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一種MEMS壓力傳感器的制作方法

文檔序號:11103382閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種MEMS壓力傳感器,其特征在于,包括:

殼體(2),所述殼體(2)的一端敞口,另一端封閉;

膜片(7),密封設(shè)置于所述殼體(2)的敞口端,所述膜片(7)與所述殼體(2)圍成充油腔(8),所述充油腔(8)內(nèi)充滿保護油;

壓力ASIC芯片(6),設(shè)置于所述殼體(2)內(nèi);

壓力MEMS芯片(5),設(shè)置于所述殼體(2)內(nèi),所述壓力MEMS芯片(5)與所述壓力ASIC芯片(6)導線連接;

信號導出件(3),密封穿插固定于所述殼體(2)的封閉端內(nèi),且所述信號導出件(3)的一端伸出所述殼體(2)的外部,所述信號導出件(3)與所述壓力ASIC芯片(6)導線連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述殼體(2)包括:

基座(21),所述基座(21)的兩端貫通;

底板(22),密封設(shè)置于所述基座(21)的一端,所述膜片(7)密封設(shè)置于所述基座(21)的另一端,所述信號導出件(3)設(shè)置于所述底板(22)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述底板(22)為玻璃。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述玻璃為燒結(jié)玻璃,且所述燒結(jié)玻璃燒結(jié)固定于所述基座(21)的內(nèi)圈。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述信號導出件(3)為桿狀的金屬導針。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述膜片(7)通過壓環(huán)(1)壓合密封固定在所述殼體(2)的敞口端。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述殼體(2)的側(cè)壁上還設(shè)置有連通所述充油腔(8)和外界的注油孔(211),所述注油孔(211)通過密封球(4)密封。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述密封球(4)為鋼球。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述壓力ASIC芯片(6)和所述壓力MEMS芯片(5)均固定于所述殼體(2)的封閉端。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS壓力傳感器,其特征在于,所述壓力ASIC芯片(6)固定于所述殼體(2)的封閉端上,所述壓力MEMS芯片(5)疊置于所述壓力ASIC芯片(6)上。

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