本實(shí)用新型涉及基片清洗的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種玻璃基片的清洗設(shè)備。

背景技術(shù)：

在光電器件制造過程中，需要對(duì)玻璃基片進(jìn)行清洗處理，現(xiàn)有玻璃基片清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)大多如圖1所示，該清洗設(shè)備包括箱體1，箱體1具有頂部開口和內(nèi)腔，內(nèi)腔中平行成型有兩塊隔板13，兩塊隔板13將內(nèi)腔分割為位于兩側(cè)的側(cè)槽11和位于兩個(gè)側(cè)槽之間的清洗腔體12；水平穿設(shè)在箱體上且相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)噴淋管41，以及位于兩個(gè)噴淋管41之間的傳動(dòng)軸5；側(cè)槽11的頂部開口位于兩個(gè)噴淋管41之間，并在側(cè)槽11的頂部開口上通過密封膠固定有蓋板2；以及在箱體1的頂部開口上設(shè)置的圓錐形的上蓋3，也即上蓋3的縱向截面形狀為“人”字型。

在需要對(duì)玻璃基片7清洗時(shí)，玻璃基片7放置在傳動(dòng)軸5上，在傳動(dòng)軸5的帶動(dòng)下不斷地向前移動(dòng)，相對(duì)的兩個(gè)噴淋管41上的噴嘴不斷地向基片7的兩側(cè)表面噴清洗溶液，來(lái)對(duì)玻璃基片7的兩側(cè)表面進(jìn)行清洗。

但是，此結(jié)構(gòu)的清洗設(shè)備，位于下方的噴淋管在向上高壓噴射清洗溶液時(shí)，必然有部分的溶液噴射到現(xiàn)有技術(shù)“人”字形的上蓋的內(nèi)壁面上；同時(shí)，箱體內(nèi)會(huì)有大量的水汽在上蓋內(nèi)壁面上凝結(jié)，在重力作用下，凝結(jié)和殘留在上蓋內(nèi)壁面的溶液沿著上蓋的內(nèi)壁面和箱體的內(nèi)壁面不斷地滴落在側(cè)槽的蓋板上，大量溶液滴落在蓋板上時(shí)，使得密封膠長(zhǎng)期浸泡在溶液中，會(huì)影響蓋板與側(cè)槽之間的密封性能，降低其使用壽命。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基片的清洗設(shè)備中側(cè)槽上的密封膠容易被損壞，蓋板與側(cè)槽之間的密封性能差的問題。

為此，本實(shí)用新型提供一種玻璃基片的清洗設(shè)備，包括

箱體，具有內(nèi)腔和頂部開口，沿其長(zhǎng)度方向，所述內(nèi)腔中成型有平行設(shè)置的兩塊隔板，兩個(gè)所述隔板分別與所述箱體的內(nèi)壁面之間形成側(cè)槽，兩所述側(cè)槽之間形成清洗腔體；

蓋板，一一對(duì)應(yīng)且通過密封膠固定在所述側(cè)槽的頂部開口上；

噴淋結(jié)構(gòu)，為至少兩個(gè)，水平相對(duì)設(shè)置在所述清洗腔體內(nèi)，所述蓋板位于兩個(gè)所述噴淋結(jié)構(gòu)之間；

上蓋，可拆卸地設(shè)置在所述箱體的頂部開口上；

所述上蓋的邊緣成型有朝向所述內(nèi)腔凹陷的引流部，所述引流部的底部位于所述清洗腔體的正上方，用于引導(dǎo)凝結(jié)在所述引流部?jī)?nèi)壁面上的溶液回落在所述清洗腔體內(nèi)。

優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述引流部的縱向截面形狀為V形，所述V形的開口朝向外界，其底部朝向所述內(nèi)腔。

進(jìn)一步優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述V形的夾角角度為130-165°。

優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述上蓋的邊緣還具有朝向所述內(nèi)腔延伸的環(huán)形部，所述引流部位于所述環(huán)形部的內(nèi)腔，以使所述上蓋的縱向截面形狀為M形；

所述上蓋通過所述環(huán)形部固定在所述箱體的內(nèi)壁面上。

進(jìn)一步優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述箱體的頂部開口內(nèi)壁面具有朝向所述清洗腔體方向水平延伸的環(huán)形安裝臺(tái)；

所述環(huán)形部的底部安裝在所述環(huán)形安裝臺(tái)上。

更佳優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述引流部為圓錐形，，所述圓錐形的錐尖朝向所述內(nèi)腔。

優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述引流部的縱向截面形狀為梯形，并且，所述梯形的短邊位于所述清洗腔體的正上方。

進(jìn)一步優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述引流部為圓錐臺(tái)。

優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述噴淋結(jié)構(gòu)包括穿設(shè)在所述箱體兩側(cè)表面上的噴淋管，間隔安裝在所述噴淋管壁面上的至少兩個(gè)噴嘴，以及與所述噴淋管連接的溶液供給機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選地，上述的玻璃基片的清洗設(shè)備，還包括水平穿設(shè)在所述箱體兩側(cè)壁上的至少一個(gè)傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸位于所述清洗腔體內(nèi)以及兩個(gè)所述噴淋裝置之間，用于輸送放置在其上的玻璃基片

本實(shí)用新型技術(shù)方案，具有如下優(yōu)點(diǎn)：

1.本實(shí)用新型提供的玻璃基片的清洗設(shè)備，包括箱體、蓋板、兩個(gè)噴淋結(jié)構(gòu)以及上蓋，箱體具有內(nèi)腔和頂部開口，沿其長(zhǎng)度方向，內(nèi)腔中成型有平行設(shè)置的兩塊隔板，兩個(gè)所述隔板分別與所述箱體的內(nèi)壁面之間形成側(cè)槽，兩所述側(cè)槽之間形成清洗腔體；蓋板一一對(duì)應(yīng)且通過密封膠固定在所述側(cè)槽的頂部開口上；兩個(gè)噴淋結(jié)構(gòu)水平相對(duì)設(shè)置在所述清洗腔體內(nèi)，所述蓋板位于兩個(gè)所述噴淋結(jié)構(gòu)之間；上蓋可拆卸地設(shè)置在所述箱體的頂部開口上；上蓋的邊緣成型有朝向所述內(nèi)腔凹陷的引流部，所述引流部的底部位于所述清洗腔體的正上方，用于引導(dǎo)凝結(jié)在所述引流部?jī)?nèi)壁面上的溶液順著所述引流部滴落在所述側(cè)槽之間的清洗腔體內(nèi)。

此結(jié)構(gòu)的玻璃基片的清洗設(shè)備，上蓋邊緣的朝向內(nèi)腔設(shè)置有引流部，當(dāng)清洗基板時(shí)，即使在引流部的內(nèi)壁面凝結(jié)或噴射有溶液，溶液會(huì)及時(shí)沿著引流部的內(nèi)壁面流到其底部，再回落到清洗腔體內(nèi)，從而減少了側(cè)壁蓋板上的殘留的溶液量，對(duì)側(cè)槽與蓋板之間的密封膠起到保護(hù)作用，提高密封膠的使用壽命，確保蓋板與側(cè)槽頂部開口處的密封性能；同時(shí)，回流的溶液再次進(jìn)入清洗腔體內(nèi)對(duì)玻璃基片的表面進(jìn)行清洗，形成溶液的循環(huán)利用，減少溶液的浪費(fèi)。

2.本實(shí)用新型提供的玻璃基片的清洗設(shè)備，引流部的縱向截面形狀為V形，所述V形的開口朝向外界，其底部朝向所述內(nèi)腔。V形的引流部能夠使得凝結(jié)或噴射在其內(nèi)壁面上的溶液及時(shí)經(jīng)V形底部回流到清洗腔體內(nèi)，進(jìn)一步確保殘留在引流部上的溶液不會(huì)滴落在側(cè)槽的蓋板上。

3.本實(shí)用新型提供的玻璃基片的清洗設(shè)備，所述V形的夾角角度為130-165°。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)V形的夾角，使得凝結(jié)或噴射在引流部?jī)?nèi)壁面上的溶液及時(shí)地回流到清洗腔體內(nèi)。防止當(dāng)角度過小時(shí)，引流部的底部伸入內(nèi)腔深度大，與噴淋管相碰；或者當(dāng)角度過大時(shí)，凝結(jié)在引流部上的溶液不能及時(shí)地回流，溶液在重力作用下，有少量溶液還是會(huì)滴落在側(cè)槽的蓋板上。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的玻璃基片的清洗設(shè)備側(cè)向的剖面示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例1中提供的玻璃基片的清洗設(shè)備側(cè)向的剖面示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1中提供的玻璃基片的清洗設(shè)備中A處的局部放大圖；

附圖標(biāo)記說明：1-箱體；11-側(cè)槽；12-清洗腔體；13-隔板；14-環(huán)形安裝臺(tái)；2-蓋板；3-上蓋；31-引流部；32-環(huán)形部；41-噴淋管；42-噴嘴；5-傳動(dòng)軸；6-把手；7-玻璃基片；a-V形的夾角；8-密封膠。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。

此外，下面所描述的本實(shí)用新型不同實(shí)施方式中所涉及的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互結(jié)合。

實(shí)施例1

本實(shí)施例提供一種玻璃基片的清洗設(shè)備，如圖2和圖3所示，包括箱體1、蓋板2、兩個(gè)噴淋結(jié)構(gòu)、上蓋3、把手6以及傳動(dòng)軸5。

如圖2所示，箱體1具有內(nèi)腔和頂部開口，沿其長(zhǎng)度方向，內(nèi)腔中成型有平行設(shè)置的兩塊隔板13，兩個(gè)隔板13分別與箱體1的內(nèi)壁面之間形成側(cè)槽11，兩個(gè)側(cè)槽11之間形成清洗腔體12。兩個(gè)側(cè)槽11的頂部開口通過密封膠8分別固定有一個(gè)蓋板2。

兩個(gè)噴淋結(jié)構(gòu)水平相對(duì)設(shè)置在清洗腔體12內(nèi)，如圖2所示，一個(gè)噴淋結(jié)構(gòu)包括穿設(shè)在箱體1兩側(cè)表面上的噴淋管41，間隔安裝在噴淋管41壁面上的多個(gè)噴嘴42，以及與噴淋管41連接的溶液供給機(jī)構(gòu)(圖中未示出)，例如，在箱體1外單獨(dú)設(shè)置一個(gè)溶液倉(cāng)，通過高壓泵將溶液倉(cāng)內(nèi)的溶液輸送至噴淋管41內(nèi)，并經(jīng)噴嘴42向外噴出，形成高壓噴射方式。兩個(gè)噴淋結(jié)構(gòu)中的兩個(gè)噴淋管41的噴嘴42相對(duì)設(shè)置，以對(duì)基板的兩側(cè)表面進(jìn)行清洗，上述的蓋板2位于兩個(gè)噴淋管41之間。

如圖2所示，上蓋3的邊緣具有朝向內(nèi)腔凹陷的引流部31。優(yōu)選地，引流部31的縱向截面形狀為V形，V形的開口朝向外界，其底部朝向內(nèi)腔，并位于清洗腔體12的正上方，V形的夾角a角度為150°；同時(shí)，上蓋3的邊緣還具有朝向內(nèi)腔延伸的環(huán)形部32，縱向截面為V形的引流部31位于環(huán)形部32的內(nèi)腔，以使上蓋3的縱向截面形狀為M形。

箱體1頂部開口內(nèi)壁面具有朝向清洗腔體12方向水平延伸的環(huán)形安裝臺(tái)14，環(huán)形部32的底部安裝在環(huán)形安裝臺(tái)14上。例如，環(huán)形安裝臺(tái)14上開設(shè)卡槽，環(huán)形部32的底部卡入卡槽內(nèi)，從而將上蓋3固定在箱體1的內(nèi)壁面上。

此外，在縱向截面為V形的引流部31的頂部表面上設(shè)置兩個(gè)對(duì)稱的把手6，便于上蓋3的取放。傳動(dòng)軸5為多個(gè)，多個(gè)傳動(dòng)軸5水平穿設(shè)在箱體1兩側(cè)壁上，傳動(dòng)軸5位于清洗腔體12內(nèi)以及兩個(gè)噴淋管41之間，用于輸送放置在其上的玻璃基片7。

此實(shí)施方式的清洗設(shè)備，需要對(duì)玻璃基片7清洗時(shí)，玻璃基片7放置在傳動(dòng)軸5上，傳動(dòng)軸5不斷轉(zhuǎn)動(dòng)過程中，驅(qū)動(dòng)玻璃基片7向前運(yùn)行；兩個(gè)噴淋管41上的噴嘴42分別對(duì)玻璃基片7的頂部表面和底部表面噴射清洗溶液，對(duì)玻璃基片7的兩側(cè)表面進(jìn)行清洗；位于下方的噴淋管41噴出的溶液噴射在引流部31的內(nèi)壁面上，或者大量的水汽凝結(jié)在引流部31的內(nèi)壁面上時(shí)，溶液能夠及時(shí)地沿著V形引流部31的內(nèi)壁面流到V形的底部，再滴落回到清洗腔體12內(nèi)，甚至滴落在玻璃基片7上對(duì)玻璃基片7的表面再次清洗，形成溶液的二次利用，減少溶液的浪費(fèi)和提高清洗效率。同時(shí)，上蓋3的邊緣處不會(huì)凝結(jié)溶液或凝結(jié)的溶液很少，對(duì)應(yīng)地滴落在側(cè)槽11蓋板2上的溶液量很少，減少殘留在蓋板2上的溶液，從而對(duì)側(cè)槽11與蓋板2之間的密封膠8起到保護(hù)作用，提高密封膠8的壽命和蓋設(shè)側(cè)槽11與蓋板2之間的密封性能。

作為可替換的實(shí)施方式，傳動(dòng)軸5的個(gè)數(shù)還可以為一個(gè)、兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)等等，具體設(shè)置的個(gè)數(shù)由實(shí)際使用情況而定。作為變形，傳動(dòng)軸5還可以被其他的輸送結(jié)構(gòu)代替，例如滑軌。

作為可替換的實(shí)施方式，噴淋管41上的噴嘴42的個(gè)數(shù)可以為兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)等等，具體設(shè)置個(gè)數(shù)由實(shí)際使用情況而定。作為進(jìn)一步變形，噴淋裝置的個(gè)數(shù)可以為多個(gè)，多個(gè)噴淋裝置平行設(shè)置，來(lái)對(duì)玻璃基片7的兩側(cè)表面進(jìn)行清洗。作為變形，噴淋裝置還可以為現(xiàn)有的其他噴灑裝置。

作為變形，把手6還可以僅設(shè)置一個(gè)，或者三個(gè)、四個(gè)等等，或者還可以不設(shè)置上述的把手6。

作為變形，上蓋3的環(huán)形部32與環(huán)形安裝臺(tái)14的固定方式還可以為其他方式，只需將二者可拆卸地設(shè)置即可，例如采用緊固件將上蓋3與箱體1的頂部開口連接。

作為變形，上蓋3還可以不設(shè)置上述的環(huán)形部32，只具有上述縱向截面形狀為V形的引流部31，直接將引流部31蓋設(shè)在箱體1的頂部開口上。

作為變形，上述V形的夾角a角度還可以為130°、135°、140°、145°、155°、165°等等。最佳地，將該夾角的角度控制在130°-165°范圍內(nèi)。防止當(dāng)角度過小時(shí)，引流部31的底部伸入內(nèi)腔深度大，與噴淋管41相碰；或者防止當(dāng)角度過大時(shí)，凝結(jié)在引流部31上的溶液不能及時(shí)地回流，溶液在重力作用下，有少量溶液還是會(huì)滴落在側(cè)槽11的蓋板2上。

作為變形，上述引流部31的縱向截面形狀還可以為梯形，并且，梯形的短邊位于清洗腔體12的正上方，例如圓錐臺(tái)；或者，引流部31為圓錐形，圓錐形的錐尖朝向內(nèi)腔；或者，還可以為其他形狀，只需成型在上蓋3的邊緣且朝向內(nèi)腔向下凹陷，其底部位于清洗腔體12的正上方，用于引導(dǎo)凝結(jié)在引流部31內(nèi)壁面上的溶液回落在清洗腔體12內(nèi)即可。

顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動(dòng)仍處于本實(shí)用新型創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。