，用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術(shù)；是一種能夠真正獲得微米級(jí)鍍層且無(wú)污染的環(huán)保型表面處理方法。

2、現(xiàn)有pvd鍍膜裝置內(nèi)通過(guò)工件架對(duì)工件進(jìn)行固定，而針對(duì)不同的工件結(jié)構(gòu)和濺鍍方式，工件架的結(jié)構(gòu)也不同，可以是靜止工件架，基片轉(zhuǎn)架和多自由度工件架?；诠ぜ鶆?yàn)R鍍的需求，常采用轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu)的工件架，通過(guò)轉(zhuǎn)架上的夾具夾持工件或者卡接結(jié)構(gòu)與工件凹凸配合實(shí)現(xiàn)固定。例如，現(xiàn)有長(zhǎng)條狀汽車內(nèi)飾件在采用pvd鍍膜裝置進(jìn)行真空濺鍍鍍膜時(shí)，將內(nèi)飾件固定在遮蔽工裝中，再將裝有內(nèi)飾件的遮蔽工裝放置在工件架上，采用工件架上下兩個(gè)轉(zhuǎn)架設(shè)置的通孔與遮蔽工裝凹凸卡接配合，上述固定方式通過(guò)兩點(diǎn)固定內(nèi)飾件的方案，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，避免內(nèi)飾件在轉(zhuǎn)動(dòng)濺鍍的過(guò)程中晃動(dòng)影響鍍層的均勻性，然而兩點(diǎn)卡接對(duì)上下轉(zhuǎn)架之間的距離調(diào)節(jié)精度要求較高，操作較繁瑣，影響工作效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種pvd真空鍍膜工件架，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單，便于調(diào)節(jié)，提高工作效率。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種pvd真空鍍膜工件架，包括旋轉(zhuǎn)支架、微動(dòng)定位件以及彈性拉緊件；所述旋轉(zhuǎn)支架的側(cè)面設(shè)置有所述微動(dòng)定位件和第一定位部，所述微動(dòng)定位件設(shè)置有第二定位部，所述第一定位部與所述第二定位部均具有側(cè)向開口，所述第一定位部設(shè)置于所述第二定位部的所述旋轉(zhuǎn)支架軸向側(cè)方；所述微動(dòng)定位件通過(guò)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)支架連接并沿所述旋轉(zhuǎn)支架軸向運(yùn)動(dòng)；所述彈性拉緊件的兩端分別與所述微動(dòng)定位件和所述旋轉(zhuǎn)支架連接。

3、優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述旋轉(zhuǎn)支架包括轉(zhuǎn)軸、上轉(zhuǎn)架和下轉(zhuǎn)架，所述上轉(zhuǎn)架和所述下轉(zhuǎn)架套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸；所述上轉(zhuǎn)架和所述下轉(zhuǎn)架之一周向設(shè)置有所述第一定位部，另一周向設(shè)置所述微動(dòng)定位件。

4、優(yōu)選的技術(shù)方案為，還包括伸縮調(diào)節(jié)件，所述伸縮調(diào)節(jié)件的兩端分別與所述上轉(zhuǎn)架和所述下轉(zhuǎn)架連接并沿所述旋轉(zhuǎn)支架軸向設(shè)置于所述上轉(zhuǎn)架和所述下轉(zhuǎn)架之間；所述上轉(zhuǎn)架和所述下轉(zhuǎn)架之一相對(duì)于所述轉(zhuǎn)軸固定，另一通過(guò)所述伸縮調(diào)節(jié)件沿所述旋轉(zhuǎn)支架軸向運(yùn)動(dòng)。

5、優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述第一定位部和所述第二定位部之一為凹槽，另一為通孔，所述凹槽的槽口朝向所述通孔設(shè)置。

6、優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)向長(zhǎng)孔和穿設(shè)于所述導(dǎo)向長(zhǎng)孔的限位銷，所述導(dǎo)向長(zhǎng)孔設(shè)置于所述微動(dòng)定位件或所述旋轉(zhuǎn)支架之一，所述限位銷設(shè)置于所述微動(dòng)定位件或所述旋轉(zhuǎn)支架另一。

7、優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述彈性拉緊件為拉簧。

8、優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述彈性拉緊件繞設(shè)于所述上轉(zhuǎn)架，所述彈性拉緊件一端與一所述微動(dòng)定位件連接，另一端與另一所述微動(dòng)定位件連接。

9、優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述微動(dòng)定位件設(shè)置有連接部，沿所述旋轉(zhuǎn)支架軸向所述連接部設(shè)置于所述導(dǎo)向長(zhǎng)孔的上方。

10、本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于：通過(guò)第一定位部、第二定位部與工件之間的凹凸配合實(shí)現(xiàn)工件的一次定位；且兩點(diǎn)定位的方式使工件定位的穩(wěn)定性更高。

11、通過(guò)微動(dòng)定位件、導(dǎo)向結(jié)構(gòu)以及彈性拉緊件的配合實(shí)現(xiàn)二次定位；彈性拉緊件驅(qū)使微動(dòng)定位件沿導(dǎo)向結(jié)構(gòu)朝向或背離第一定位部移動(dòng)，進(jìn)而將工件抵接于第一定位部與微動(dòng)定位件之間實(shí)現(xiàn)二次定位。

12、該實(shí)用新型設(shè)置兩次定位調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)工件的定位，一次定位通過(guò)沿所述旋轉(zhuǎn)支架軸向設(shè)置的第一定位部、第二定位部，限制工件只能沿所述旋轉(zhuǎn)支架軸向方向有移動(dòng)；二次定位通過(guò)彈性拉緊件的自調(diào)節(jié)性驅(qū)使微動(dòng)定位件沿導(dǎo)向結(jié)構(gòu)朝向或背離第一定位部移動(dòng)，調(diào)節(jié)第一定位部與第二定位部之間的距離，使工件完全抵接于第一定位部與第二定位部之間，進(jìn)一步限制工件在旋轉(zhuǎn)支架軸線方向上的移動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)工件的固定。兩次定位的方式在保證定位穩(wěn)定性高的同時(shí)，操作簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)方便，提高工作效率。

技術(shù)特征：

1.一種pvd真空鍍膜工件架，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)支架（1）、微動(dòng)定位件（2）以及彈性拉緊件（3）；所述旋轉(zhuǎn)支架（1）的側(cè)面設(shè)置有所述微動(dòng)定位件（2）和第一定位部（11），所述微動(dòng)定位件（2）設(shè)置有第二定位部（21），所述第一定位部（11）與所述第二定位部（21）均具有側(cè)向開口（211），所述第一定位部（11）設(shè)置于所述第二定位部（21）的所述旋轉(zhuǎn)支架（1）軸向側(cè)方；所述微動(dòng)定位件（2）通過(guò)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)（4）與所述旋轉(zhuǎn)支架（1）連接并沿所述旋轉(zhuǎn)支架（1）軸向運(yùn)動(dòng)；所述彈性拉緊件（3）的兩端分別與所述微動(dòng)定位件（2）和所述旋轉(zhuǎn)支架（1）連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的pvd真空鍍膜工件架，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)支架（1）包括轉(zhuǎn)軸（12）、上轉(zhuǎn)架（13）和下轉(zhuǎn)架（14），所述上轉(zhuǎn)架（13）和所述下轉(zhuǎn)架（14）套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸（12）；所述上轉(zhuǎn)架（13）和所述下轉(zhuǎn)架（14）之一周向設(shè)置有所述第一定位部（11），另一周向設(shè)置所述微動(dòng)定位件（2）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的pvd真空鍍膜工件架，其特征在于，還包括伸縮調(diào)節(jié)件（5），所述伸縮調(diào)節(jié)件（5）的兩端分別與所述上轉(zhuǎn)架（13）和所述下轉(zhuǎn)架（14）連接并沿所述旋轉(zhuǎn)支架（1）軸向設(shè)置于所述上轉(zhuǎn)架（13）和所述下轉(zhuǎn)架（14）之間；所述上轉(zhuǎn)架（13）和所述下轉(zhuǎn)架（14）之一相對(duì)于所述轉(zhuǎn)軸（12）固定，另一通過(guò)所述伸縮調(diào)節(jié)件（5）沿所述旋轉(zhuǎn)支架（1）軸向運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的pvd真空鍍膜工件架，其特征在于，所述第一定位部（11）和所述第二定位部（21）之一為凹槽，另一為通孔，所述凹槽的槽口（212）朝向所述通孔設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的pvd真空鍍膜工件架，其特征在于，所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)（4）包括導(dǎo)向長(zhǎng)孔（41）和穿設(shè)于所述導(dǎo)向長(zhǎng)孔（41）的限位銷（42），所述導(dǎo)向長(zhǎng)孔（41）設(shè)置于所述微動(dòng)定位件（2）或所述旋轉(zhuǎn)支架（1）之一，所述限位銷（42）設(shè)置于所述微動(dòng)定位件（2）或所述旋轉(zhuǎn)支架（1）另一。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的pvd真空鍍膜工件架，其特征在于，所述彈性拉緊件（3）為拉簧。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的pvd真空鍍膜工件架，其特征在于，所述彈性拉緊件（3）繞設(shè)于所述上轉(zhuǎn)架（13），所述彈性拉緊件（3）一端與一所述微動(dòng)定位件（2）連接，另一端與另一所述微動(dòng)定位件（2）連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的pvd真空鍍膜工件架，其特征在于，所述微動(dòng)定位件（2）設(shè)置有連接部（22），沿所述旋轉(zhuǎn)支架（1）軸向所述連接部（22）設(shè)置于所述導(dǎo)向長(zhǎng)孔（41）的上方。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種PVD真空鍍膜工件架，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)支架、微動(dòng)定位件以及彈性拉緊件；旋轉(zhuǎn)支架的側(cè)面設(shè)置有微動(dòng)定位件和第一定位部，微動(dòng)定位件設(shè)置有第二定位部，第一定位部與第二定位部均具有側(cè)向開口，第一定位部設(shè)置于第二定位部的旋轉(zhuǎn)支架軸向側(cè)方；微動(dòng)定位件通過(guò)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)支架連接并沿旋轉(zhuǎn)支架軸向運(yùn)動(dòng)；彈性拉緊件的兩端分別與微動(dòng)定位件和旋轉(zhuǎn)支架連接。該技術(shù)設(shè)置兩次定位調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)工件的定位，穩(wěn)定性高，操作簡(jiǎn)單，便于調(diào)節(jié)，提高工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：李凌劍,王華,惠煥宇,陸曉忠,馬國(guó)江
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江陰市羽項(xiàng)汽車飾件有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240613
技術(shù)公布日：2025/5/15