本技術(shù)涉及單晶爐，特別涉及具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、單晶爐是一種在惰性氣體（如氮?dú)?、氦氣）環(huán)境中，使用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，并通過(guò)直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備，其是晶體生長(zhǎng)設(shè)備的一種，主要用于制造硅、鍺、砷化鎵、yag等人工晶體。

2、然而現(xiàn)有的單晶爐，其副爐并不能對(duì)生長(zhǎng)完成的晶體棒進(jìn)行限位，當(dāng)上升、旋轉(zhuǎn)副爐，以此開(kāi)啟副爐，進(jìn)行卸除晶體棒的過(guò)程中，晶體棒只有上端連接，其下端在慣性的作用下，將會(huì)在副爐內(nèi)晃動(dòng)，從而可能會(huì)與副爐內(nèi)壁產(chǎn)生碰撞，以此可能會(huì)對(duì)副體爐或晶體棒造成損壞。

3、為了解決該技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出了具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的主要目的在于提供具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，可以有效解決背景技術(shù)中提到的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為：

3、具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，包括主體爐，所述主體爐上端設(shè)置有副體爐，所述副體爐下端連接有支撐環(huán)，所述支撐環(huán)上端連接有限位夾持機(jī)構(gòu)，所述限位夾持機(jī)構(gòu)包括環(huán)形殼，所述環(huán)形殼內(nèi)設(shè)置有環(huán)形槽，所述環(huán)形槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有齒環(huán)，所述環(huán)形殼內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有一號(hào)齒輪、二號(hào)齒輪，所述環(huán)形殼內(nèi)連接有一號(hào)電機(jī)，所述環(huán)形殼內(nèi)連接有軌道板，所述軌道板內(nèi)滑動(dòng)連接有齒板，所述齒板側(cè)端連接有限位板，所述副體爐內(nèi)開(kāi)設(shè)有連通槽。

4、優(yōu)選的，所述限位夾持機(jī)構(gòu)位于副體爐外端，所述齒環(huán)外端設(shè)置有齒牙，所述齒環(huán)與一號(hào)齒輪嚙合，所述一號(hào)電機(jī)驅(qū)動(dòng)端與一號(hào)齒輪連接。

5、優(yōu)選的，所述齒板側(cè)端設(shè)置有齒牙，所述二號(hào)齒輪分別與齒環(huán)、齒板嚙合，所述限位板側(cè)端設(shè)置有棉墊，該棉墊側(cè)端開(kāi)設(shè)有防滑槽。

6、優(yōu)選的，所述限位板位于連通槽內(nèi)，所述限位板的厚度與副體爐的厚度相同、材質(zhì)相同，所述限位板與連通槽連接處設(shè)置有耐高溫密封條。

7、優(yōu)選的，所述副體爐外端連接有支撐架，所述副體爐側(cè)端設(shè)置有支撐柱，所述支撐柱下端連接有安裝板，所述支撐柱側(cè)端連接有二號(hào)電機(jī)。

8、優(yōu)選的，所述支撐柱側(cè)端連接有固定塊，所述固定塊內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)桿，所述二號(hào)電機(jī)驅(qū)動(dòng)端與轉(zhuǎn)桿連接，所述轉(zhuǎn)桿外端連接有支撐板，所述支撐板位于支撐架的上下端。

9、優(yōu)選的，所述支撐板內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋桿，所述螺紋桿螺紋連接在支撐架內(nèi)，所述螺紋桿上端連接有渦輪，所述渦輪位于支撐板上端，所述支撐板上端連接與三號(hào)電機(jī)。

10、優(yōu)選的，所述三號(hào)電機(jī)驅(qū)動(dòng)端連接有渦桿，所述渦桿與渦輪嚙合，所述支撐板內(nèi)連接有軌道桿，所述軌道桿滑動(dòng)連接在支撐架內(nèi)，所述支撐板側(cè)端設(shè)置有激光測(cè)距筆，所述激光測(cè)距筆與三號(hào)電機(jī)通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接，所述激光測(cè)距筆將激光打在支撐架上表面。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果：

12、本實(shí)用新型中，通過(guò)設(shè)置有限位夾持機(jī)構(gòu)，能夠?qū)Ω斌w爐內(nèi)生產(chǎn)的晶體棒進(jìn)行限位夾持，以此防止其晃動(dòng)，具體為在將副體爐抬升前，啟動(dòng)一號(hào)電機(jī)將通過(guò)一號(hào)齒輪、齒環(huán)、二號(hào)齒輪，帶動(dòng)全部的齒板移動(dòng)，使限位板向副體爐內(nèi)部移動(dòng)，以此通過(guò)限位板對(duì)晶體棒進(jìn)行夾持固定，以此進(jìn)行限位，能夠提升裝置的穩(wěn)定性，避免在副體爐上升、轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)致晶體棒晃動(dòng)與副體爐內(nèi)壁碰撞，可能會(huì)造成副體爐或晶體棒損壞的情況。

13、本實(shí)用新型中，通過(guò)設(shè)置有渦輪、渦桿、激光測(cè)距筆，啟動(dòng)三號(hào)電機(jī)將帶動(dòng)渦桿旋轉(zhuǎn)，渦桿旋轉(zhuǎn)與渦輪作用，將能夠帶動(dòng)螺紋桿旋轉(zhuǎn)，支撐架在螺紋桿與軌道桿的作用下，將能夠向上移動(dòng)，且通過(guò)激光測(cè)距筆能夠測(cè)量支撐架上升的距離，從而能夠得知副體爐的上升距離，當(dāng)副體爐上升到設(shè)定高度時(shí)，此時(shí)激光測(cè)距筆將向三號(hào)電機(jī)傳輸該信息，從而能夠使其停止運(yùn)轉(zhuǎn)，而渦輪與渦桿之間能夠?qū)崿F(xiàn)自鎖，從而可以有效防止螺紋桿旋轉(zhuǎn)，能夠?qū)χ渭?、副體爐的高度進(jìn)行鎖定，以此可以對(duì)副體爐的高度進(jìn)行限位。

技術(shù)特征：

1.具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，包括主體爐（1），其特征在于：所述主體爐（1）上端設(shè)置有副體爐（2），所述副體爐（2）下端連接有支撐環(huán)（3），所述支撐環(huán)（3）上端連接有限位夾持機(jī)構(gòu)（4），所述限位夾持機(jī)構(gòu)（4）包括環(huán)形殼（5），所述環(huán)形殼（5）內(nèi)設(shè)置有環(huán)形槽（6），所述環(huán)形槽（6）內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有齒環(huán)（7），所述環(huán)形殼（5）內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有一號(hào)齒輪（8）、二號(hào)齒輪（9），所述環(huán)形殼（5）內(nèi)連接有一號(hào)電機(jī)（10），所述環(huán)形殼（5）內(nèi)連接有軌道板（11），所述軌道板（11）內(nèi)滑動(dòng)連接有齒板（12），所述齒板（12）側(cè)端連接有限位板（13），所述副體爐（2）內(nèi)開(kāi)設(shè)有連通槽（14）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述限位夾持機(jī)構(gòu)（4）位于副體爐（2）外端，所述齒環(huán)（7）外端設(shè)置有齒牙，所述齒環(huán)（7）與一號(hào)齒輪（8）嚙合，所述一號(hào)電機(jī)（10）驅(qū)動(dòng)端與一號(hào)齒輪（8）連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述齒板（12）側(cè)端設(shè)置有齒牙，所述二號(hào)齒輪（9）分別與齒環(huán)（7）、齒板（12）嚙合，所述限位板（13）側(cè)端設(shè)置有棉墊，該棉墊側(cè)端開(kāi)設(shè)有防滑槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述限位板（13）位于連通槽（14）內(nèi)，所述限位板（13）的厚度與副體爐（2）的厚度相同、材質(zhì)相同，所述限位板（13）與連通槽（14）連接處設(shè)置有耐高溫密封條。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述副體爐（2）外端連接有支撐架（15），所述副體爐（2）側(cè)端設(shè)置有支撐柱（16），所述支撐柱（16）下端連接有安裝板，所述支撐柱（16）側(cè)端連接有二號(hào)電機(jī)（17）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐柱（16）側(cè)端連接有固定塊（18），所述固定塊（18）內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)桿（19），所述二號(hào)電機(jī)（17）驅(qū)動(dòng)端與轉(zhuǎn)桿（19）連接，所述轉(zhuǎn)桿（19）外端連接有支撐板（20），所述支撐板（20）位于支撐架（15）的上下端。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐板（20）內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋桿（21），所述螺紋桿（21）螺紋連接在支撐架（15）內(nèi)，所述螺紋桿（21）上端連接有渦輪（22），所述渦輪（22）位于支撐板（20）上端，所述支撐板（20）上端連接與三號(hào)電機(jī)（23）。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述三號(hào)電機(jī)（23）驅(qū)動(dòng)端連接有渦桿（24），所述渦桿（24）與渦輪（22）嚙合，所述支撐板（20）內(nèi)連接有軌道桿（25），所述軌道桿（25）滑動(dòng)連接在支撐架（15）內(nèi)，所述支撐板（20）側(cè)端設(shè)置有激光測(cè)距筆（26），所述激光測(cè)距筆（26）與三號(hào)電機(jī)（23）通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接，所述激光測(cè)距筆（26）將激光打在支撐架（15）上表面。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，涉及單晶爐領(lǐng)域，本技術(shù)所述的具有限位功能的單晶爐副爐升降結(jié)構(gòu)，包括主體爐，所述主體爐上端設(shè)置有副體爐，所述副體爐下端連接有支撐環(huán)，所述支撐環(huán)上端連接有限位夾持機(jī)構(gòu)，所述限位夾持機(jī)構(gòu)包括環(huán)形殼。通過(guò)設(shè)置有限位夾持機(jī)構(gòu)，能夠?qū)Ω斌w爐內(nèi)生產(chǎn)的晶體棒進(jìn)行限位夾持，具體為在將副體爐抬升前，啟動(dòng)一號(hào)電機(jī)將通過(guò)一號(hào)齒輪、齒環(huán)、二號(hào)齒輪，帶動(dòng)全部的齒板移動(dòng)，使限位板向副體爐內(nèi)部移動(dòng)，以此對(duì)晶體棒進(jìn)行夾持固定，以此能夠提升裝置的穩(wěn)定性，避免在副體爐上升、轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)致晶體棒晃動(dòng)與副體爐內(nèi)壁碰撞，可能會(huì)造成副體爐或晶體棒損壞的情況。

技術(shù)研發(fā)人員：李帥,劉小明,吳海嘯,武建華,王平,陳曉明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：內(nèi)蒙古和光新能源股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240812
技術(shù)公布日：2025/5/15