1.一種用于電子剝離膜測試的裝置，其特征在于：包括腔體(1)、抽真空設(shè)備、電子剝離膜夾持組件、電子槍(4)、第一法拉第杯和第二法拉第杯(52)；
所述腔體(1)具有一個可開合的頂蓋(11)，蓋合頂蓋(11)后形成封閉的密封腔體；所述抽真空設(shè)備安裝于所述腔體(1)的側(cè)壁上，用于為所述腔體(1)抽真空；
所述電子剝離膜夾持組件安裝于所述腔體(1)內(nèi)，用于夾持待測的電子剝離膜；
所述電子槍(4)安裝于所述腔體(1)的內(nèi)側(cè)壁上，用于轟擊待測電子剝離膜；
所述第一法拉第杯和第二法拉第杯(52)同樣安裝于腔體(1)的內(nèi)側(cè)壁上，并且，第一法拉第杯固定在所述電子槍(4)的束流出口，用于測定入射電子剝離膜的粒子數(shù)量；所述第二法拉第杯(52)設(shè)置在電子槍(4)相對的側(cè)壁上，用于測定穿越電子剝離膜后的粒子數(shù)量，從而計算出電子剝離膜的剝離效率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子剝離膜測試的裝置，其特征在于：所述抽真空設(shè)備由分子泵(21)和離子泵(22)組成，分子泵(21)和離子泵(22)分別安裝在所述腔體(1)的側(cè)壁上，并且，與分子泵的接口處還安裝有真空計(23)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子剝離膜測試的裝置，其特征在于：還包括照明設(shè)備(6)和攝像設(shè)備(7)，所述照明設(shè)備(6)和攝像設(shè)備(7)安裝于腔體(1)的內(nèi)側(cè)壁上，攝像設(shè)備(7)用于實時監(jiān)控電子剝離膜的情況，照明設(shè)備(6)用于為攝像設(shè)備(7)提供照明。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子剝離膜測試的裝置，其特征在于：還包括溫度檢測設(shè)備(8)，所述溫度檢測設(shè)備(8)安裝于腔體(1)的內(nèi)側(cè)壁上，用于實時檢測電子剝離膜的溫度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的用于電子剝離膜測試的裝置，其特征在于：所述電子剝離膜夾持組件包括機械手(31)和驅(qū)動組件(32)，所述機械手(31)設(shè)置于腔體(1)內(nèi)，用于夾持待測電子剝離膜，所述驅(qū)動組件(32)設(shè)置于頂蓋(11)的上端，用于驅(qū)動機械手(31)在腔體(1)內(nèi)進行前、后、左、右、上、下移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的用于電子剝離膜測試的裝置，其特征在于：還包括電子屏蔽塊，所述電子屏蔽塊固定安裝于腔體(1)的內(nèi)側(cè)壁上，并且，設(shè)置于所述第二法拉第杯的正后方，用于防止電子外溢。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于電子剝離膜測試的裝置，其特征在于：所述電子屏蔽塊為鉛塊。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的用于電子剝離膜測試的裝置，其特征在于：所述電子槍(4)為轟擊型電子槍，所述轟擊型電子槍包括熱子、陰極和電源，電源在熱子和陰極間加轟擊電壓，使熱子發(fā)射電子轟擊陰極，再由陰極表面發(fā)射出大量電子，形成電子束。