本技術屬于半導體生產，尤其涉及一種雙頭固晶機。

背景技術：

1、固晶機是用于半導體器件制造的設備之一，其作用是將半導體晶片與其他組件連接在一起。為了提高固晶的工作效率，固晶機大多是采用雙頭的結構，可以在進行固晶工作時對產品的兩個部分同時作業(yè)。但是現(xiàn)有的雙頭固晶機僅能對特定尺寸的產品進行加工，導致雙頭固晶機存在著適用性差的技術問題。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種雙頭固晶機，旨在解決現(xiàn)有技術中雙頭固晶機存在的僅能對特定尺寸的產品進行加工適用性差的技術問題。

2、本實用新型是這樣實現(xiàn)的，一種雙頭固晶機，包括：

3、工作臺；

4、調節(jié)平臺，數量為兩個，兩個所述調節(jié)平臺相對設置于所述工作臺上，且兩個所述調節(jié)平臺均相對于所述工作臺具有沿水平方向移動的自由度；

5、供晶工作組，數量為兩組，且分別設置于兩個所述調節(jié)平臺上，所述供晶工作組用于提供晶環(huán)，并將所述晶環(huán)上的晶片取下并運輸至取晶位；

6、夾具機構，設置于所述工作臺上，且位于兩所述調節(jié)平臺之間的區(qū)域，用于固定產品、并將所述產品移動到固晶位處；以及

7、固晶結構，數量為兩個，且間隔設置于所述工作臺上，所述固晶結構用于將取晶位上的所述晶片運送至位于固晶位的所述產品上。

8、在一個可選實施例中，所述調節(jié)平臺與所述工作臺之間設置有平移機構，所述平移機構用于調節(jié)所述調節(jié)平臺的位置。

9、在一個可選實施例中，所述平移機構包括第一滑動部、第二滑動部以及平移動力單元，所述第一滑動部設置在所述工作臺上，所述第二滑動部連接于所述調節(jié)平臺、且與所述第一滑動部滑動連接，所述平移動力單元的本體設置于所述工作臺或所述調節(jié)平臺上，且所述平移動力單元的驅動端連接于所述工作臺或所述調節(jié)平臺中的另一個上。

10、在一個可選實施例中，所述供晶工作組包括晶環(huán)供料機構、晶環(huán)搬運機構、晶環(huán)旋轉平臺以及頂針機構，所述晶環(huán)供料機構用于容納并儲存晶環(huán)，所述晶環(huán)旋轉平臺用于支撐晶環(huán)、并使晶環(huán)上的晶片位于取晶位，所述晶環(huán)搬運機構用于將晶環(huán)從所述晶環(huán)供料機構搬運至所述晶環(huán)旋轉平臺，所述頂針機構用于將所述晶片與所述晶環(huán)分離。

11、在一個可選實施例中，所述晶環(huán)旋轉平臺包括旋轉框體、旋轉框支架與晶環(huán)平移組件，所述晶環(huán)平移組件設置于所述調節(jié)平臺上，所述旋轉框支架設置于所述晶環(huán)平移組件上，所述旋轉框體轉動設置于所述旋轉框支架上，且用于支撐晶環(huán)并對晶環(huán)的水平角度進行調節(jié)。

12、在一個可選實施例中，所述頂針機構包括頂針組件、頂針支座、頂針平移模塊以及頂針升降模塊，所述頂針平移模塊設置于所述調節(jié)平臺與所述頂針支座之間，所述頂針平移模塊用于調節(jié)所述頂針支座的水平位置，所述頂針升降模塊設置于所述頂針支座上，所述頂針組件設置于所述頂針升降模塊的驅動端，且所述頂針組件可在所述頂針升降模塊的作用下沿豎直方向往復運動。

13、在一個可選實施例中，所述晶環(huán)搬運機構包括搬運支座、水平伸縮單元、夾持結構以及搬運轉動單元，所述搬運支座固設于所述調節(jié)平臺上，所述水平伸縮單元連接于所述搬運支座，所述夾持結構設置于所述水平伸縮單元的驅動端，所述夾持結構用于夾緊或松開所述晶環(huán)，所述夾持結構可在所述水平伸縮單元的作用下運動，以帶動所述晶環(huán)在水平方向上運動，所述搬運轉動單元設置于所述水平伸縮單元與所述搬運支座之間，用于調節(jié)所述水平伸縮單元在水平方向的角度。

14、在一個可選實施例中，所述晶環(huán)供料機構包括晶環(huán)容納倉以及升降組件，所述晶環(huán)容納倉內具有多個用于放置晶環(huán)的安裝結構，所述安裝結構沿豎直方向間隔設置，所述升降組件設置于所述晶環(huán)容納倉與所述調節(jié)平臺之間，用于調節(jié)所述晶環(huán)容納倉在豎直方向上的高度。

15、在一個可選實施例中，所述固晶結構包括固晶支座、固晶位置模塊、固晶動力單元以及擺臂組件，所述固晶支座設置于所述工作臺上，所述固晶動力單元通過所述固晶位置模塊活動連接于所述固晶支座上，且所述擺臂組件連接于所述固晶動力單元的驅動端上。

16、在一個可選實施例中，所述夾具機構包括夾具底座、第一夾具平移部、第二夾具平移部以及夾具架，所述夾具底座設置于所述工作臺上，所述第一夾具平移部滑動設置于所述夾具底座上，所述第二夾具平移部滑動設置于所述第一夾具平移部上，且所述第一夾具平移部滑動方向與所述第二夾具平移部的滑動方向之間呈夾角設置，所述夾具架設置在所述第二夾具平移部上，且所述夾具架用于夾持并固定所述產品。

17、本實用新型相對于現(xiàn)有技術的技術效果是：在工作臺上設置有兩個調節(jié)平臺，兩個調節(jié)平臺均相對于工作臺具有沿水平方向移動的自由度，并將兩個供晶工作組分別設置在兩個調節(jié)平臺，在調節(jié)平臺的位置改變時即可對整個供晶工作組的位置進行調節(jié)。與現(xiàn)有技術中的固晶機，將供晶工作組的各個部分直接安裝工作臺上的方式相比，本雙頭固晶機在產品的尺寸改變時，通過調節(jié)平臺的位置調整來改變供晶工作組整體的位置，使雙頭固晶機上兩個供晶工作組之間的距離與產品的尺寸保持匹配。在產品尺寸變小的情況下，使兩個供晶工作組依然可以對產品保持同步且均分作業(yè)，保證產品生產的產能。使雙頭固晶機可以適用于各種尺寸產品的固晶生產，提高了雙頭固晶機的適用性。

技術特征：

1.一種雙頭固晶機，其特征在于，包括：

2.如權利要求1所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述調節(jié)平臺與所述工作臺之間設置有平移機構，所述平移機構用于調節(jié)所述調節(jié)平臺的位置。

3.如權利要求2所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述平移機構包括第一滑動部、第二滑動部以及平移動力單元，所述第一滑動部設置在所述工作臺上，所述第二滑動部連接于所述調節(jié)平臺、且與所述第一滑動部滑動連接，所述平移動力單元的本體設置于所述工作臺或所述調節(jié)平臺上，且所述平移動力單元的驅動端連接于所述工作臺或所述調節(jié)平臺中的另一個上。

4.如權利要求1至3任一項所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述供晶工作組包括晶環(huán)供料機構、晶環(huán)搬運機構、晶環(huán)旋轉平臺以及頂針機構，所述晶環(huán)供料機構用于容納并儲存晶環(huán)，所述晶環(huán)旋轉平臺用于支撐晶環(huán)、并使晶環(huán)上的晶片位于取晶位，所述晶環(huán)搬運機構用于將晶環(huán)從所述晶環(huán)供料機構搬運至所述晶環(huán)旋轉平臺，所述頂針機構用于將所述晶片與所述晶環(huán)分離。

5.如權利要求4所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述晶環(huán)旋轉平臺包括旋轉框體、旋轉框支架與晶環(huán)平移組件，所述晶環(huán)平移組件設置于所述調節(jié)平臺上，所述旋轉框支架設置于所述晶環(huán)平移組件上，所述旋轉框體轉動設置于所述旋轉框支架上，且用于支撐晶環(huán)并對晶環(huán)的水平角度進行調節(jié)。

6.如權利要求5所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述頂針機構包括頂針組件、頂針支座、頂針平移模塊以及頂針升降模塊，所述頂針平移模塊設置于所述調節(jié)平臺與所述頂針支座之間，所述頂針平移模塊用于調節(jié)所述頂針支座的水平位置，所述頂針升降模塊設置于所述頂針支座上，所述頂針組件設置于所述頂針升降模塊的驅動端，且所述頂針組件可在所述頂針升降模塊的作用下沿豎直方向往復運動。

7.如權利要求6所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述晶環(huán)搬運機構包括搬運支座、水平伸縮單元、夾持結構以及搬運轉動單元，所述搬運支座固設于所述調節(jié)平臺上，所述水平伸縮單元連接于所述搬運支座，所述夾持結構設置于所述水平伸縮單元的驅動端，所述夾持結構用于夾緊或松開所述晶環(huán)，所述夾持結構可在所述水平伸縮單元的作用下運動，以帶動所述晶環(huán)在水平方向上運動，所述搬運轉動單元設置于所述水平伸縮單元與所述搬運支座之間，用于調節(jié)所述水平伸縮單元在水平方向的角度。

8.如權利要求7所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述晶環(huán)供料機構包括晶環(huán)容納倉以及升降組件，所述晶環(huán)容納倉內具有多個用于放置晶環(huán)的安裝結構，所述安裝結構沿豎直方向間隔設置，所述升降組件設置于所述晶環(huán)容納倉與所述調節(jié)平臺之間，用于調節(jié)所述晶環(huán)容納倉在豎直方向上的高度。

9.如權利要求1至3任一項所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述固晶結構包括固晶支座、固晶位置模塊、固晶動力單元以及擺臂組件，所述固晶支座設置于所述工作臺上，所述固晶動力單元通過所述固晶位置模塊活動連接于所述固晶支座上，且所述擺臂組件連接于所述固晶動力單元的驅動端上。

10.如權利要求1至3任一項所述的雙頭固晶機，其特征在于，所述夾具機構包括夾具底座、第一夾具平移部、第二夾具平移部以及夾具架，所述夾具底座設置于所述工作臺上，所述第一夾具平移部滑動設置于所述夾具底座上，所述第二夾具平移部滑動設置于所述第一夾具平移部上，且所述第一夾具平移部的滑動方向與所述第二夾具平移部的滑動方向之間呈夾角設置，所述夾具架設置在所述第二夾具平移部上，且所述夾具架用于夾持并固定所述產品。

技術總結
本技術適用于半導體生產技術領域，提供了一種雙頭固晶機，包括工作臺、調節(jié)平臺、供晶工作組、夾具機構以及固晶結構。在工作臺上設置有兩個調節(jié)平臺，兩個調節(jié)平臺均相對于工作臺具有沿水平方向移動的自由度，并將兩個供晶工作組分別設置在兩個調節(jié)平臺，在調節(jié)平臺的位置改變時即可對整個供晶工作組的位置進行調節(jié)。在產品的尺寸改變時，通過調節(jié)平臺的位置調整來改變供晶工作組整體的位置，使雙頭固晶機上兩個供晶工作組之間的距離與產品的尺寸保持匹配。在產品尺寸變小的情況下，使兩個供晶工作組依然可以對產品保持同步且均分作業(yè)，保證產品生產的產能。使雙頭固晶機可以適用于各種尺寸產品的固晶生產，提高了雙頭固晶機的適用性。

技術研發(fā)人員：黃崗,曾國鵬,朱振德
受保護的技術使用者：深圳新益昌科技股份有限公司
技術研發(fā)日：20240426
技術公布日：2025/4/7