本技術(shù)涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)，尤其涉及一種多維調(diào)節(jié)光學(xué)檢測裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體生產(chǎn)和性能檢測的過程中，需要對半導(dǎo)體器件的表面溫度進(jìn)行檢測。例如在光刻后對器件進(jìn)行溫度檢測以及對光電子半導(dǎo)體器件進(jìn)行性能測試的過程中等。

2、常用的溫度檢測方式有直接測量和光學(xué)檢測。其中，直接測量需要接觸半導(dǎo)體表面，存在引起接觸式不良的風(fēng)險。光學(xué)檢測的原理是利用光學(xué)系統(tǒng)采集光信號并將其轉(zhuǎn)換為電信號以獲得被測物體表面的參數(shù)變化，從而計算出被測物體的溫度，這種方式可以避免上述風(fēng)險。

3、現(xiàn)有的光學(xué)檢測裝置一般只利用一種波長的光源通過單一光路完成光信號的采集。如圖1和圖2所示，在圖1和圖2中，第一光源1和第二光源2能夠分別發(fā)射不同波長的入射光，入射光穿過透鏡3后由被測器件4反射再由透鏡3折射形成出射光。

4、在需要對被測器件進(jìn)行不同波長的光學(xué)檢測時，則需要將被測器件在不同的裝置之間切換，一方面增加檢測時間而降低檢測效率，另一方面增加了設(shè)備成本。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本技術(shù)的目的是提供一種多維調(diào)節(jié)光學(xué)檢測裝置，用于解決在需要對被測器件進(jìn)行不同波長的光學(xué)檢測時，現(xiàn)有的光學(xué)檢測裝置存在檢測效率低且設(shè)備成本高的問題。

2、為達(dá)到上述技術(shù)目的，本技術(shù)提供一種多維調(diào)節(jié)光學(xué)檢測裝置，包括：支撐組件、調(diào)節(jié)組件和光學(xué)組件；

3、所述支撐組件包括：底座、調(diào)節(jié)座、鏡筒和內(nèi)支座；

4、所述調(diào)節(jié)組件包括：支撐球、多個角度調(diào)節(jié)螺釘、第一平移調(diào)節(jié)螺釘、第一導(dǎo)向螺釘、第二平移調(diào)節(jié)螺釘和第二導(dǎo)向螺釘；

5、所述支撐球設(shè)置于所述底座上；

6、所述調(diào)節(jié)座設(shè)置于所述支撐球上，且所述調(diào)節(jié)座相對于所述支撐球能夠沿水平方向和豎直方向轉(zhuǎn)動；

7、所述底座上設(shè)置有沉孔；

8、所述角度調(diào)節(jié)螺釘穿過所述調(diào)節(jié)座伸入所述沉孔內(nèi)，且所述角度調(diào)節(jié)螺釘與所述調(diào)節(jié)座螺紋連接；

9、所述鏡筒可升降設(shè)置于所述調(diào)節(jié)座上；

10、所述內(nèi)支座固定于所述鏡筒內(nèi)部；

11、所述光學(xué)組件包括：第一光纖座、第二光纖座與二相色鏡；

12、所述二相色鏡固定于所述內(nèi)支座上；

13、所述第一光纖座沿水平方向可移動設(shè)置于所述鏡筒的頂面，且所述第一光纖座沿水平方向上的側(cè)面設(shè)置有第一導(dǎo)向槽；

14、所述第二光纖座沿豎直方向可移動設(shè)置于所述鏡筒的側(cè)面，且所述第二光纖座沿豎直方向上的側(cè)面上設(shè)置有第二導(dǎo)向槽；

15、所述第一光纖座和所述第二光纖座均朝向所述二相色鏡；

16、所述第一平移調(diào)節(jié)螺釘設(shè)置于所述鏡筒上，且抵接所述第一光纖座，用于推動所述第一光纖座沿水平方向滑動；

17、所述第一導(dǎo)向螺釘設(shè)置于所述鏡筒上，且伸入所述第一導(dǎo)向槽，用于限制所述第一光纖座沿豎直方向移動；

18、所述第二平移調(diào)節(jié)螺釘設(shè)置于所述鏡筒上，且抵接所述第二光纖座，用于推動所述第二光纖座沿豎直方向滑動；

19、所述第二導(dǎo)向螺釘設(shè)置于所述鏡筒上，且伸入所述第二導(dǎo)向槽，用于限制所述第二導(dǎo)向槽沿水平方向移動。

20、進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)組件包括：兩個所述第一平移調(diào)節(jié)螺釘、兩個所述第一導(dǎo)向螺釘、兩個所述第二平移調(diào)節(jié)螺釘和兩個所述第二導(dǎo)向螺釘；

21、所述第一光纖座法向垂直的兩個側(cè)面上均設(shè)置有所述第一導(dǎo)向槽；

22、所述第二光纖座法向垂直的兩個側(cè)面上均設(shè)置有所述第二導(dǎo)向槽；

23、兩個所述第一平移調(diào)節(jié)螺釘?shù)纸铀龅谝还饫w座法向垂直的兩個側(cè)面；

24、兩個所述第一導(dǎo)向螺釘設(shè)置于所述第一光纖座法向垂直的另外兩個側(cè)面；

25、兩個所述第二平移調(diào)節(jié)螺釘?shù)纸铀龅诙饫w座法向垂直的兩個側(cè)面；

26、兩個所述第二導(dǎo)向螺釘設(shè)置于所述第二光纖座法向垂直的另外兩個側(cè)面；

27、所述第一導(dǎo)向螺釘和所述第二導(dǎo)向螺釘均具備彈性。

28、進(jìn)一步地，所述第一導(dǎo)向螺釘和所述第二導(dǎo)向螺釘均包括：彈性柱和螺栓本體；

29、所述彈性柱和所述螺栓本體固定連接；

30、所述螺栓本體螺紋連接所述鏡筒；

31、所述彈性柱抵接所述鏡筒，且伸入所述第一導(dǎo)向槽或第二導(dǎo)向槽內(nèi)。

32、進(jìn)一步地，所述支撐組件包括：鏡筒座；

33、所述鏡筒座設(shè)置于所述調(diào)節(jié)座上，且所述鏡筒座可伸縮設(shè)置；

34、所述鏡筒設(shè)置于所述鏡筒座上。

35、進(jìn)一步地，所述鏡筒座與所述調(diào)節(jié)座螺紋連接。

36、進(jìn)一步地，所述光學(xué)組件還包括：透光鏡；

37、所述透光鏡設(shè)置于所述鏡筒座與所述調(diào)節(jié)座之間，且被所述鏡筒座與所述調(diào)節(jié)座夾緊固定。

38、進(jìn)一步地，所述光學(xué)組件還包括：第一光闌和第二光闌；

39、所述第一光闌固定于所述第一光纖座與二相色鏡之間；

40、所述第二光闌固定于所述第二光纖座與二相色鏡之間。

41、進(jìn)一步地，所述鏡筒上設(shè)置有安裝槽；

42、所述第一光闌設(shè)置于所述安裝槽內(nèi)；

43、所述內(nèi)支座覆蓋所述安裝槽，以將所述第一光闌壓緊于所述安裝槽內(nèi)。

44、進(jìn)一步地，所述鏡筒的側(cè)面設(shè)置有第二安裝槽；

45、所述第二光闌的一部分伸入所述第二安裝槽，所述第二光闌的另一部分沿豎直方向延伸形成凸起塊；

46、所述凸起塊用于限制所述第二光闌的另一部分伸入所述第二安裝槽；

47、所述凸起塊夾緊于所述第二光纖座和所述鏡筒之間。

48、進(jìn)一步地，所述支撐組件還包括：移動平臺；

49、所述底座沿水平方向可滑動設(shè)置于所述移動平臺上；

50、所述底座上設(shè)置有透光孔。

51、從以上技術(shù)方案可以看出，本技術(shù)提供一種多維調(diào)節(jié)光學(xué)檢測裝置，包括：支撐組件、調(diào)節(jié)組件和光學(xué)組件；所述支撐組件包括：底座、調(diào)節(jié)座、鏡筒和內(nèi)支座；所述調(diào)節(jié)組件包括：支撐球、多個角度調(diào)節(jié)螺釘、第一平移調(diào)節(jié)螺釘、第一導(dǎo)向螺釘、第二平移調(diào)節(jié)螺釘和第二導(dǎo)向螺釘；所述支撐球設(shè)置于所述底座上；所述調(diào)節(jié)座設(shè)置于所述支撐球上，且所述調(diào)節(jié)座相對于所述支撐球能夠沿水平方向和豎直方向轉(zhuǎn)動；所述底座上設(shè)置有沉孔；所述角度調(diào)節(jié)螺釘穿過所述調(diào)節(jié)座伸入所述沉孔內(nèi)，且所述角度調(diào)節(jié)螺釘與所述調(diào)節(jié)座螺紋連接；所述鏡筒可升降設(shè)置于所述調(diào)節(jié)座上；所述內(nèi)支座固定于所述鏡筒內(nèi)部；所述光學(xué)組件包括：第一光纖座、第二光纖座與二相色鏡；所述二相色鏡固定于所述內(nèi)支座上；所述第一光纖座沿水平方向可移動設(shè)置于所述鏡筒的頂面，且所述第一光纖座沿水平方向上的側(cè)面設(shè)置有第一導(dǎo)向槽；所述第二光纖座沿豎直方向可移動設(shè)置于所述鏡筒的側(cè)面，且所述第二光纖座沿豎直方向上的側(cè)面上設(shè)置有第二導(dǎo)向槽；所述第一光纖座和所述第二光纖座均朝向所述二相色鏡；所述第一平移調(diào)節(jié)螺釘設(shè)置于所述鏡筒上，且抵接所述第一光纖座，用于推動所述第一光纖座沿水平方向滑動；所述第一導(dǎo)向螺釘設(shè)置于所述鏡筒上，且伸入所述第一導(dǎo)向槽，用于限制所述第一光纖座沿豎直方向移動；所述第二平移調(diào)節(jié)螺釘設(shè)置于所述鏡筒上，且抵接所述第二光纖座，用于推動所述第二光纖座沿豎直方向滑動；所述第二導(dǎo)向螺釘設(shè)置于所述鏡筒上，且伸入所述第二導(dǎo)向槽，用于限制所述第二導(dǎo)向槽沿水平方向移動。

52、本方案中，第一光纖座和第二光纖座均集成于支撐組件上，在需要對被測器件進(jìn)行不同波長的光學(xué)檢測時，能夠在不切換裝置的情況下對被測器件進(jìn)行不同波長的檢測，提高檢測效率并節(jié)省設(shè)備成本；同時，支撐組件能夠沿多軸移動，確保被測物體能夠被光路照射，從而確保檢測的有效性。