靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種在離子束輔助沉積鍍膜時對靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置，屬于一種夾具。
【背景技術】
[0002 ]離子束輔助沉積鍍膜作為一種金屬材料表面改性的手段，可以實現(xiàn)向金屬材料表面注入任何種類的元素而不受元素間固溶度的限制。離子束輔助沉積鍍膜不僅可以改變金屬材料的表面特性，如:材料表面的力學性能、物理性能、抗腐蝕性能等，還可保證材料的光潔度與精度，且不影響材料的基體性能。在離子束輔助沉積鍍膜過程中，靶材的位置和角度直接影響著靶材到工件的距離和角度，進而影響工件的表面特性，此外，不同的工件形狀和大小對靶材的位置和角度要求也不盡相同?，F(xiàn)有技術中的支撐裝置無法滿足不同類型的工件進行離子束輔助沉積鍍膜時對靶材的角度和距離的要求。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是提供一種靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置，以解決現(xiàn)有技術中的支撐裝置無法滿足不同類型的工件進行離子束輔助沉積鍍膜時對靶材的角度和距離的要求的問題。
[0004]為了實現(xiàn)以上目的，本實用新型采用如下技術方案:一種靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置，包括導軌支架，導軌支架上滑動導向裝配有工作臺，工作臺上螺紋傳動裝配有絲杠，導軌支架的一端固定有移動電機，移動電機通過減速器驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，工作臺上轉(zhuǎn)動裝配有旋轉(zhuǎn)平臺，旋轉(zhuǎn)平臺上止轉(zhuǎn)裝配有蝸輪，蝸輪與一蝸桿嚙合傳動，所述蝸桿由固定在工作臺上的旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動。
[0005]所述的蝸輪通過轉(zhuǎn)軸止轉(zhuǎn)裝配在旋轉(zhuǎn)平臺上，所述轉(zhuǎn)軸的下端固定在旋轉(zhuǎn)平臺上，蝸輪止轉(zhuǎn)裝配在轉(zhuǎn)軸上。
[0006]所述的蝸輪通過與轉(zhuǎn)軸的一體設置止轉(zhuǎn)裝配在轉(zhuǎn)軸上。
[0007]所述的蝸桿通過聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接。
[0008]本實用新型的工作臺由旋轉(zhuǎn)電機通過絲杠驅(qū)動沿著導軌支架移動，用來進行位置調(diào)整，而工作臺上的旋轉(zhuǎn)平臺由轉(zhuǎn)動電機通過蝸輪蝸桿機構(gòu)驅(qū)動轉(zhuǎn)動，用來進行角度調(diào)整，將靶材設置在工作臺上，根據(jù)不同工件對靶材的角度和距離的要求，調(diào)整工作臺的位置，同時調(diào)整旋轉(zhuǎn)平臺的角度帶動靶材轉(zhuǎn)動即可，使得靶材能滿足不同類型的工件進行離子束輔助沉積鍍膜時對靶材的角度和距離的要求。同時，通過調(diào)整靶材的角度和距離，提高了工件鍍膜效率且保證了鍍膜的均勻性;另外，本實用新型的結(jié)構(gòu)簡單，不易損壞;制造簡單，維護成本低;體積小巧，可在空間有限的鍍膜設備真空室內(nèi)放置多個，空間利用率高，生產(chǎn)效率尚O
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2是圖1的左視圖；
[0011]圖3是圖1的俯視圖。
【具體實施方式】
[0012]—種靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置的實施例，在圖1、圖2以及圖3中，其導軌支架4上滑動設置有工作臺3，工作臺3導向設置在導軌支架4上，也就是說，工作臺只能沿著導軌支架4設定的方向移動，工作臺3的中間開設有螺紋通孔，工作臺3的螺紋通孔中傳動裝配有絲杠9，絲杠9的延伸方向與導軌支架4的延伸方向一樣，在導軌支架4的一端固定有移動電機I，移動電機I的輸出軸通過聯(lián)軸器與減速器2的輸入軸相連，減速器2的輸出軸通過聯(lián)軸器與絲杠9相連。移動電機I驅(qū)動絲杠9轉(zhuǎn)動，絲杠9就會驅(qū)動工作臺3移動。在工作臺3上轉(zhuǎn)動裝配有旋轉(zhuǎn)平臺5，在旋轉(zhuǎn)平臺5上固定設置有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸的下端固定在旋轉(zhuǎn)平臺5上，在轉(zhuǎn)軸上一體設置有蝸輪7，在工作臺3上固定裝配有旋轉(zhuǎn)電機6，旋轉(zhuǎn)電機6的輸出軸上通過聯(lián)軸器連接有蝸桿8，蝸桿8與蝸輪7嚙合傳動，旋轉(zhuǎn)電機6轉(zhuǎn)動就可以帶動蝸桿轉(zhuǎn)動最終驅(qū)動旋轉(zhuǎn)平臺5轉(zhuǎn)動。
[0013]在鍍膜時，進行如下步驟:將靶材放置在工作臺3上;靶材的移動通過移動電機I將動力傳遞給減速器，減速器提供一定的轉(zhuǎn)動速率再將動力通過絲杠傳遞給工作臺3，從而調(diào)節(jié)靶材與工件之間的距離;旋轉(zhuǎn)電機6則通過蝸桿8將動力傳遞給蝸輪7，蝸輪的轉(zhuǎn)動帶動旋轉(zhuǎn)平臺5的旋轉(zhuǎn)，動旋轉(zhuǎn)平臺5帶動靶材相對于工作臺轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)靶材與工件之間的角度調(diào)整。
【主權項】
1.一種靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置，其特征在于:包括導軌支架，導軌支架上滑動導向裝配有工作臺，工作臺上螺紋傳動裝配有絲杠，導軌支架的一端固定有移動電機，移動電機通過減速器驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，工作臺上轉(zhuǎn)動裝配有旋轉(zhuǎn)平臺，旋轉(zhuǎn)平臺上止轉(zhuǎn)裝配有蝸輪，蝸輪與一蝸桿嚙合傳動，所述蝸桿由固定在工作臺上的旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動。2.根據(jù)權利要求1所述的靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置，其特征在于:所述的蝸輪通過轉(zhuǎn)軸止轉(zhuǎn)裝配在旋轉(zhuǎn)平臺上，所述轉(zhuǎn)軸的下端固定在旋轉(zhuǎn)平臺上，蝸輪止轉(zhuǎn)裝配在轉(zhuǎn)軸上。3.根據(jù)權利要求2所述的靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置，其特征在于:所述的蝸輪通過與轉(zhuǎn)軸的一體設置止轉(zhuǎn)裝配在轉(zhuǎn)軸上。4.根據(jù)權利要求3所述的靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置，其特征在于:所述的蝸桿通過聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接。
【專利摘要】本實用新型公開了一種靶材的旋轉(zhuǎn)移動支撐裝置，包括導軌支架，導軌支架上滑動導向裝配有工作臺，工作臺上螺紋傳動裝配有絲杠，導軌支架的一端固定有移動電機，移動電機通過減速器驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動，工作臺上轉(zhuǎn)動裝配有旋轉(zhuǎn)平臺，旋轉(zhuǎn)平臺上止轉(zhuǎn)裝配有蝸輪，蝸輪與一蝸桿嚙合傳動，所述蝸桿由固定在工作臺上的旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動。本實用新型的工作臺由旋轉(zhuǎn)電機通過絲杠驅(qū)動沿著導軌支架移動，用來進行位置調(diào)整，而工作臺上的旋轉(zhuǎn)平臺由轉(zhuǎn)動電機通過蝸輪蝸桿機構(gòu)驅(qū)動轉(zhuǎn)動，用來進行角度調(diào)整，使得靶材能滿足不同類型的工件進行離子束輔助沉積鍍膜時對靶材的角度和距離的要求。
【IPC分類】C23C14/48
【公開號】CN205329152
【申請?zhí)枴緾N201620093579
【發(fā)明人】王志新, 馬明星, 張志漢, 張憲斌
【申請人】鄭州啟航精密科技有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2016年1月29日