本實(shí)用新型涉及基板檢測領(lǐng)域，特別是涉及一種基板檢測裝置。

背景技術(shù)：

在平板顯示等行業(yè)中，化學(xué)氣相沉積(CVD)機(jī)臺(tái)為高溫真空設(shè)備，因此機(jī)臺(tái)內(nèi)部環(huán)境要求嚴(yán)格，如若出現(xiàn)基板(例如玻璃基板)在腔室破片，會(huì)造成機(jī)臺(tái)宕機(jī)，且持續(xù)時(shí)間較長，例如達(dá)到3-4天，嚴(yán)重影響機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能需求。

為了實(shí)現(xiàn)對(duì)破片的監(jiān)控，防止已破損基板進(jìn)入機(jī)臺(tái)中，目前使用中的一種基板檢測系統(tǒng)主要是通過光線掃描基板邊緣，利用光的反射原理，當(dāng)光照射在基板表面時(shí)基板會(huì)改變光線的強(qiáng)度，監(jiān)控掃描時(shí)間內(nèi)反射光強(qiáng)度變化，以此檢測基板是否存在破片。這種基板檢測系統(tǒng)尚不完善，同時(shí)會(huì)受到圖像的影響而誤檢。

并且，現(xiàn)有的基板檢測系統(tǒng)僅僅只能掃描基板邊緣的較小區(qū)域，無法掃描和監(jiān)控基板中心區(qū)域的破片狀況，這使得中心處破片的基板常常誤進(jìn)高溫腔室而造成腔室的二次破片，給機(jī)臺(tái)和產(chǎn)能帶來損失。

因此，需要一種更為強(qiáng)大的檢測系統(tǒng)，更好的發(fā)現(xiàn)破片情況，以降低機(jī)臺(tái)風(fēng)險(xiǎn)率，提高產(chǎn)能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于，提供一種基板檢測裝置，提高基板檢測的可靠性。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種基板檢測裝置，包括：

支撐架；

設(shè)置在所述支撐架上的重力感應(yīng)模塊；

信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊，與所述重力感應(yīng)模塊連接，獲得所述重力感應(yīng)模塊的壓力信息并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)；

控制模塊，與所述信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊連接，根據(jù)所述電信號(hào)判斷所述基板的狀態(tài)。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述支撐架的數(shù)量為多個(gè)，每個(gè)所述支撐架皆包括一橫桿和多個(gè)豎桿，每個(gè)豎桿的一端連接在所述橫桿上。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述多個(gè)豎桿均勻排布。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述橫桿和所述豎桿一體成型。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述橫桿和所述豎桿可拆卸的組裝在一起。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述重力感應(yīng)模塊設(shè)置在所述豎桿的另一端。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述重力感應(yīng)模塊通過一信號(hào)線與所述信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊相連接。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述支撐架為中空結(jié)構(gòu)，所述信號(hào)線穿設(shè)在所述支撐架中。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述支撐架為實(shí)心結(jié)構(gòu)，所述信號(hào)線貼附在所述支撐架表面。

可選的，對(duì)于所述的基板檢測裝置，所述重力感應(yīng)模塊通過無線信號(hào)與所述信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊相通訊。

在本實(shí)用新型技術(shù)方案提供的基板檢測裝置中，在支撐架上設(shè)置重力感應(yīng)模塊，由信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊獲得所述重力感應(yīng)模塊的壓力信息并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，再由控制模塊接收所述電信號(hào)并判斷所述基板的狀態(tài)?？梢杂行z測基板的中心和邊緣角落的情況，實(shí)現(xiàn)整面監(jiān)控；同時(shí)可檢測基板上表面是否有疊片、破片等異常，并可根據(jù)異常點(diǎn)判斷異常點(diǎn)的位置，實(shí)用性強(qiáng)；而且，本實(shí)用新型技術(shù)方案的基板檢測裝置，只跟壓力相關(guān)，并不會(huì)受到基板上圖形、透明度等因素的影響，因此可靠性強(qiáng)，能夠有效避免誤判；本實(shí)用新型的裝置簡單，成本低。

附圖說明

圖1為實(shí)用新型的基板檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-圖3本實(shí)用新型的基板檢測裝置中重力感應(yīng)模塊設(shè)置在支撐架上的示意圖；

圖4-圖6為本實(shí)用新型的基板檢測裝置中檢測基板時(shí)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的基板檢測裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

本實(shí)用新型的核心思想是，提供一種基板檢測裝置，包括：

支撐架；

設(shè)置在所述支撐架上的重力感應(yīng)模塊；

信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊，與所述重力感應(yīng)模塊連接，獲得所述重力感應(yīng)模塊的壓力信息并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)；

控制模塊，與所述信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊連接，根據(jù)所述電信號(hào)判斷所述基板的狀態(tài)。

以下列舉所述基板檢測裝置的較優(yōu)實(shí)施例，以清楚的說明本實(shí)用新型的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本實(shí)用新型的內(nèi)容并不限制于以下實(shí)施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本實(shí)用新型的思想范圍之內(nèi)。

下面結(jié)合圖1-圖6對(duì)本實(shí)用新型的基板檢測裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。

如圖1所示，本實(shí)用新型的基板檢測裝置，包括：

支撐架10；

設(shè)置在所述支撐架10上的重力感應(yīng)模塊20；

信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊30，與所述重力感應(yīng)模塊20連接，獲得所述重力感應(yīng)模塊20的壓力信息并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)；

控制模塊40，與所述信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊30連接，根據(jù)所述電信號(hào)判斷所述基板的狀態(tài)。

由圖1可見，所述基板檢測裝置具有多個(gè)支撐架10，具體的，這些支撐架10均勻排布，當(dāng)然，本實(shí)用新型并不限定所述支撐架10的排布方式，所述支撐架10可以相互平行設(shè)置，亦可以采用其它排布方式例如交錯(cuò)排布，并且，所述支撐架10數(shù)量可以依據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)計(jì)。例如，所述支撐架10可以是現(xiàn)有的化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備的裝載室(Load Lock)中的支撐結(jié)構(gòu)。

每個(gè)支撐架10皆包括一橫桿11和多個(gè)豎桿12，每個(gè)豎桿12的一端連接在所述橫桿11上。在較佳選擇中，所述多個(gè)豎桿12均勻排布，從而能夠較為均勻的支撐住基板，這樣也能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)基板的正面檢測，降低漏判的幾率。

所述橫桿11和所述豎桿12可以是一體成型，以便于制作；也可以是可拆卸的組裝在一起，便于更換，清潔等操作。

所述重力感應(yīng)模塊20設(shè)置在所述豎桿12的另一端。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述重力感應(yīng)模塊20可以通過一信號(hào)線與所述信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊30相連接，如圖1中具有的n個(gè)重力感應(yīng)模塊20，皆可以是通過各自對(duì)應(yīng)的信號(hào)線與所述信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊30相連接。

請(qǐng)結(jié)合圖2，所述支撐架10可以為中空結(jié)構(gòu)，所述信號(hào)線21穿設(shè)在所述支撐架中，依次經(jīng)過所述豎桿12和所述橫桿11。這種結(jié)構(gòu)能夠較好的實(shí)現(xiàn)對(duì)信號(hào)線的保護(hù)。

請(qǐng)結(jié)合圖3，所述支撐架10也可以為實(shí)心結(jié)構(gòu)，所述信號(hào)線21貼附在所述支撐架10表面，具體的，可以用固定模塊22將所述信號(hào)線21緊固在所述支撐架10的表面。

在其他選擇中，所述重力感應(yīng)模塊20還可以是通過無線信號(hào)與所述信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊30相通訊。

所述控制模塊可以采用現(xiàn)有的微控制器，例如PLC(可編程控制器)控制單元等。當(dāng)然，根據(jù)本實(shí)用新型的思想，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以選擇合適的控制模塊，本實(shí)用新型對(duì)此并不限定。

下面對(duì)本實(shí)用新型的基板檢測裝置實(shí)現(xiàn)基本的檢測進(jìn)行詳細(xì)說明。

當(dāng)基板裝載在支撐架10上后，如圖1中S1-Sn這n個(gè)重力感應(yīng)模塊20會(huì)與所述基板相接觸，當(dāng)基本為正常狀態(tài)時(shí)，由于基板是水平放置在支撐架10上，因此每個(gè)重力感應(yīng)模塊20所受到的壓力基本一致，因此輸出的壓力信息也基本一致，在經(jīng)過信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊30將壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)后，控制模塊40就可以判斷所述基板的狀態(tài)，對(duì)于基本正常狀態(tài)的情況，控制模塊40判斷出的即為每個(gè)接觸點(diǎn)壓力基本相同，因此認(rèn)定基板完好。

考慮到每個(gè)重力感應(yīng)模塊20偵測到的壓力不可能完全一致，因此可以設(shè)定一個(gè)許可范圍，這可以依據(jù)實(shí)際情況和經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行設(shè)定。舉例而言，可以為各點(diǎn)的壓力信息與平均值的差的絕對(duì)值小于等于平均值的10％，即可認(rèn)為基板完好；若存在至少一個(gè)點(diǎn)，各個(gè)點(diǎn)的壓力信息平均值與該至少一個(gè)點(diǎn)的壓力信息的差大于平均值的10％，則認(rèn)為存在破片的情況；若存在至少一個(gè)點(diǎn)，該至少一個(gè)點(diǎn)的壓力信息與各個(gè)點(diǎn)的壓力信息平均值的差的大于平均值的10％，則認(rèn)為存在疊片的情況。

可結(jié)合圖4，示出了在多個(gè)時(shí)間段(T1-T6)控制模塊40獲得的判斷結(jié)果，例如在T1時(shí)每個(gè)重力感應(yīng)模塊20偵測到的壓力為A，表示空載。在T2時(shí)間段時(shí)放置了基板，故產(chǎn)生了壓力，且每個(gè)重力感應(yīng)模塊20偵測到的壓力皆為B(即未超出所述許可范圍)，并不存在異常的點(diǎn)，表示基本完好。在T3-T6時(shí)間段為重復(fù)性實(shí)驗(yàn)，同樣可知基板完好。

請(qǐng)結(jié)合圖5，示出了在多個(gè)時(shí)間段(T1-T6)控制模塊40獲得的判斷結(jié)果，例如在T1時(shí)每個(gè)重力感應(yīng)模塊20偵測到的壓力為A，表示空載。在T2時(shí)間段時(shí)放置了基板，故產(chǎn)生了壓力，但是例如在重力感應(yīng)模塊S1所在的點(diǎn)，其偵測到的壓力為C，且C＜B，超出了所述許可范圍，其他重力感應(yīng)模塊20偵測到的壓力則未出現(xiàn)這種情況，表明在重力感應(yīng)模塊S1所在的點(diǎn)存在了破片，需要停止傳送，避免進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)部引起宕機(jī)。在T3-T6時(shí)間段為取出這一破片的基板后，以完好的基板進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)，并未出現(xiàn)異常，可見本實(shí)用新型的基板檢測裝置能夠檢測到破片的情況。

請(qǐng)結(jié)合圖6，示出了在多個(gè)時(shí)間段(T1-T6)控制模塊40獲得的判斷結(jié)果，例如在T1時(shí)每個(gè)重力感應(yīng)模塊20偵測到的壓力為A，表示空載。在T2時(shí)間段時(shí)放置了基板，故產(chǎn)生了壓力，但是例如在重力感應(yīng)模塊S1所在的點(diǎn)，其偵測到的壓力為D，且D＞B，超出了所述許可范圍，其他重力感應(yīng)模塊20偵測到的壓力則未出現(xiàn)這種情況，表明在重力感應(yīng)模塊S1所在的點(diǎn)存在了疊片，需要停止傳送，避免進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)部引起宕機(jī)。在T3-T6時(shí)間段為取出這一疊片的基板后，以完好的基板進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)，并未出現(xiàn)異常，可見本實(shí)用新型的基板檢測裝置能夠檢測到疊片的情況。

需要說明的是，本實(shí)用新型的基板檢測裝置，不僅僅可以實(shí)現(xiàn)玻璃基板的檢測，其他基板，例如硅基板等也可以由本實(shí)用新型的基板檢測裝置來檢測。

由上文可知，本實(shí)用新型的基板檢測裝置，可以有效檢測基板的中心和邊緣角落的情況，實(shí)現(xiàn)整面監(jiān)控；同時(shí)可檢測基板上表面是否有疊片、破片等異常，并可根據(jù)異常點(diǎn)判斷異常點(diǎn)的位置，實(shí)用性強(qiáng)。

而且，本實(shí)用新型的基板檢測裝置，只跟壓力相關(guān)，并不會(huì)受到基板上圖形、透明度等因素的影響，因此可靠性強(qiáng)，能夠有效避免誤判。

此外，相比現(xiàn)有技術(shù)中的光學(xué)檢測結(jié)構(gòu)，有著結(jié)構(gòu)簡單，成本低的優(yōu)勢。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。