具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件的制作方法
【專利摘要】一種具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件包括由多個(gè)彼此疊加布置的層(11，12，13)構(gòu)成的層疊(10)。在層中的至少一個(gè)第一層(11)中包含測(cè)量傳感器裝置(20)以用于測(cè)量與傳感器的環(huán)境壓力不同的測(cè)量參量。在層的第一層或至少一個(gè)第二層(12)中包含壓力測(cè)量裝置(30)以用于測(cè)量傳感器元件的一側(cè)(S1)上的環(huán)境中的空氣壓力或者包含通道(40)以用于使壓力測(cè)量裝置(30)耦接到傳感器元件的一側(cè)(S1)上的環(huán)境處。
【專利說明】具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件，空氣壓力測(cè)量裝置實(shí)現(xiàn)由傳感器元件所測(cè)定的測(cè)量值的壓力補(bǔ)償。
【背景技術(shù)】
[0002]在汽車領(lǐng)域中時(shí)主要應(yīng)用λ傳感器形式的氧氣傳感器。這種傳感器測(cè)量體積流中的氧氣。當(dāng)然，不能推斷關(guān)于體積流的全部氧氣含量，因?yàn)槿绻麘?yīng)用耦接于參考空氣環(huán)境的傳感器，那么測(cè)定的氧氣含量取決于測(cè)量空間中占主導(dǎo)的部分壓力以及可能還取決于參考空氣壓力。為了測(cè)定傳感器元件的環(huán)境中的空氣壓力，需要空氣壓力測(cè)量裝置，空氣壓力測(cè)量裝置通常借助于與傳感器元件分開的空氣壓力測(cè)量器來實(shí)現(xiàn)。在分開的壓力測(cè)量之后，隨后需要以運(yùn)算的方式進(jìn)行壓力補(bǔ)償計(jì)算，以便能夠測(cè)定測(cè)量氣體中的總氧含量。
[0003]在參考文獻(xiàn)DE69724746T2中描述微設(shè)備-承載系統(tǒng)(Mikrovorrichtung-Tragesystem)。微設(shè)備-承載系統(tǒng)包括彼此結(jié)合的層疊，該層疊用作為空氣通道、微執(zhí)行器和傳感器。傳感器還能夠包括壓力傳感器，該壓力傳感器能夠嵌入到層疊層的其中一個(gè)中。
[0004]在參考文獻(xiàn)DE10117486A1中示出設(shè)計(jì)為導(dǎo)熱傳感器的半導(dǎo)體器件的不同的實(shí)施方案，其中導(dǎo)熱傳感器的一個(gè)實(shí)施方案包括溫度探針和加熱元件。根據(jù)所需要的、用來保持限定的或恒定的溫度的加熱功率能夠確定環(huán)境壓力和/或氣體的類型或成分。
[0005]參考文獻(xiàn)DE102010018499A1涉及一種具有層疊和層疊內(nèi)部中的空腔的電路板多層結(jié)構(gòu)?？涨挥捎谠O(shè)置在層疊中的開口而暴露于環(huán)境的壓力并且借助于液體可通流經(jīng)過的薄膜覆蓋。根據(jù)一個(gè)實(shí)施方案，薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)氣體擴(kuò)散。
[0006]參考文獻(xiàn)DE102009044645A1涉及一種用于利用至少一個(gè)消耗層在微電子的和/或微機(jī)械的結(jié)構(gòu)中制造至少一個(gè)微腔的方法，其中通過升華消耗層的材料分解消耗層并且在結(jié)構(gòu)中形成微腔。
[0007]參考文獻(xiàn)DE102004043356A1涉及一種用于制造微機(jī)械的傳感器元件的方法，其中借助于槽刻蝕工藝(TrenchStyprozesses )從兩個(gè)不同持續(xù)時(shí)間的槽步驟中在基板中產(chǎn)生空洞。傳感器元件還能夠用于檢測(cè)壓力大小和空氣質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]所期望的是，提出具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件，通過空氣壓力測(cè)量裝置實(shí)現(xiàn)直接借助傳感器元件執(zhí)行需要用于由傳感器元件所確定的測(cè)量值的壓力補(bǔ)償?shù)膲毫y(cè)量。
[0009]根據(jù)一個(gè)實(shí)施方案，具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件包括由多個(gè)彼此疊加設(shè)置的層構(gòu)成的層疊，其中在層的至少一個(gè)第一層中包含測(cè)量傳感器裝置，用于測(cè)量與傳感器的環(huán)境壓力不同的測(cè)量參量。在層的第一層或?qū)拥闹辽僖粋€(gè)第二層中包含壓力測(cè)量裝置，用于測(cè)量傳感器元件的一側(cè)上的環(huán)境中的空氣壓力或者包含通道，用于將壓力測(cè)量裝置耦接到傳感器元件的一側(cè)上的環(huán)境處。
[0010]在傳感器元件中，對(duì)用于測(cè)量與傳感器的環(huán)境壓力不同的測(cè)量參量的、包含在層疊中的測(cè)量傳感器裝置進(jìn)行壓力測(cè)量功能的擴(kuò)展。測(cè)量傳感器裝置例如能夠設(shè)計(jì)為用于測(cè)量傳感器元件的環(huán)境的氧氣含量。壓力測(cè)量裝置能夠以適合用于進(jìn)行絕對(duì)的和相對(duì)的壓力測(cè)量的方式構(gòu)成。用于耦接壓力測(cè)量裝置的通道能夠包含在層疊的一個(gè)層中用于將氣體引導(dǎo)到外部的壓力測(cè)量裝置上。在傳感器元件的持續(xù)加熱的測(cè)量探棒中，測(cè)量探棒同時(shí)作為用于基板中的開始的空氣通道的、抵擋濕氣和顆粒(熱解)的清潔阻擋部。壓力測(cè)量裝置布置為，使得在廢氣環(huán)境中也在參考環(huán)境的冷卻的、清潔的接觸區(qū)域中實(shí)現(xiàn)空氣壓力測(cè)量。為了接觸壓力測(cè)量裝置，能夠使用電極的用于氧氣測(cè)量的部分。
[0011]傳感器元件的構(gòu)造能夠根據(jù)多層陶瓷工藝的現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行。能夠通過磨削層疊的晶片表面進(jìn)行壓力測(cè)量單元的平衡。為了減小公差能夠?qū)盈B的中設(shè)置有壓力測(cè)量裝置的空腔(Cavity)區(qū)域的區(qū)域進(jìn)行磨削和拋光。
[0012]能夠從從屬權(quán)利要求中得出傳感器元件的其他的實(shí)施方案。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]下面根據(jù)示出本發(fā)明的實(shí)施例的附圖詳細(xì)闡述本發(fā)明。其示出:
[0014]圖1示出用于測(cè)定氣體的氧含量的寬帶探針的一個(gè)實(shí)施方案，
[0015]圖2A示出寬帶探針的加熱裝置和扁平元件的立體圖，
[0016]圖2B示出貫穿寬帶探針的加熱裝置的橫截面，
[0017]圖2C示出貫穿寬帶探針的扁平元件的橫截面，
[0018]圖3不出扁平的結(jié)構(gòu)形式的傳感器兀件的一個(gè)實(shí)施方案，
[0019]圖4示出具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件的一個(gè)實(shí)施方案，
[0020]圖5A示出具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件的壓力測(cè)量裝置的一個(gè)實(shí)施方案，
[0021]圖5B示出具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件的壓力測(cè)量裝置的一個(gè)實(shí)施方案，
[0022]圖6A示出具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件的壓力測(cè)量裝置的一個(gè)實(shí)施方案，
[0023]圖6B示出具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件的壓力測(cè)量裝置的一個(gè)實(shí)施方案，
[0024]圖7示出具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件的另一實(shí)施方案，
[0025]圖8示出具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件的另一實(shí)施方案。
【具體實(shí)施方式】
[0026]圖1示出用于測(cè)量傳感器元件的環(huán)境中的氧氣含量的傳感器元件的一個(gè)實(shí)施方案，傳感器元件設(shè)計(jì)為寬帶探針。寬帶探針包括測(cè)量傳感器裝置20和加熱裝置60。測(cè)量傳感器裝置20具有多孔的擴(kuò)散通路21，22和檢測(cè)腔23。擴(kuò)散通路和檢測(cè)腔能夠設(shè)置在由氧化鋯(ZrO2)構(gòu)成的基板中。加熱裝置60能夠設(shè)計(jì)為陶瓷的加熱元件，該加熱元件包含在由氧化鋁(Al2O3)構(gòu)成的基板中。[0027]圖2A示出具有用于測(cè)量氧氣含量的測(cè)量傳感器裝置20和加熱裝置60的傳感器元件的立體圖，該加熱裝置和測(cè)量裝置以堆疊布置的方式彼此疊加地設(shè)置。圖2B示出貫穿加熱裝置60的傳感器元件的區(qū)域A-A’中的橫截面并且圖2C示出貫穿測(cè)裝置20的傳感器元件的區(qū)域A-A’中的橫截面。測(cè)量傳感器裝置20以適合于測(cè)量傳感器元件的環(huán)境中的氧氣含量的方式構(gòu)成并且包括傳感器單元23和泵單元24，該傳感器單元和泵單元彼此疊加地設(shè)置在層疊中。評(píng)估電路100在電極端子Al和A2之間產(chǎn)生泵浦電流lp，該泵浦電流是氧氣測(cè)量傳感器裝置的環(huán)境中的λ值的測(cè)量參量。
[0028]為了測(cè)量傳感器元件的環(huán)境的氧氣含量，環(huán)境的氣體經(jīng)由多孔的擴(kuò)散通路21、22到達(dá)到測(cè)量腔23中，在該測(cè)量腔中氧氣含量借助于測(cè)量電極來確定并且與額定值進(jìn)行比較。然后，將泵浦電流Ip激活作為該比較測(cè)量的結(jié)果，泵浦電流將檢測(cè)腔22中的氧氣濃度調(diào)節(jié)到額定值。經(jīng)由傳感器泵浦電流Icp能夠?qū)⑦@樣測(cè)量的λ值轉(zhuǎn)發(fā)給控制儀器以用于評(píng)估。泵浦電流與傳感器元件的環(huán)境中的剩余氧氣含量成比例。
[0029]圖3、4、7和8分別示出扁平的結(jié)構(gòu)形式的傳感器元件的一個(gè)實(shí)施形式，該傳感器元件適合于測(cè)量傳感器元件的環(huán)境中的氧氣含量。傳感器元件尤其能夠設(shè)計(jì)為λ傳感器。傳感器元件具有由多個(gè)彼此疊加設(shè)置的層11，12和13構(gòu)成的層疊10。層疊10能夠由陶瓷材料構(gòu)成。層11在較高溫度的情況下、例如在大于650°C的情況下對(duì)于氧離子而言以傳導(dǎo)的方式構(gòu)成，為此例如能夠包含氧化鋯。在層11中，在傳感器元件I的一側(cè)SI上設(shè)置有測(cè)量傳感器裝置20，該測(cè)量傳感器裝置根據(jù)圖2C中示出的形式設(shè)置有傳感器單元，該傳感器單元能夠具有測(cè)量腔和泵單元。
[0030]層12能夠設(shè)計(jì)為絕緣層并且具有由氧化鋁(Al2O3)構(gòu)成的材料。在層12中，在傳感器元件的一側(cè)SI附近在測(cè)量傳感器裝置20之下能夠包含加熱裝置60。加熱裝置60為此設(shè)計(jì)為加熱圍繞測(cè)量傳感器裝置20的擴(kuò)散區(qū)域。在設(shè)置在層11和12之間的層13中布置有通道50。層13同樣能夠是絕緣層，該絕緣層包含由氧化鋁構(gòu)成的材料。通道50的一端50a通入傳感器元件的外部環(huán)境中，通道50的另一端部E50b終止于測(cè)量傳感器裝置20和加熱裝置60之間的層13中。通道50終止于層13在測(cè)量傳感器裝置20之下和加熱裝置60之上的部段中。通道50設(shè)計(jì)為參考空氣通道，含氧的參考空氣從傳感器元件的環(huán)境中穿過該參考空氣通道到達(dá)至具有測(cè)量傳感器裝置20的擴(kuò)散區(qū)域。為了接觸測(cè)量傳感器裝置20，在層11上設(shè)有電極端子E1。層12上的電極端子E2用于電接觸加熱元件60。
[0031]傳感器元件能夠用于測(cè)定傳感器元件的環(huán)境中的測(cè)量氣體中的氧氣含量。為此，將傳感器元件的部段A引入到測(cè)量環(huán)境中。測(cè)量環(huán)境例如能夠是廢氣流。傳感器元件的一個(gè)部段B布置在參考空氣的環(huán)境中。
[0032]借助圖3的傳感器元件I能夠確定圍繞測(cè)量傳感器裝置20的測(cè)量環(huán)境中的氧氣值。所確定的氧氣值與測(cè)量環(huán)境的氣體體積中的部分壓力相關(guān)。為了得出測(cè)量傳感器裝置的環(huán)境中的測(cè)量氣體中的真實(shí)的氧含量，也必須測(cè)量在虛線左側(cè)的傳感器元件的側(cè)Si上的測(cè)量氣體的部分壓力和虛線右側(cè)的傳感器元件的側(cè)S2上的測(cè)量其他的部分壓力。直觀地，虛線將測(cè)量環(huán)境與參考空氣的環(huán)境分開。
[0033]在第一近似中，如果假設(shè)環(huán)境壓力，那么參考空氣的部分壓力認(rèn)為是恒定的。在用于測(cè)量傳感器元件的環(huán)境的氧氣含量的傳感器元件的圖4和7中示出的實(shí)施方案2和3中在層疊10的層的至少一個(gè)中包含壓力測(cè)量裝置30。在傳感器元件的圖8中示出的實(shí)施方案4中，在層疊的層的其中一個(gè)層中包含通道40，用于將壓力測(cè)量裝置30耦接到傳感器元件的環(huán)境處。壓力測(cè)量裝置30設(shè)計(jì)用于測(cè)量傳感器元件的環(huán)境中的空氣壓力。
[0034]在傳感器元件的圖4中示出的實(shí)施方案2中，包含用于測(cè)量層12中的傳感器元件的環(huán)境壓力的壓力測(cè)量裝置30。在此，與參考空氣通道50的端部E50a相比，壓力測(cè)量裝置30更接近于測(cè)量傳感器裝置20地布置。此外，與參考空氣通道50的端部E50a相比，壓力測(cè)量裝置30更接近于測(cè)量加熱裝置60地布置。壓力測(cè)量裝置30因此還能夠位于傳感器元件的加熱的區(qū)域中。
[0035]圖5A、5B、6A和6B示出壓力測(cè)量裝置30的實(shí)施方案。壓力測(cè)量裝置30設(shè)計(jì)為電感性的壓力傳感器，該壓力傳感器具有第一電極31、第二電極32、空腔33和薄膜34。電極31和32設(shè)置在空腔33的相對(duì)置的側(cè)上。空腔33構(gòu)造在層12中。電極31在層13的表面013上布置在通道50下方。電極32在壓力測(cè)量裝置的圖5A和6A中示出的實(shí)施方案中布置在底部上并且可選地布置在空腔33的側(cè)壁上。如在圖5B和6B中示出，電極32能夠設(shè)置在層12的背向?qū)?3的表面012上。電極31設(shè)置在層13的朝向?qū)?2的表面013上。
[0036]在圖5A和5B中示出的實(shí)施方案中，壓力測(cè)量裝置30設(shè)計(jì)為絕對(duì)壓力測(cè)量裝置。與此不同的是，在圖6A和6B中示出的實(shí)施方案中，壓力測(cè)量裝置30設(shè)計(jì)為相對(duì)壓力測(cè)量裝置。參考空氣通道50為了輸送參考空氣的在圖6A和6B中示出的實(shí)施方案中在通道的一個(gè)端部E50b處通入空腔33中。如在圖6A中示例地示出，通道50能夠布置在層13中并且從那里通入空腔33中，或者作為圖6A中虛線示出的另一實(shí)施方案，通道50能夠在層12中伸展并且從那里通入空腔33中。
[0037]圖7示出傳感器元件的一個(gè)實(shí)施方案3，其中與加熱裝置60或測(cè)量傳感器裝置20相比，壓力測(cè)量裝置30在層12中更接近于另一通道50的端部E50a地布置。為了將壓力測(cè)量裝置30在傳感器元件3的一側(cè)SI上耦接到測(cè)量環(huán)境，在絕緣層12中設(shè)有通道40。通道40在一個(gè)端部40a處在傳感器兀件的一側(cè)SI上通入傳感器兀件的環(huán)境中，在該環(huán)境中包含測(cè)量氣體。用于壓力測(cè)量的參考通道40的另一端部E40b終止于層12中并且通入壓力測(cè)量裝置30的空腔33中。端部E40a能夠設(shè)計(jì)為自由的開口或者設(shè)計(jì)為開孔的、氣體能穿過的、例如由陶瓷制成的層。
[0038]在傳感器元件的實(shí)施方案2和3中，以多層結(jié)構(gòu)10的方式實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量裝置30的壓力測(cè)量空腔33。在傳感器元件的圖8中示出的實(shí)施方案4中，僅在層疊10中包含用于將壓力測(cè)量裝置30耦接到傳感器元件的環(huán)境中上的通道40。壓力通道40能夠包含在層12中。該壓力通道利用傳感器元件的側(cè)SI上的一個(gè)端部E40a通入測(cè)量環(huán)境中并且利用在傳感器兀件的側(cè)S2上的一個(gè)端部E40b通道傳感器兀件的參考空氣環(huán)境中，在該側(cè)S2處將電極端子E1/E2設(shè)置在層疊10的不同的側(cè)上。壓力測(cè)量裝置30在端部E40b上連接于壓力通道40或者另外的壓力傳遞件、例如軟管中間連接在端部E40b和壓力測(cè)量裝置30之間。
[0039]在傳感器元件的圖7和8中示出的實(shí)施方案中，多層承擔(dān)測(cè)量介質(zhì)的壓力傳導(dǎo)。在圖7中示出的傳感器元件3的實(shí)施方案中，將壓力測(cè)量裝置30和壓力通道40布置在層疊中，在遠(yuǎn)距加熱裝置60和測(cè)量環(huán)境的干凈的、冷的接觸區(qū)域中進(jìn)行壓力測(cè)量。在壓力通道40的端部E40a處，空氣以被清潔的方式進(jìn)入通道40中。傳感器元件的持續(xù)加熱的測(cè)量探棒作為用于基板中的開端的空氣通道的抵擋濕氣和顆粒(熱解)的清潔阻擋部。因?yàn)閴毫y(cè)量裝置30設(shè)置在電極接口 E1、E2附近，所以得到至所連接的評(píng)估電子裝置的短的信號(hào)路徑。
[0040]在傳感器元件的所示出的實(shí)施方案中，原則上總是可以將傳感器原理組合。當(dāng)測(cè)量傳感器裝置例如設(shè)計(jì)用于測(cè)量顆粒時(shí)，能夠?qū)⒗鐑?nèi)部數(shù)字電子結(jié)構(gòu)作為壓力測(cè)量裝置的電極用于測(cè)量顆粒。所示出的結(jié)構(gòu)也能夠用于具有測(cè)量傳感器裝置的傳感器元件，該測(cè)量傳感器裝置確定用于其他的應(yīng)用，例如用于檢測(cè)其他或確定濕氣。
【權(quán)利要求】
1.一種具有空氣壓力測(cè)量裝置的傳感器元件，包括: -由多個(gè)彼此疊加布置的層(11，12，13)構(gòu)成的層疊(10)， -其中在所述層的至少一個(gè)第一層(11)中包含測(cè)量傳感器裝置(20)，用于測(cè)量與傳感器的環(huán)境壓力不同的測(cè)量參量， -其中在所述層的所述第一層或所述層的至少一個(gè)第二層(12)中包含壓力測(cè)量裝置(30)，用于測(cè)量所述傳感器元件的一側(cè)(SI)上的環(huán)境中的空氣壓力或者包含通道(40)，用于使壓力測(cè)量裝置(30)耦接到所述傳感器元件的一側(cè)(SI)上的環(huán)境處， -其中所述傳感器元件具有加熱裝置(60)，用于加熱所述傳感器元件圍繞所述測(cè)量傳感器裝置(20)的區(qū)域，并且所述測(cè)量傳感器裝置(20)和所述加熱裝置(60)彼此疊加地布置在所述層疊(10)中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器元件， -其中在所述層疊的所述層的所述第一層、所述層的所述第二層或所述層的第三層(13)中包含另一通道(50)， -其中所述另一通道(50)的一個(gè)端部(E50a)在所述傳感器元件的另一側(cè)(S2)上通入所述傳感器元件的環(huán)境中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中與所述另一通道(50)的所述端部(E50a)相比，所述壓力測(cè)量裝置(30)更靠近所述測(cè)量傳感器裝置(20)或所述加熱裝置(60)地布置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器元件，其中與所述另一通道(50)的所述端部(E50a)相比，所述壓力測(cè)量裝置(30)更靠近所述加熱裝置(60)地布置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中所述通道(40)的一個(gè)端部(E40a)在所述傳感器的所述一側(cè)(SI)通入所述傳感器元件的環(huán)境中并且所述通道(40)的另一端部(E40b)耦接到所述壓力測(cè)量裝置(30)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器元件，其中所述通道(40)的所述另一端部(E40b)終止于所述層疊的所述第二層(12)中。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器元件，其中所述通道(40)的所述另一端部(E40b)在所述另一側(cè)(S2)通入所述傳感器元件的環(huán)境中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器元件，其中所述通道(40)的所述端部(40a)和所述另一端部(E40b)設(shè)計(jì)為自由的開口或者不設(shè)計(jì)為自由的開口而是設(shè)計(jì)為開孔的、氣體能穿過的層。
9.根據(jù)權(quán)利要求5至8中的任一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中所述通道(40)的所述端部(E40a)通過所述加熱裝置(60)來加熱。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項(xiàng)所述的傳感器元件， -其中所述壓力測(cè)量裝置(30)設(shè)計(jì)為電容性的壓力傳感器，所述壓力傳感器具有第一電極(31)、第二電極(32)、空腔(33)和薄膜(34)， -其中所述第一和第二電極(31，32)設(shè)置在所述空腔(33)的相對(duì)置的側(cè)上， -其中所述薄膜(34)在布置有所述空腔(33)的所述層的其中一個(gè)層(12)中布置在所述第二電極(32)的背向所述空腔(33)的一側(cè)上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的傳感器元件，其中所述另一通道(50)的另一端部(E50b)通入所述空腔(33)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的傳感器元件， -其中所述層疊(10)在所述第一和第二層(11，12)之間具有所述第三層(13)， -其中所述第一電極(31)布置在所述第三層(13)的朝向所述第二層(12)的表面(013)上， -其中所述第二電極(32)布置在所述第二層(12)的背向所述第三層(13)的表面(012)上。
13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中的任一項(xiàng)所述的傳感器元件， -其中所述測(cè)量傳感器裝置(20)為了施加或分接電壓而具有電極端子(El)， -其中所述壓力測(cè)量 裝置(30)的所述第一和第二電極(31，32)分別與所述測(cè)量傳感器裝置(20)的所述電極端子(El)的其中一個(gè)連接。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中的任一項(xiàng)所述傳感器元件，其中所述測(cè)量傳感器裝置(20)設(shè)計(jì)為氧氣傳感器或用于測(cè)量顆粒的傳感器或用于測(cè)量氣體的傳感器或用于測(cè)定PH值的傳感器。
【文檔編號(hào)】G01L9/00GK104011536SQ201280064125
【公開日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2012年12月20日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月23日
【發(fā)明者】維利巴爾德·賴特邁爾 申請(qǐng)人:大陸汽車有限責(zé)任公司