1.一種用于測量溫度的傳感器元件(10),所述傳感器元件具有:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器元件(10),
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器元件(10),
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
7.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
8.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
9.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
10.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
11.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的傳感器元件(10),
13.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
14.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的傳感器元件(10),
16.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的傳感器元件(10),
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的傳感器元件(10),
19.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
20.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
21.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
22.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
23.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
24.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
25.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
26.根據(jù)權(quán)利要求11至25中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
27.根據(jù)權(quán)利要求11至26中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
28.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器元件(10),
29.一種用于制造傳感器元件(10)的方法,所述傳感器元件用于測量溫度,所述方法具有以下步驟:
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的方法,
31.根據(jù)權(quán)利要求29或30中任一項(xiàng)所述的方法,
32.根據(jù)權(quán)利要求29至31中任一項(xiàng)所述的方法,