本技術(shù)涉及晶圓設(shè)備機(jī)架，更具體地說，涉及一種用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架。

背景技術(shù)：

1、晶圓是半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ)材料，它是用于制造集成電路(ic)和其他半導(dǎo)體器件的薄片；

2、晶圓在投入生產(chǎn)加工前，需要對晶圓材料進(jìn)行質(zhì)檢，避免損壞，瑕疵的晶圓進(jìn)入下一道工序，而晶圓瑕疵檢測設(shè)備需要有合適的機(jī)架作為固定支撐，晶圓瑕疵檢測的機(jī)架是用于支撐和固定晶圓檢測設(shè)備的結(jié)構(gòu)，它通常是一個剛性的框架或支架，用于安裝和定位晶圓檢測儀器，以確保檢測過程的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性；

3、晶圓瑕疵檢測的機(jī)架是晶圓檢測系統(tǒng)中的重要組成部分，它為檢測設(shè)備提供了穩(wěn)定的基礎(chǔ)，并對檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性起到關(guān)鍵作用。

4、現(xiàn)有的晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，通常只能對一個檢測設(shè)備進(jìn)行安裝固定，而晶圓瑕疵檢測的設(shè)備有多個，這就需要多個機(jī)架進(jìn)行安裝固定，導(dǎo)致機(jī)架實用性較弱；另外，由于不同的檢測設(shè)備大小不一樣，而現(xiàn)有的機(jī)架通常都是根據(jù)設(shè)備尺寸進(jìn)行定制的，這就導(dǎo)致機(jī)架只適用于一種尺寸的設(shè)備使用，適配性較低。鑒于此，我們提出一種用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、1.要解決的技術(shù)問題

2、本實用新型的目的在于提供一種用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，以解決上述背景技術(shù)中提出機(jī)架實用性較弱和適配性較低的問題。

3、2.技術(shù)方案

4、一種用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，包括框架組件和固定組件；

5、所述框架組件包括安置臺，所述安置臺頂面開設(shè)有多個安裝孔一，所述安置臺底部連接多個柱腿；

6、所述固定組件包括設(shè)置于所述安置臺頂面的安裝板，所述安裝板頂面自上而下開設(shè)有與所述安裝孔一相匹配的多個安裝孔二，所述安裝板頂面連接有多個三角板，多個所述三角板側(cè)壁連接固定板，所述固定板側(cè)壁連接多個下槽板和多個上槽板，所述下槽板頂面自上而下開設(shè)有下移動槽，所述上槽板頂面自上而下開設(shè)有與所述下移動槽相對應(yīng)的上移動槽，所述下槽板頂面連接有支撐板，所述下移動槽內(nèi)和所述上移動槽內(nèi)設(shè)置有移動桿，所述移動桿圓周側(cè)壁設(shè)置有連接板，所述連接板側(cè)壁連接推板，所述固定板側(cè)壁開設(shè)有螺孔，所述固定板側(cè)壁通過所述螺孔貫穿有螺紋桿，所述螺紋桿一端連接有推塊，所述螺紋桿另一端連接有旋轉(zhuǎn)把手。

7、優(yōu)選地，所述安置臺頂面設(shè)置有框罩，所述框罩內(nèi)設(shè)置有玻璃。

8、優(yōu)選地，多個所述柱腿側(cè)壁連接有橫支桿和斜撐，所述斜撐頂部連接所述安置臺底部，多個所述柱腿、多個所述橫支桿和多個所述斜撐為空心鋼管材質(zhì)。

9、優(yōu)選地，所述推板為長方形陶瓷材質(zhì)，厚度為3厘米，所述推塊為圓形陶瓷材質(zhì)，厚度為1.5厘米。

10、優(yōu)選地，所述螺紋桿圓周側(cè)壁套接有彈簧，彈簧一端連接所述推塊側(cè)壁。

11、3.有益效果

12、相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的優(yōu)點在于：

13、本實用新型通過將檢測設(shè)備放置在安置臺頂面，利用兩個固定組件分布在檢測設(shè)備兩側(cè)，并使固定組件在安置臺頂面選擇合適位置的安裝孔一進(jìn)行調(diào)整固定，進(jìn)一步利用兩組推板在檢測設(shè)備兩側(cè)相互配合夾緊設(shè)備，能夠根據(jù)檢測設(shè)備尺寸進(jìn)行調(diào)節(jié)固定，適用于多種尺寸的設(shè)備進(jìn)行固定，適配性較強(qiáng)，同時，安置臺可以放置多臺檢測設(shè)備，并且每臺檢測設(shè)備都可以利用固定組件進(jìn)行固定，使本機(jī)架實用性較強(qiáng)。

技術(shù)特征：

1.一種用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，其特征在于，包括框架組件(1)和固定組件(2)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，其特征在于，所述安置臺(101)頂面設(shè)置有框罩(106)，所述框罩(106)內(nèi)設(shè)置有玻璃(107)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，其特征在于，多個所述柱腿(103)側(cè)壁連接有橫支桿(104)和斜撐(105)，所述斜撐(105)頂部連接所述安置臺(101)底部，多個所述柱腿(103)、多個所述橫支桿(104)和多個所述斜撐(105)為空心鋼管材質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，其特征在于，所述推板(214)為長方形陶瓷材質(zhì)，厚度為3厘米，所述推塊(209)為圓形陶瓷材質(zhì)，厚度為1.5厘米。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，其特征在于，所述螺紋桿(208)圓周側(cè)壁套接有彈簧(210)，彈簧(210)一端連接所述推塊(209)側(cè)壁。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于晶圓瑕疵檢測的機(jī)架，屬于晶圓設(shè)備機(jī)架技術(shù)領(lǐng)域。包括框架組件和固定組件，框架組件包括安置臺，安置臺頂面開設(shè)有多個安裝孔一，固定組件包括安裝板，安裝板頂面開設(shè)有多個安裝孔二，安裝板側(cè)壁連接固定板，固定板側(cè)壁連接下槽板和上槽板，下槽板和上槽板內(nèi)設(shè)置有移動桿，移動桿圓周側(cè)壁設(shè)置有連接板，連接板側(cè)壁連接推板，固定板側(cè)壁貫穿有螺紋桿，螺紋桿一端連接有推塊。本技術(shù)能夠根據(jù)檢測設(shè)備尺寸進(jìn)行調(diào)節(jié)固定，適用于多種尺寸的設(shè)備進(jìn)行固定，適配性較強(qiáng)，同時，安置臺可以放置多臺檢測設(shè)備，并且每臺檢測設(shè)備都可以利用固定組件進(jìn)行固定，使本機(jī)架實用性較強(qiáng)。

技術(shù)研發(fā)人員：周洪鈞,尤鳴宇,董昕宇,劉倚華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫動視宮原科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240424
技術(shù)公布日：2025/4/7